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介绍了三氟化氮的主要性质、用途,对国内外三氟化氮的制备工艺及纯化方法进行了比较,同时对国内外三氟化氮市场进行了分析和预测。 相似文献
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介绍了一种用放电离子化检测器(DID)分析三氟化氮中微量气相杂质的方法。利用阀切割技术对大量的三氟化氮主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而准确地分析出三氟化氮中杂质的含量。该法简便、快捷、准确度和精密度高。 相似文献
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通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可接受,从而可为后续三氟化氮分析检测装置的推广提供指导。 相似文献
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国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况 总被引:2,自引:0,他引:2
徐汀 《精细与专用化学品》2003,11(16):10-11
本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点。三氟化氮是电子工业用特种气体,也是专用化学品,它的市场依赖于半导体工业的发展。到2000年,半导体工业已得到迅速发展,增大了需求量。近期三氟化氮的发展动向主要体现为国外多家公司改进工艺,扩大生产能力和组建合资企业。我国也与美国杜邦公司组建合资企业并扩大生产能力。 相似文献
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胡长诚 《化学推进剂与高分子材料》2002,(6):1-6,9
介绍了国外各有关公司近年来三氟化氮(NF_3)生产发展概况;介绍了三氟化氮主要制备方法——氟氨直接化合法和氟化氢铵熔融盐电解法的基本原理、工艺技术以及研究开发进展;介绍了高纯三氟化氮典型质量指标及精制提纯方法研究进展。主要介绍国外专利技术。 相似文献
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郭金森 《中国石油和化工标准与质量》2023,(2):156-158
三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等。本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2009,7(3):67-67
经过科研人员多年来的努力,黎明化工研究院(黎明院)近期建设完成一条100t/a纯度为99.99%(4N)三氟化氮产品生产线。目前,黎明院具备连续、稳定生产4N及以上纯度三氟化氮产品的生产能力,产品质量达到甚至优于部分国外三氟化氮生产水平。 相似文献
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昭和电工有限公司在川崎工厂内完成了供半导体工艺使用的特殊气体三氟化氮的制造装置(年产能力为100公斤、稍加调整就能达到1吨),已提供产品正式销售。三氟化氮国产化在该公司开始。三氟化氮作为不含碳成分的氟系气体,用于半导体的高性能干蚀刻用气体、各种化学气相合成装置的清洗气、激光用气体和光 相似文献
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介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。 相似文献
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亲电氟化剂的研究进展 总被引:3,自引:1,他引:2
综述了近10年来出现的许多亲电氟化剂,其中最重要的研究发现了一系列氮-氟亲电氟化剂,主要有氮-氟吡啶盐、氮-氟三乙二胺盐(F-TEDA)和奎宁盐。与其他类型亲电氟化剂不同的是,它们都较为稳定,便于制备、贮藏、运输,而且有效氟含量高。 相似文献
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以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究。结果表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2. 0%(k=2)。该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2016,(5):94-99
正黎明院三氟化氮产能跻身全国第二日前,黎明化工研究设计院有限责任公司(简称黎明院)与韩国大成公司合资建设的1 000 t/a三氟化氮(NF3)项目,全面建成并达到设计能力,再加上原有200 t/a的中试装置,黎明院拥有NF_3总产能1 200 t/a,成为中国第二大NF3生产商。 相似文献
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把三氟化钴作为强氟化剂的发现促进了高氟化合物合成领域的重大发展,因为为此目的而使用元素氟时会造成目的产物的产率大大降低和导致原始碳链的部分破坏。Py(鲁弗)和Aщер(阿舍谢尔)第一次提出把三氟化钻作为氟化剂,之后Py和Кеим(凯依姆)用三氟化Q钴对四氯化碳进行氟化。从40年代开始由于原子能工业对氟碳和含氟油类的需求,对三氟化钴氟化能力的研究蓬勃开展。由Qay。en(法乌列尔)和他的同事们所进行的第一批研究得出:在高温下三氟化钻很容易用氟原子取代有机化合物中的氢。这时同样生成二氟化钻和氟化氢。之后利用三… 相似文献
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利用三波长红外光谱分析法测定三氟化氮用液氨中的矿物油含量。研究结果表明,该方法简便、有效,且对不同种类的矿物油具有普适性。利用此法可快速检测液氨中矿物油的含量。 相似文献