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在等离子体化学气相沉积系统(PECVD)中,使用高氢稀释硅烷(SiH4)加乙烯(C2H4)为反应气氛制备了纳米硅碳(nc-SiCx^2H)薄膜,随着(C2H4+SiH4)/H2(Xg)从5%时,由于H蚀刻效应的减弱,薄膜的晶态率从48%下降到8%,平均晶粒尺寸在3.5-10nm。当Xg≥6%时,生成薄膜为非晶硅碳(a-SiCx^2H)薄膜。nc-SiCx^2H薄膜的电学性质具有与薄膜的晶态率紧密相 相似文献
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氢化非晶硅激光诱导结晶膜微结构的椭偏谱分析 总被引:1,自引:0,他引:1
用XeCl准分子激光器对氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行了诱导晶化处理。测定了结晶膜的椭偏谱。利用多层膜模型与Bruggeman有效介质近似(B-EMA)分析了结晶膜的微结构特性。研究表明:低能量密度辐照形成的结晶层需用含有a-Si:H的EMA混合物表征,说明其结晶度相对较低;而高能量密度辐照形成的结晶层,因基结晶度较高,可用不含a-Si:H的EMA混合物表征。在结晶膜与衬底之是形成了互混层,其 相似文献
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文章简述了国内外非晶硅太阳电池的发展及通常用于沉积含氢非晶硅(a-Si:H)薄 膜的 PCVD工作原理。详尽叙述了 HLRB-TD6A非晶硅太阳电池镀膜机的结构和 设计特点。该机设计合理,本底真空度高,电场、气流、温度分布均匀,无各室间不同 反应气体的交叉污染,沉积的P、I、N型a-Si:H材料性能极佳,是在聚酯膜、不锈 钢带等柔性衬底上连续沉积a-Si :H太阳电池的理想设备。 相似文献
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研究了Fe-Mn-Si形状记忆合金中元素对材料耐腐蚀性能及形状记忆性能的影响。结果表明:在Fe-Mn-Si合金中,随着Mn,Si含量的增加,其耐腐蚀性能略有提高,但Mn含量过高会导致合金形状记忆性能下降。而在Fe-Mn-Si合金中加入适量的Cr,可明显提高该合金的耐腐蚀性能,并使之具有良好的形状记忆性能。 相似文献
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目的是给出 Toda H 的纤维化 S2n- 1 → Ω Jp - 1( S2n) T Ω S2p- 1 的又一新构造。文中说明映射 T 可以自然地由 Jam e Hopf 的不变量 H p :Ω S2n+ 1 →Ω S2np+ 1 直接导出。所提出的构造使得 T 成为一个 H 映射,由此得到 Selick 的滤子空间 F2k (n) 在奇素数p 处具有指数p n+ k- 1 。 相似文献
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等离子体气相沉积非晶SiO2薄膜的特性研究 总被引:6,自引:0,他引:6
用傅立叶红外吸收光谱,电子自旋共振,表面台阶仪等研究了等离子体增强气相沉积法制备的非晶SiO2薄膜的特性与膜厚的关系。当膜厚从0.1μm递增到1.1μm时,1060cm^-1附近的Si-O-Si伸缩振协吸峰从1050cm^-1漂移到1075cm^-1,但是800display status 相似文献
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本文研究了710-840℃之间的30CrMnSiA钢的恒温超塑性。重点测试了在共析转变点Acl点附近的超塑性指标。研究结果表明,30CrMnSiA钢具有恒温相变超塑性特性,在Acl点温度附近材料延伸率有明显增长,流动应力最低。当初始应变速率为4.2×10^-4s^-1时,经预先调质处理的30CrMnSiA钢最大延伸率为608%,最低流动应力为55MPa,与710-740℃温度区间内的研究结果相比延 相似文献
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常压MOCVD制备MgO薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文首次报道用常压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)在Si(100),SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上外延高质量的MgO薄膜。研究了衬底温度与薄膜的取向性关系和MgO薄膜的潮解特性。高纯magnesiumacetylacetonate[bis(2,4-pentanetane-diono)magnesium][Mg(CH2COCH2COCH3)2]作为金属有机源,扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM)和X-RAY衍射实验显示,在较低的衬底温度(~480℃)下一次淀积成单晶膜。薄膜均匀,致密,结晶性和取向性很好,衬底温度(Ts)在400℃到680℃之间,在Si(100)衬底上生长的MgO薄膜都具有[100]取向,在Si(100)、SiO2/Si(100)和Pt/Si(100)衬底上生长的MgO薄膜也都具有[100]取向。 相似文献
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研究了n-β(氨乙基)-γ(氨丙基)三乙氧基硅烷(NH2(CH2)2NH(CH2)3Si(OEt)3)与二甲基二乙氧基硅烷(CH3)2Si(OEt)2)共水解,制备含(CH2)3NH(CH2)2NH2功能基的聚硅氧烷配位体,用IR,^1HNMR和元素分析法对水解产物分析证明,NH2(CH2)2NH(CH2)3Si(OEt)3与(CH3)2Si(OEt)2进行了共水解反应,而且水解程度随NH2(CH 相似文献
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用TEM、X-Ray、SEM等技术研究了Ni42Cr6Fe玻封合金在高温湿H2中形成的氧化膜及氧化物晶须的结构。结果表明:氧化膜主要由Cr2O3和(Fe,Mn)Cr2O4两组相成,氧化膜底层是以Cr2O3为主的组织,氧化膜表层是以(Fe,Mn)Cr2O4为主的组织;Si在氧化膜与合金界面分布,Al则在内氧化层中形成内氧化物质点;氧化膜表面生长的氧化物晶须的杆部为(Fe,Mn)Cr2O4单晶,头部为 相似文献
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本文利用水热合成方法对MSnO3和MSn0.5Zr0.5(M=Sr,Ba)的合成进行了研究,并采用XRD、SE几ICP等进行产物进行了表征,结果表明:在M(OH)2.SnO2(呈SnO2+ZrO2)-KOH体系中,当KOH/Sn和KOH(Sn+Zr)≥30时,260℃下晶化5-7天,可获得MSnO3和MSn0.5O3纯相,在M(OH)3-(SnO2+ZrO3)-KOH-H2O体系中,可通过控制介质 相似文献
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溶胶—凝胶制备TiO2/SiO2复合薄膜的FT—IR表征 总被引:14,自引:0,他引:14
FT-IR吸收谱用来研究具有多孔结构的TiO2/SiO2复合薄膜;薄膜在1200cm^-1有一较强的肩峰,其强度与峰位随热处理温度度而生变化。在955cm^-1的吸收峰是由于Si-O-Ti和Si-OH的结果,并随着热处理 度的提高其吸收峰完全是Si-O-Ti振动所引起的,其峰位随着TiO2的增加,向低频区域移动。 相似文献
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本文报导了用低温等离子体法使a-Si:H表面活化,经多步化学反应,将3种菁键合于其表面,并经激光拉曼光谱和X-光电子能谱表征。测定了键合染料的a-Si:H的吸收光谱和光电导。结果表明,光敏染料可使a-Si:H敏化,改善其光吸收和光电导。 相似文献