激光定位工件台系统电控系统

本文总结了用于可变矩形电子束曝光机激光定位工件台电控系统的研制及实验经验。探讨并解决了高速运行工件台的精确定位问题。本电控系统由微机控制,双频激光测量,运行造度快、定位精度高、效率高、稳定可靠,操作方便,灵活。     

激光定位工件台位置测量及电气控制系统

作为电子束曝光机的激光定位精密工件台的位置测量和控制电路。本电路将电子束曝光机的大脑——电子计算机与工件台连接起来。而且由于计算机容量有限,对工件台的控制工作很多都要由本电路完成。总的来说,它可完成四种功能:1、平面座标系上的位置测量,为计算机随时提供工件台的准确位置代码;2、根据拼接图形的要求。将工件台平稳地停在预定座标位置上;3、在工     

潜望式激光通信端机记忆合金驱动解锁机构

针对潜望式激光通信端机伺服转动系统锁紧需求,提出了一种基于形状记忆合金(SMA)丝的解锁机构。保证在卫星发射过程中,激光通信端机稳定锁定。该机构利用弹簧分力实现锁紧,加热记忆合金丝输出回复应力驱动实现解锁;对解锁机构进行优化设计,利用杠杆原理实现了锁紧力与锁紧位移的优化;分析了解锁机构锁紧力与解锁力之间的平衡关系;实验测定分析解锁时间与供电电压电流的关系;研制了原理样机并进行了高温、振动冲击等航天环境地面试验。实验结果显示,该机构可提供1 000 N的锁紧力,在90℃以下均可保证稳定可靠锁紧,解锁时间可稳定到3 s内。该机构的功能及稳定性满足星载激光通信端机发射需求。     

TRS—80微计算机用于激光精密工件台的定位和测试

TRS—80微计算机对激光精密工件台的定位控制和测试,使激光精密工件台成为完整的 X,Y 两座标精密定位系统。TRS—80微型计算机对工件台的定位控制和测试包括:输出 X,Y 两个座标预定位置二进制码数和两个座标位置的改数二进制码数,最大的二进制码数为22位,对工件台外设电路的     

激光定位工件台系统鉴定意见

鉴定会审查了光电所提供的激光定位工件台系统实物与研制报告,以及中国计量科学研究院、科学院电工所、科学院光电所等三个单位组成的检测组提供的《激光定位工件台系统检测报告》等技术资料,认为技术资料和图纸齐备,检测组的检测结果是可信的。与会代表同意检测组的检测报告。     

亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统设计

系统介绍了亚微米电子束曝光机激光工件台控制系统的结构组成以及工件台自校正ＰＩＤ定位控制系统的设计。     

可变矩形电子束曝光机激光定位工件台系统

文中概述了系统结构设计的误差分析,阐明了主要设计思想和结构特点,介绍了整机概况和操作控制原理。最后列出了所达到的各项主要技术指标。即工件台行程X·Y分别为135×110毫米,激光干涉仪分辩率为0.02微米,工件台定位精度±1微米,最大速度20毫米/秒,步进速度0.11秒/2毫米,真空度达到2×10~(-5)托。     

激光定位工件台系统干涉仪设计

本干涉仪是电子束曝光机之激光定位工件台的重要组成部分,它提供了 X—Y方向100×100毫米位置测量。为实现干涉系统的0.04微米测量精度,对其结构设计严格要求。本设计解决了干涉仪温度变形,长期稳定性,光学系统间几何位置精确调整及调后位置保持不变等问题。     

一种新型电磁式锁紧机构设计与仿真分析

目的针对产品自动化包装,设计一套新型电磁式锁紧机构,对其性能进行仿真分析。方法使用UG和ADAMS软件,对锁紧机构进行三维建模设计和动力学仿真分析,得到电磁式锁紧机构的运动规律和动力学曲线。结果仿真结果表明:速度每增大5 mm/s,锁紧机构与吸附块的接触力增大15 N左右,吸附块的后退位移增大1.7 mm左右。合理控制锁紧机构的速度可以有效地提高系统的平稳性。结论通过仿真分析得到了系统的运动规律和动力学曲线,验证了电磁式锁紧机构的可行性,ADAMS可以准确预测复杂机构的运动规律。     

基于ADAMS的捆扎机锁紧机构的优化设计

气动捆扎机在使用过程中,存在锁紧力不足、锁扣不紧的问题.以锁紧机构为研究对象,通过理论计算分析影响锁紧力的因素,在ADAMS软件中对锁紧机构各主要杆件进行参数化,创建锁紧机构的虚拟样机优化模型;以锁紧力最大为目标,对模型各设计变量进行分析,找出了对目标影响最大的变量,通过优化确定模型的最佳结构;最后将导入钢扣柔性体导入虚拟样机模型,比较优化前后的锁紧机的性能.通过优化后锁紧机的锁紧力得到显著提高,其它性能也得到了改善.     

