扩散泵返油率在泵口平面的分布

扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时，又将减小泵的抽速，这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡，而低的部分留作抽气通导，这对设计低返油、大通导的挡油障板无疑是一种启迪。     

扩散泵返油主要原因的分析

返油是油扩散泵的最大弱点,且返油只能减少,不能根除。为了减少扩散泵返油,首先要搞清楚返油的主要来源,是怎样造成的。而后,方能采取相应措施,更有效地降低扩散泵的返油率。 一、扩散泵返油的主要原因 扩散泵的返油主要来自第一级喷咀出口附近的区域,这已为大家所公认。但是造     

新型K-800A高真空油扩散泵的研制

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。     

从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

评述现有国产扩散泵产品的进展情况,存在的不足之处,今后应努力改进的方向.讨论测量扩散泵返油率的几种方法,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议.     

国外油扩散泵、钛泵近况

一、油扩散泵 自进入七十年代以来,国外油扩散泵制造厂的产品都已进入稳定和成熟阶段。很少有新品种出现。各主要生产厂都具有一种或数种系列的定型产品。从文献资料来看,自六十年代后期以来,就很少发表扩散泵理论研究的文章,改进扩散泵局部结构的专利也逐年减少。实验室研究重点是放在如何减少扩散泵的返油到10-6(毫克/厘米2·分)以下和测量微量返油的方法。 极限真空 油扩散泵在六十年代初期是因为出现了DC-705硅油,而再度被重视和发展的。由于DC-705硅油极低饱和蒸汽压力特性,使扩散泵能获得10-8-10-10乇的超高真空,这样才使扩散泵适应…     

BCK-1型低返油玻璃扩散泵油蒸汽返流的理论分析

本文主要从理论上分析ＢＣＫ－１型低返油扩散泵的低运油性能和结构特点。在先分析普通扩散泵返油主要来源和通常采用的降低返油措施的基础上，着重从理论上阐述ＢＣＫ－１泵的设计思想，并对该泵主要结构的特点作了理论分析。通过分析计算，得到了该泵的理论返油率值，且与实验数据较好地吻合，返油率在１０～（－８）（毫克／厘米２·分）数量级内；同时，残余气体分析的侧面也验证了该泵的低返油性能。     

机械泵的返油(节译)

3.机械泵的返油 (原文第一、二两节从略,以下编号顺序仍按原文──校注) 一个设计良好的扩散泵真空系统,即使在扩散泵进口采用高效液氮冷阱、也仍然会出现某种程度的碳氢化物污染。这种污染的根源一般都归因于扩散泵返油、但是实际上在大多数情况下都可以查到机械泵油的痕迹。 考察旋片泵在从大气压下开始工作直到达到其极限压强时在旋片泵扩散泵间联接管道内气流状态所发生的变化可以看出、在粗抽阶段(压强降至1毫巴以前)管路中高密度气流占绝对优势因而阻止了机械泵油向扩散泵方向的返扩散。可是,随着压强的下降,气流变为过渡态,蒸汽分子…     

一种新型油蒸汽流泵——宽域高真空强力油扩散泵

一种新型油蒸汽流泵——宽域高真空强力油扩散泵张国孝（沈阳速达特种真空泵应用技术研究所）一、前言ＧＱＫ（Ｂ）－６００泵是一种新型油扩散泵。该泵打破常规设计，采用特殊结构。它除采用扩散泵结构外，还采用增压泵结构，并把二者有机的结合在一起。此外，还采用了前...     

降低油扩散泵返油率的试验研究

一、引言 众所周知,油扩散泵广泛地应用到真空冶金、电子工业、原子能及宇宙模拟、国防军工等新技术领域中,其特点是结构简单、运转可靠。但由于它有返油而污染被抽容器的缺点,影响了它的使用范围。为了降低扩散泵的返油,人们做了不少探讨和研究①②,并采用了各种措施,如加设冷凝阱(用液氮或乾冰)、吸附阱(用碳或砩石)、水冷挡板、挡油帽、过热喷嘴及各种汽相加热器等,取得了不同程度的效果。我所曾于1964年对扩散泵的各种水冷挡板(百叶窗式、塔式等)进行了试验研究,证明这些挡板皆能有效地降低泵的返油率、提高真空度,但另一方面却严重地影…     

