带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统

本文提出了一种带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统。用锆铝泵或钛球升华泵可长时间使密封系统平衡在较低的本底压强(用钛升华泵可稳定在2×10~(-7)托),系统的升压率近于零,并可在1分钟内达到稳定。用氦气作试验气体,在10~(-3)～10~(-6)托范围内进行校准,重复性良好。文中提出一种反馈式的二级膨胀原理,可以在很简单的小系统上实现10~(-4)～10~(-6)托的校准,为高真空规的校准提供了廉价和简易的方法。实验证明,在氦气氛下,DL-2规在10~(-3)～10~(-6)托的压强范围内的灵敏度为4.1±0.2托~(-1)。BA规在10~(-5)～10~(-6)托范围内的灵敏度为3.3±0.3托~(-1)。二种规的离子流与压强均有很好的线性关系。     

磁悬浮高速转子真空计的试验

本文介绍我们研制的磁悬浮真空计初步试验结果。简述该计的组成与利用数字频率计测量压强的方法。给出与中国计量科学研究院真空室的薄膜真空计对比,与DL-2型热阴极电离计对比及密封管静态压强测量稳定性的试验结果。试验的结果表明: ①多次对比的试验有较好的重复性。②在1×10~(-2)～1×10~(-3)托压强范围内,磁悬规与薄膜真空计的读数基本一致,相对偏差小于1％。磁悬规压强测量线性上限为1×10~(-2)托。③在1×10~(-3)～1×10~(-5)托压强范围内,DL-2型热阴极电离计与磁悬规的读数的相对偏差在 5％～-10％之间。在6×10~(-4)托压强附近,三天内多次对比的重复性较好。两个规的压强读数比值的相对标准差为1.3×10~(-2)。④密封管内静态压强的测量,平均压强P=2.555×10~(-3)托时,相对标准差为4.3×10~(-3);平均压强P=6.479×10~(-5)。托时,相对标准差为1.1×10~(-2)。     

JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组     

用于分子束外延的喷射炉的研制

一、引言分子束外延(MBE)是新近发展起来的制备化合物半导体薄膜的方法。生长过程包含一个或多个热分子束或原子束与晶体表面在超高真空(10~(-9)～10~(-10)托)条件下的反应。依照粘附系数的差别,严格控制入射分子流或原子流。外延薄膜的结构随分子束的相对流量改变,保持严格的化学配比。晶体生长受分子束相互作用的动力学过程支配,而异于常规的化学汽相淀积(VPE)和液相外延(LPE)中的准热力学平衡。分子束外延是在基础研究中出现的外延生长新方法。分子束外延能够精确地控制外延层的厚度和均匀性。例如,用计算机控制的分子束外延设备已生长出低于10(?)厚度的GaAs和     

塞曼石墨炉原子吸收法中用钯消除氯化物干扰的机理

本文研究了塞曼石墨炉原子吸收法中采用钯消除环境水样基体氯化物干扰的机理。在最佳条件下,用10μg钯可消除5μg氯化钠基体对1.0ng铜的测定干扰。在10μg钯改进剂中加入5μg镁,可改善测定水样中铜的回收率。测定结果表明,铜的检出限(3σ)为5.0×10~(-11)g,回收率为97%～103%。     

小型缠绕式钛升华泵在氦氖激光器上的应用

在氦氖激光器制作过程中,真空系统的好坏和管内所充气体的纯净程度,对器件的性能和寿命有着直接的影响。目前我们所用的氦氖气体的纯度虽为99.99％,但由于某些储气瓶除气程度差,这样在氦氖激光管中所含杂质气体的分压强大约在10~(-4)托,其有害成分的分压强有可能在10~(-5)托。因此我们在排气时,真空系统的静态真空度,在一定的时间内总保持在10~(-5)托以上。过去我们的真空系统采用机械泵和扩散泵,充气时系统的动态真空度为2×10~(-5)托,但实际静态真空度在很短时间内下降到5×10~(-4)托。     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

附加电极离子镀

普通的二极离子镀是一种真空蒸发与溅射相结合的工艺。当真空室的真空度抽到1×10~(-6)托后,充以氩气(1×10~(-2)～1×10~(-3)托),工件相对蒸发器加负高压,便形成等离子体。当被蒸发的金属原子进入等离子体中时,便被氩气的离子所撞击并电离,随之被带负高压的工件吸引而堆积成膜。这种普通的二极离子镀膜设备所形成的等离子体中,它的离子浓度只有2～5％。为提高离子浓度,我们在普通二极离子镀基础上增加了一个偏压电极板     

不锈钢钎焊工艺的改进

不锈钢在真空炉中直接钎焊,如真空度低于10~(-5)托,或者在氢炉中钎焊,如氢气露点高于-60℃,不锈钢就会被氧化。为了降低对真空度或氢气露点的要求,在不锈钢表面电镀镍层再进行钎焊,但又常产生镍层起泡及皱皮等现象。为了克服这些弊病,只要在不锈     

具有一个环形阳极的马鞍场电子振荡微电离规

本文提出两种结构的具有环形阳极的马鞍场电子振荡微电离规(以下简称鞍场规),它其于可以产生电子路径,因而产生有效的气相电离的静电马鞍场约束的基础上。此种新颖、独特结构的鞍场规具有高灵敏度(500托~(-1))、量测范围宽(10~(-4)-10~(-10)托)、尺寸小(以柱型规管为例,外径约11～12mm,管长小于50mm)、功耗低(<0.15毫瓦),不需要任何去气电源,放气率极低,吸气率约为标准BA规的几十分之一。鞍场规与标准BA规和分离规的比较量测表明,在压强逐渐降低时,鞍场规不存在BA规由于电子诱导栅极正离子脱附产生的灵敏度异常现象,因此鞍场规特别适合于航天空间及密封器件内高真空和超高真空量测。     

