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溅射二氧化铈氧敏薄膜的XPS研究 总被引:4,自引:0,他引:4
本文用射频磁控溅射法制备了CeO2-x高温氧敏薄膜,利用X射线光电子能谱研究了不同处理条件对CeO2-x薄膜电子组态的影响,特别是对表面的价态和吸附性质的影响。通过对Ce3dXPS谱的高斯拟合,计算了Ce^3+浓度并给出了判定Ce^4+还原的标志。研究结果表明,在空气中经1173K高温退火后可得到结晶完好的多晶CeO2薄膜,而薄膜的化学价态没有变化,退火前后薄膜表面总有少量Ce^3+存在(15%) 相似文献
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用射频/直流磁控溅射法制备了NiOx/Ni81Fe19和Co/AlOx/Co磁性薄膜。利用X射线光电子能谱研究了NiOx对Ni81Fe19耦合交换场Hex与NiOx化学状态的关系以及Co/AlOx/Co磁性薄膜中AlOx对Co膜的覆盖状况。结果表明:Hex的大小只与+2价镍有关,单质镍和+3价镍对Hex没有什么作用;在Co/AlOx/Co磁性薄膜中,Al层将Co膜完全覆盖所需的要最小厚度为2.0n 相似文献
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掺锡对α—Fe2O3薄膜微结构和气敏特性的影响研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文用常压化学气相淀积法(APCVD)制备了α-Fe2O3薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和表面形貌(SEM)分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明,用APCVD工艺制备的α-Fe2O3薄膜对烟者极为敏感并且具有良好的选择性;本研究还对所制备的α-Fe2O3薄膜进行了有效的掺杂,对掺杂样品的气敏特性测试表明四价金属元素Sn的掺入对α-Fe2O3薄膜的气敏特性有显著的影响。实验表明用AP 相似文献
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CeO2薄膜的制备和表征 总被引:1,自引:0,他引:1
探讨了用硝酸亚铈通过溶胶-凝胶法制备CeO2薄膜的制备工艺。用X射线和扫描电子显微镜分析了薄膜的显微形貌及其晶体结构,借助X射线光电子能谱研究了薄膜表面元素Ce的化学态。结果表明,用该方法可获得质量良好的CeO2薄膜。 相似文献
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采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了r-Fe2O3薄膜。该工艺分3步完成:首先利用Fe(NO2)3酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备a-Fe2O3薄膜,其次a-Fe2O3薄膜在氢气流中、320 ̄350℃之间热处理30min被还原为Fe3O4薄膜,最后Fe3O4薄膜在空气中250℃左右热处理30min被氧化为r-Fe2O3薄膜。XRD和SEM分析结果表明该r-Fe2O3薄膜呈尖晶石物相和 相似文献
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陶瓷衬底上淀积薄膜α—Fe2O3材料的微结构的气敏特性研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文用常压化学气相沉积(APCVD)工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超粒结构的α-Fe3O3气敏薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和扫描电子显微分析(SEM),研究了淀积工艺条件对α-F32O3薄膜的粒度的影响,气敏特性研究表明,用APCVD工艺轩的超微粒α-Fe2O3薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性。这种薄膜可用于感烟探测器。 相似文献
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Al-TiO2-C-Ti-Fe体系反应过程研究 总被引:4,自引:0,他引:4
采用DSC和XRD对不同Fe含量Al-TiO2-C-Ti-Fe体系的燃烧反应过程进行了研究。结果表明,Al-TiO2-C-Ti-Fe体系的反应是分步进行的。在高温区以金属间化合物的分解及Ti、C反应为主;在低温区则随着Fe含量的不同存在不同的反应:Al-TiO2-C-Ti以Al、Ti的反应为主,Al-TiO2-C-Ti-20wt%Fe以Al、Ti及Al、Fe反应为主,同时还存在Al、TiO2及Fe、Ti反应,而Al-TiO2-C-Ti-50wt%Fe则以Fe、Al和Fe、Ti反应为主。 相似文献
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报道了对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜在具空中退火时氧化现象的XPS分析结果。在低真空中(p〈30pa),当退火温度为800℃时,MgIs光电子结合能为1305.40eV,属于MgF2结构,当退火温度达到1100℃时,Mg1s光电子结合能国1303.75eV,属于MgO结构。从Ag-MgF2体系转变为Ag-MgO体系Mg1s光电子结合能向低能一侧位移了1.65eV。 相似文献
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采用SHS/PHIP工艺制备了致密的TiC-Al2O3-Fe系金属陶瓷,研究了延迟时间,高压特续时间,压力及Fe含量对合成TiC-Al2O3-Fe金属陶瓷实度的影响,结果表明,采用SHS/PHIP技术制备了TiC-Al2O3-Fe系金属陶瓷时,合成产物中气体的排放,液相的存在及组成相之间的润湿性是制备密实材料的关键。 相似文献
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毫米波用六角铁氧体多晶材料 总被引:1,自引:0,他引:1
用普通陶瓷工艺制备了BaAlxFe12-xO19六角铁氧体多晶材料,随着X的增加,饱和磁化强度减小,居里温度下降,磁晶各向异性场增加。其结果可以通过假设Al^3+取代了2a位和12K点阵位上的Fe^3+来解释。 相似文献
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利用含有Ca,La和Fe成分的水溶胶(摩尔比为Ca:La:Fe=0.25:0.75:l),经浸渍──提拉──干燥──焙烧过程分别在玻璃衬底及Al_2O_3基片上制备了薄膜。通过XRD和XPS分析表明玻璃衬底上的薄膜是成分准确的钙钛矿结构的(Ca_0.25La_0.75)FeO_3薄膜,而Al_2O_3基片上的薄膜是成分不确切且呈混合相的薄膜;借助SEM观察了薄膜的表面微结构;测试Al203基片上的薄膜对酒精的气敏效应,发现在较低的工作温度下,薄膜对低浓度的酒精蒸气有高的灵敏度。 相似文献
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PECVD法淀积氟碳掺杂的氧化硅薄膜表征 总被引:1,自引:0,他引:1
以正硅酸乙酯(TEOS)和八氟环丁烷(C4F8)为原料,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜(SiCOF).样品的X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明薄膜中含有Si-F、Si-O、C-F、C-CFx、CF2等构型.刚淀积的薄膜的折射率约为1.40.对暴露在空气中以及在不同温度下退火后薄膜的折射率做了测量,并对其变化机理进行了讨论,同时表明了理想的淀积温度应是300℃. 相似文献
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