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相似文献
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1.
多孔Al2O3湿度传感器的湿敏电容理论模型   总被引:3,自引:1,他引:3  
建立了一种新型的多孔 Al2 O3 湿度传感器湿敏电容模型,以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。  相似文献   

2.
建立了一种新型的多孔Al  相似文献   

3.
本文介绍了飞利浦湿敏电容传感器进行湿度控制的方法,包括它的基本原理、测量电路、工作频率、响应时间和滞后现象。  相似文献   

4.
湿敏电容及湿度测量仪表   总被引:3,自引:0,他引:3  
讨论了湿敏电容的湿敏特性及两类应用此特性实现的相对湿度测量仪表的原理、影响性能的因素及完善仪表的措施。  相似文献   

5.
多孔硅湿度传感器研究进展   总被引:1,自引:1,他引:1  
综述了湿度传感器的研究现状。分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理,介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构,并讨论了它们的优缺点。最后,对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望。  相似文献   

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7.
本文通过对多孔Al_2O_3薄膜的显微结构形貌和晶相组成的跟踪检测,观察了多孔Al_2O_3薄膜几何结构和晶相的经时变化.对其原因进行了探讨,从而对多孔Al_2O_3电容式湿度传感器响应的长期漂移机理进行了详细讨论,并指出了克服或改善这类湿度传感器漂移的方向.  相似文献   

8.
为实现高空高湿环境下对湿度的准确测量,本文设计和研究了集成加热功能的湿度传感器,在探空仪进行高空湿度探过程中利用两只加热式湿度传感器进行轮流加热除湿和湿度测量。通过对聚酰亚胺湿敏材料进行改性和合成,设计和制作了加热式的电容型湿度传感器,其灵敏度为0.2195 pF/%RH、响应时间小于1 s、湿滞为4.8%RH、半年漂移量在±0.3%RH以内。通过分析不同温度下的加热恢复时间,制定了加热式湿度传感器轮流工作的机制,轮流加热时间和周期分别为2s和120 s。并利用数据采集电路以及GPS探空仪对加热式湿度传感器进行了地面静态性能和高空动态性能测试,其高空湿度探测结果与VA SALA RS92的显示出较好的一致性和较低的湿度误差。本文研制的加热式湿度传感器能具有良好的地面性能,实现了交替加热除湿和湿度测量的功能,具有高空湿度探测的应用潜力。  相似文献   

9.
高精度,低功耗湿度传感器设计   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文介绍一种测量湿度范围宽,功耗低,精度高的新型传感器的功能,原理以及设计思想。  相似文献   

10.
超微细TiO2湿敏材料研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍了以化学沉淀法制备超微细TiO2粉体方法,通过对材料半导化改性,使TiO2由绝缘体变成半导体,并具有感湿特性,通过表面修饰技术,改善了湿敏元件的阻-湿特性及长期稳定性.  相似文献   

11.
为改善常规湿度传感器性能,以适应现代科技要求,我们从材料、工艺、设计等各方面进行了研究,以期制得完全新型的湿度传感器.  相似文献   

12.
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,再利用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后通过铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。利用JSM 35C扫描电子显微镜观测了该Al2O3薄膜的形貌。通过对Al2O3薄膜电阻与相对湿度关系的测试,发现其具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。  相似文献   

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<正> 氯化锂湿度传感器广泛用于化纤、纺织车间、仓库、空调净化系统。我所生产的MS系列温湿度传感器已有十多年的历史,以它先进的技术和可靠的质量,畅销全国各地,深受广大用户的欢迎。  相似文献   

15.
在简要介绍荧光化学传感器的基础上,分别从荧光湿敏材料、薄膜的制备方法和荧光检测方法等方面对国内外荧光湿度传感器的发展进行了综述。荧光湿度传感器具有灵敏度高、选择性好、抗电磁干扰能力强、本质安全(即阻燃、防爆)及设备简单等特点,必将使其今后获得广泛的应用。  相似文献   

16.
本文报道的钴铁尖晶石多孔湿敏陶瓷,具有电阻率低,电阻和相对湿度呈线性关系的特点。该材料制成的湿敏元件不需要加热清洗,性能稳定。以石墨粉为造孔剂制成多孔湿敏陶瓷,可以提高湿敏元件的湿度灵敏度,并且有利于改进湿敏元件的长期稳定性。最后,讨论了石墨的钝化作用。  相似文献   

17.
TiO2-V2O5系材料感湿特性与微结构的研究   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
本文研究了不同晶型TiO2材料、烧结温度及烧结时间对TiO2-V2O5系多孔陶瓷湿敏材料的微结构及温敏性能的影响。实验表明:采用TiCl4水解法制得TiO2具有很高的湿度灵敏度。材料在900-1200℃下烧结1-2h,易获得颗粒大小及气孔一定分布的湿敏材料。  相似文献   

18.
多孔陶瓷湿度传感器最新研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文以金属氧化物烧结体为中心,论述多孔陶瓷湿度传感器几何学因素,细孔表面状态和感湿特性之间的有关系及其最新研究成果,湿敏元件是根据大气湿度极大地影响着多孔陶瓷元件电阻的特性。利用陶瓷工艺技术制成,其灵敏度是由细孔结构、表面积以及化学成份决定的。当酸离子占有的表面积远大于0.1nm^2时,在90%RH湿度以下,有效电阻由表面积和细孔的结构决定。当酸离子占有的表面积小于0.1nm^2时,湿度大于40%RH,电阻随酸离子在表面上相互集中的比率增大而减小,采用碱离子来替换细孔表面的酸离子是一种很好的改善湿敏元件灵敏度和稳定性的方法,在较低的湿度领域下,可用超离子导体和铁电体替换金属氧化物陶瓷的方法,来降低电阻。  相似文献   

19.
通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。  相似文献   

20.
在综合分析了Maxwell-Garnett理论和有效介质理论的基础上,针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖的复合模型,给出了以吸附参数和陶瓷材料气孔率为变量的薄膜折射率随湿度变化的理论关系。随着吸附参数的增大,SiO2薄膜的折射率增大;随着陶瓷材料气孔率的增大,SiO2薄膜的折射率将减小。利用薄膜折射率的变化检测湿度,灵敏度可以达到10^-3数量级。通过计算机理论模拟与AlbertoAH等人所做的实验结果对比,证明了该模型的正确性。  相似文献   

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