微机电系统的构成及其关键技术

微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一．是21世纪最有前途的产业之一。概述了微机电系统的定义与构成．讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望。     

微机电系统CAD的研究分析

概述了微机电系统CAD的研究进展，重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同。总结了微机电系统CAD的技术特点，并据此提出了微机电系统的设计原则，还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。     

微机电系统的进展分析与研究

系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路，使微机电系统的研究走向产业化，才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位。     

微机电系统的机械学特性研究

目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面，而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上，归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征，并探讨了微机电系统的机械学特性。     

微机电系统技术的发展趋势研究

微机电系统技术作为新的技术领域,已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类,指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。     

SAC/TC 336全国微机电技术标准化技术委员会微机电技术标准体系建设工作情况

我国的微机电系统研究始于二十世纪九十年代初,经过10余年的发展,目前已在基础研究、技术攻关与装备、应用系统等几个层面取得了显著的进展。特别是2002年国家"863计划"启动"微机电系统重大专项"以来,我国的微机电系统技术得到了长足的发展,已经形成覆盖多个研究领域较为完整的体系。与此同时,微机电标准体系也在日趋完善中。     

微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。     

微机电系统与微机械学

分析了微型机电系统中产生的一系列特殊效应，介绍了微机电系统中新的设计理论和设计方法，以期建立微机械学理论体系。     

微光机电系统应用于先进医疗工程的研究：——微创伤外科手术机器人的 …

本文论述了微光机电系统及其在微创伤外科领域应用的研究现状,介绍了向种基于微光机电系统的微创伤外科手术机器人系统,对我国现代医学工程发展有参考价值     

微光机电系统应用于先进医疗工程的研究——微创伤外科手术机器人的研制与发展

本文论述了微光机电系统及其在微创伤外科领域应用的研究现状,介绍了几种基于微光机电系统的微创伤外科手术机器人系统,对我国现代医学工程发展有参考价值.     

微机电系统用压电驱动器的发展及应用

微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来.它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单.本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应用情况进行了详细、全面的介绍,同时指出了压电驱动器研究领域需深入探讨的关键技术.     

微型机械材料的残余应力测量

硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命，而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点，可供微机电系统的设计和制造者参考。     

基于MEMS的微动力系统的发展动态

综述了微动力机电系统的发展概况和研究进展,简单介绍了微型热电发生器、微燃料电池和能量收集器这3种典型的微动力机电系统的一些研究成果,在此基础上研制了一种新颖的,无运动部件的微热光电系统.     

微机电系统的研究及应用

概述了微机电系统的结构和特点,介绍了饭机电系统的研究和应用领城.     

基于MEMS的体内药物释放微机构的研制与改进

本文提出了一种新型的胶囊式药物释放微机电系统，该系统在一定程度上能够实现药物在人体内定时定位释放。文中对这一微机电系统的机构设计和电路设计进行了探讨。     

机电耦合下两端固支微梁的静态分析

在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几何结构参数与其最大挠度的关系,进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系。     

模数≤0.06 mm的微行星齿轮减速器的CAD/CAM技术

微机电系统（MEMS）是近年来兴起的一门新兴技术,微行星齿轮减速器是微机电系统中的重要器件。在模数≤0.06mm的微行星齿轮减速器的研制中,引入CAD/CAM技术,并成功的设计制造出了样机。     

中国MEMS的研究与开发进程

微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科，其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化，因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义，13年来中国MEMS研发的总体概况，以及关注的热点。     

形状记忆合金在机械工程中的研究与应用

重点介绍了形状记忆合金在机械结构主、被动控制和被用作微机电系统中微器件的研究进展情况及形状记忆合金在军用机械、医疗器械和微机电系统等方面的应用情况,并对今后形状记忆合金在机械工程中的研究和发展方向做了展望。     

微/纳机电系统

微机电系统（MEMS）和纳机电系统（NEMS）是微米／纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段，分析了微／纳机电系统的发展特点，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后，讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题以及它们的发展前景。