DL-8型高压强电离规测量氩、氢、氖和氦等气体压强的相对灵敏度

在溅射或蒸镀半导体薄膜、冶金精炼、气体激光管的制造等所应用的真空系统中,都需要首先抽到约10~(-4)帕(约10~(-6)托)的高真空,然后引入氩、氮、氢、氦或氖等纯气体到10~(-1) -10~2帕(约l0~(-3)—1托)的高压范围,某些场合还要求所充气体的压强测量值有一定的精度。全量程为1.33×10~(-4)-1.33×1O~2帕(1×10~(-6)-1托,测氮压值)的DL-8型高-压强电离真空规(以下简称DL-8规)能够满足这些需要。由于DL-8规的电极结构和工作电参量与其它类型的电离规不同,其测量氩、氢、氖和氦等气体压强相对于     

易激发的冷阴极电离计

这只高真空规测量10~(-4)～10~(-8)托。规的特点是在阴极上装了一个点火器。冷规在-2.5KV直流高压下引燃。通常反应时间小于1分钟。线性范围在5×10~(-3)到5×10~(-8)托。并且计算了在各个压强下的最大正负偏差数值。这个数值小于百分之五十。冷阴极电离真空计(以下简称冷规),因无热灯丝,不会因系统突然漏气而烧毁;规管租电源结构简单,且规管灵敏度高。但是普遍认为,冷规在上下限的扩展上比较困难。为解决在低压强下激发和下限的延伸,以激发电离为例曾对潘宁规采取过加辅助针尖、加     

材料表面改性的一个新构思

本文提出了一种用高能量密度等离子体(电子密度,n=10~(16)～10~(17)cm~(-3)。温度,100～500eV)研究材料表面改性的新构思。它能使材料表面产生激熔并激凝,冷却速度约为10~6～10~(10)KS~(-1),同时还可以在材料表面渗入不同的气体元素,不受合金平衡固溶度的限制。     

一种10~5～10~(-7) Pa现场真空计校准装置的设计

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为10~5～10~(-7) Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10~(-8 )Pa量级;采用流导法和定容法设计出10~(-2)～10~(-10) Pa·m~3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为10~5～10~(-7) Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。     

一种新型的轴向式超高真空自调制规

本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的新型自调式超高真空电离规。它是采用自调制技术改变离子收集效率来消除剩余光电流的。它较短收集极BA式自调制规具有灵敏度高(11托~(-1)),零散性小等特点。本文给出了规管在两种不同离子收集效率工作状态下的实验结果和加速极的电子流分布情况。该规管结构简单,测量上限为5×10~(-4)托。在无调制情况下软X射线光电流本底为1.5×10~(-11)托。在自调制工作条件下其可测下限约为2×10~(-12)托。     

氟橡胶2641应用于超高真空密封的试验

我国生产的氟橡胶2641,可以满足10~(-8)～10~(-10)托的超高真空密封件的技术需要,而且取得较长的使用寿命,为超高真空提供较为可靠的密封材料一、氟橡胶2641的耐油性和耐热性氟橡胶2641的氟含量达50％以上,因而耐油性能特别好,耐热性也十分优异。通常制     

PY型水环蒸汽喷射真空泵研制成功

西安重型机械研究所和成都611研究所最近研制成功了 PY 型水环蒸汽喷射泵。共有两种型号,其技术指标是:型号 PY11000 PY25000工作蒸汽压力(公斤/厘米~2) 8 8蒸汽耗量(吨/小时) 1.5 2.5冷却水量(吨/小时) 100 150冷却水温(℃) 30 30耗电功率(千瓦) 70 70在粗低真空范围内,PY 泵兼有水环真空泵的低真空度(200～760托),大抽气量和蒸汽喷射泵较高真空度(10~(-2)～30托)大抽气量的特点。并在30～200托弥补了两者的不足。与水     

2GeV增强器真空系统的设计与模型试验

2GeV增强器是快循环型质子同步加速器。考虑涡流的影响,金属真空室的壁厚不能大于0.135毫米,选用了环氧浇注磁铁真空室的方案。真空系统设计时,环氧表面出气率采用FNAL的数据3×10~(-5)托升/秒·米~2,平均工作压强为5×10~(-7)托时,系统中需配备600升/秒离子泵。通过模型试验,在磁铁环氧表面涂复胶体石墨,经长时间烘烤除气后,可得到2×10~(-5)托升/秒·米~2的出气率,残余气体分析主要成分为水汽。     

磁悬浮转子规用于参考传递校准系统以提高校准精度的探讨

本文介绍三种磁悬浮转子(或转盘)真空规之后,对这种真空规的精度作了分析,并探讨了应用于参考传递校准系统的工作原理和结构。作者认为,应用磁悬浮转子规作为参考传递校准系统的标准规可以减少传递次数和积累误差,从而提高校准精度,是一种值得推荐的宽量程校准系统。如用液氮低温泵排气,校准范围可以宽到9个量级(10~(-3)托～10~(-11)托)。     

利用选择性抽气原理校准微漏率标准漏孔

本文描述微漏率标准漏孔校准装置,装有选择性吸气泵——水冷钛升华泵;用定容升压法测量。加钛泵后系统内的大部份活性气体被消除,出气率降到小于10~(-10)托·升/秒。在测微漏率时,曾对电离规的出气及其三种工作状态(①连续工作;②保持灯丝恒温,间歇加栅压;③间歇点燃灯丝)做了研究和讨论。并对电离规对不同气体的灵敏度做了测量。对渗氦率10~(-8)～10~(-9)托·升/秒数量级的箔壁玻璃漏孔进行校准。其结果表明,精度均在±5％以内。