最近油扩散泵技术的发展与实例

1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度地提高了,泵入口处工作液返油率已降低到10-3毫克/厘米2·分左右。 扩散泵性能的这些提高在很大程度上是依赖高性能的工作液(即常温下蒸汽压强在10-10托以下,在高温下不会引起热分解及氧化,在常温下具有适当粘度的工作液)的相继出现而实现的。 油扩散泵最伤脑筋的问题是工作液蒸汽的返流引起被抽系统的污染。油扩散泵所具有的许多优点都被这一缺点所掩盖了,因而出现了…     

金属油扩散泵的快速启动

本文着重对金属油扩散泵加热方式的改革进行研究分析。 半个多世纪以来,油扩散泵一直以超群 的生命力不断发展和完善着自己,特别是近年来随着多学科的不断发展,油扩散泵应用。之广泛是出乎意外的,这不能不归结于它的独特优点。尽管如此,油扩散泵仍然存在诸如返油率大、耗能高和启动时间长等不足之处。其实各国从事这方面研究的专家学者早已注意到这些问题。比如日本的大亚真空株式会社,为提高生产率缩短泵启动时间,用2～3倍的正常工作功率启动;美国NRC公司对VHS4、VHS6扩散泵启动时间也进行了一系列的研究工作。我所过去也曾进行过将管…     

以聚苯醚为介质的油扩散泵超高真空机组试制总结

一、概述 随着真空技术在国民经济各部门的广泛应用。油扩散泵超高真空机组同无油超高真空机组一样被应用在许多大型表面分析仪器上。如国外电子能谱仪ES200、ES300、BSCA650B和VG公司SSMD2型分子束外延设备都配有油扩散泵超高真空机组。尽管返流油蒸汽污染真空室,但当采取适当措施。如挡油帽、水冷挡板、冷凝阱等,可使返流油蒸汽大大减少。尤其扩散泵与离子泵、升华泵比较,造价低。运行可靠、使用维护方便。特别是在某些仪器上,如电子能谱仪、高频溅射仪等,大大优越于无油机组。 一近年来聚苯醚的问世,给扩散泵的发展以强大的生命力…     

玻璃油扩散泵的应用

扩散泵是一种利用高速定向蒸汽流喷射抽气原理制成的真空获得设备。按泵的构成材料来说可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵两类,按使用的工作液来说又可分为油扩散泵和汞扩散泵。由于玻璃油扩散泵具有使用简便、造价低廉、制作简单、极限真空度高、返油率低、同时又无毒害等优点,使得它在工业生产和科学研究各部门获得了广泛的应用。但是由于玻璃油系存在着机械强度差,泵的抽速受到玻璃管道的限制等缺点,使得玻璃油泵只能够适宜于作为小容器的真空获得工具。在电真空器件、激光管、特种光源等的工业生产中,在各种科研的小容器超高真空实验装置中,…     

扩散泵的世纪回顾与发展

本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程.讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题.现代油扩散泵的何氏系数达0.65以上,返油率达10-5 mg/cm2·min,1 kW功率抽气量可达200 Pa L/s.最后对泵的性能、结构和应用前景作了展望.     

真空油扩散泵及其设备泵液返流率红外光谱测定法

本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定。该方法简便、精度高。一般可测量泵液返流率达10~(-7)毫克/厘米~2分。它还可以测定真空系统中泵液返流率空间分布状态以及返流物质和来源。     

油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析，指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性，给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值，同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。     

高真空油扩散泵冷却水管新型焊接工艺

本文介绍了高真空油扩散泵一种新型的冷却水管与泵壁异种金属焊接工艺,通过焊接材料和焊接方法对比,并进行了大量试验验证,得出了此焊接工艺工作效率高,导热效果良好,并且消除了高真空扩散泵冷却水管易脱落,返酸等现象。     

大型准无油真空除气炉的设计研究

基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验，对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。     

油扩散泵的现状及发展

对国内外油扩散泵的主要性能及现状作了比较，初步分析出存在的差距，提出了今后泵的发展趋势。     

扩散泵设计中的几个具体问题

本文根据气体动力学的二元理论论述了扩散泵喷嘴角度与喷嘴扩张车的关系，认为喷嘴角度在一定范围内变化时，喷嘴的扩张率也要作相应地改变，方能取得良好的抽气性能。与此同时，各级喷嘴之间的级间距离不该用喷帽内壁面的角度来计算，而应根据射流上界面的角度来计算。文章同时分析了一级喷嘴扩张率对返油率的影响以及直筒泵对喷嘴扩张率在结构方面的限制，提出了用凸腔泵取代直筒泵的建议，以降低返油提高抽速。