二维纳米位移台测量系统的搭建和实验研究

研制了压电陶瓷(PZT)驱动叠加柔性铰链运动机构的二维纳米位移台。介绍了位移系统的结构并分析了位移系统的工作位移刚度,理论和仿真结果误差在6.3%以内。根据线性干涉仪原理构建了一套激光干涉测量系统,阐述了测量系统的布局及位移测试原理并测量纳米位移台行程及定位准确性。实验结果表明:位移台在100μm行程内,x轴和y轴的测试位移为99.6μm和97.7μm。同时分析了测试系统的误差来源并评估测量系统的不确定度,得到该测量系统x轴和y轴的合成标准不确定分别为10.04 nm和13.93 nm。     

形状记忆聚合物材料及其在航天器新型锁紧释放机构中的应用

综述了形状记忆聚合物的种类、驱动方式以及形状记忆聚合物复合材料,同时介绍了其在空间锁紧释放机构中的应用,分析了各种锁紧释放机构的优缺点,并讨论了基于形状记忆聚合物材料的航天器新型锁紧释放机构关键技术,包括结构设计、加热源、承载能力、地面试验技术和重复使用性等。随着智能材料的进一步发展,基于形状记忆聚合物材料的锁紧释放机构有望取代火工品锁紧释放机构。     

荧光磁粉探伤自动化中工件自动定位系统研究

文章设计实现了一种用于荧光磁粉探伤自动化的工件自动定位系统。该系统由工件定位流程控制上位机、工件位移采集和工件拖动PLC控制器、工件位移传感器、工件拖动电机及驱动器组成。上位机通过PLC控制器驱动电机拖动工件运行,并利用位移传感器监测工件位置,使工件区块依次运行到相机拍摄位/机械臂标记位停止,以便工件各区块图像的无重叠清晰采集、区块中裂纹的准确标记。该系统能使长度为2～2. 73 m的140 mm边长方截面工件按124 mm区块长度拖动停止时达到±5 mm的定位精度,每区块拖动时间3～5 s。系统为荧光磁粉探伤自动化奠定了坚实的基础。     

第二相引入荧光转换材料实现激光驱动高均匀性白光光源

激光驱动的白光光源在超高亮度、高准直性和远距离照明领域具有很大的应用潜力, 但由于蓝光激光和转换荧光在光源性质上的失配, 造成激光驱动白光光源的光均匀性差。本研究在Y₃Al₅O₁₂ : Ce³⁺(YAG)荧光玻璃薄膜(PiG)中引入不同种类的第二相, 如TiO₂、BN、Al₂O₃或SiO₂作为散射介质来调节光路, 并对第二相的掺杂浓度分别进行了优化。研究分析了掺入不同种类第二相的YAG PiG获得激光驱动白光光源的实物照明图像和散斑图像、亮度和色温的角分布情况及其光学性质。结果发现, 引入第二相大大改善了白光光源的亮度和色温均匀性, 其中具有最大相对反射率的YAG-TiO₂ PiG, 获得综合性能最佳的高均匀性白光光源, 在蓝光激光激发下, 其发光饱和阈值和光通量值达到最高, 分别为20.12 W/mm²和1056.6 lm。本研究为荧光转换材料中散射介质的选择提供了指导, 为实现高均匀性、高亮度的激光驱动白光光源奠定了基础。     

微驱动精密定位技术应用

微驱动精密定位技术应用特点：以高分辨率（１０ｎｍ）、高速（ｍｓ级响应时间）实现微驱动定位。组成：微位移驱动系统，单模光纤耦合台，六维精密微调台，两维精密微调镜座。用途：能动光学器件，光学，微电子加工，激光领域等。评价：１９９４年通过了中国科学院鉴定，...     

影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术

为提高球面激光直写图形线宽均匀度,提出了球面激光直写四轴同心结构和同心扫描光学系统的方案。这种方案使得激光束经水平轴、垂直轴、光轴和工件中心轴相交于球心,经球心反射镜反射到球面工件表面上,形成激光曝光光斑。采用微小离焦探测和复合闭环控制的自动调焦技术与计算机并行工作的控制方法,确保了球面工件以垂直轴为轴心沿水平方向精密匀速旋转;激光笔绕水平轴以俯仰弧形轨迹移动且精准定位;激光束经写入物镜和调焦系统始终以圆形光点聚焦在球面上,实现了对球面任意纬度连续激光直写线条精度的可靠控制。原子力显微镜检测分析结果表明,在球面上激光直写出约3μm宽线条,线宽均匀度10%左右。     

一种新型激光测量台的静力学分析

针对一种新型激光测量台静力学分析,首先对机构建立闭环矢量约束方程,将其求导得到速度雅克比矩阵;其次利用虚功原理获取动平台所受外力/力矩与6个驱动关节间的映射关系,即力雅克比矩阵;最后基于拉格朗日乘子取条件极值的方法定义静力学评价指标。实验结果表明:所提出的算法能够揭示结构参数与机构承载能力的关系,在实验提出机构的结构参数下静力学性能最优。     

电子束曝光机用激光定位工件台交付使用

中国科学院光电技术研究所研制成功的激光定位工件台系统,已于1982年10月从四川成都运抵中国科学院北京电工所与电子束曝光机其他部分相配。经光电所、电工所同志的共同努力,仅仅用了一个月时间即安装、调试、检测完毕。检测结果略优于鉴定     

已知工件最大加工时间的三台同类机半在线问题

本文考虑已知工件最大加工时间的三台同类机半在线问题。三台机器的速度分别为s1=r,s2=1,s3=s1,1≤r≤s,工件是一个一个独立地到来,工件的信息是逐个释放的,但所有工件中加工时间为最大的工件的加工时间是已知的,目标函数为极小化最大机器负载。本文证明任何解此问题的算法竞争比的下界为3/2且给出Qmax3算法并证明此算法的竞争比不大于(2(r+s+s1))/(2r+s)(1s≤2)和(r+r2+1)/(r+s)(s2)。     

大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究。介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性。实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4.052μm,y轴的最大非线性误差为2.927μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15nm,y轴的最大非线性误差为17nm,仅为原始非线性误差的1%。