微机械在微电子技术中的应用

从微电子技术诞生的机械技术，在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用，从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。     

微电子技术在微机械制造中的应用

微电子技术的飞速发展，为微机械系统的制造提供了坚实的基础。本文对微电子材料的机械性能，微电子工艺在微机械制造中的应用进行了阐述。     

自润滑微机械系统研究

介绍了一种制作 含有有固体润剂的自油微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接面面的微摩力和微电子机械的摩损，从而延长微电子机械的寿命。     

MEMS麦克风带来超清晰录音功能

微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。     

硅微机械加工技术

微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。     

微机械陀螺仪的新进展及发展趋势

微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同,微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺等。该文介绍了微机械陀螺仪的主要参数指标和应用,对硅基微机械振动陀螺(Si-MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs)和悬浮转子式微机械陀螺的最新研究进展作了综合性报道,讨论了微机械陀螺未来的发展趋势。     

硅传感器反应离子刻蚀的观察

六十年代发展起来的微电子技术,已大大影响了人类社会的面貌,而由微电子技术与机械学相互交叉而诞生的微机械技术,正成为一项新的产业。微电子技术以硅的平面加工技术为主,其制造工艺一般在表面几十微米以内。而微机械的厚度(或深度)往往达到几百微米,因此,必须研究硅的深加工技术以适应微机械的需求。本文以制作一种以玻璃为衬底的单晶硅叉指电容式加速度传感器为目的,开展了离子刻蚀技术的研究[1]。硅的反应离子刻蚀是一个复杂的辉光放电等离子体物理一化学作用过程。该技术早期存在刻蚀速率低,不能获得高的深宽比,掩膜选择比不高等技术障…     

化学技术在微机械传感器发展中的应用

微机械传感器除运用在微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀,特种高分子落膜材料,电镀和电化学工艺等化学领域的技术,形成了很多独特的微机械加工技术,这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传器技术的发展,本文从体微机械加工,表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。     

微电子学、集成电路

TN4 9804034,徽电子机械技术的现状与发展/赵志诚(沈阳仪器仪表工艺所)矛仪表技术与了翻感器.一1997,(句一1一2,5微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。文中介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器     

微机械惯性器件

微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测。     

MEMS技术的应用领域

微机电系统将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起，实现了微电子与机械融为一体的系统。目前，MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域，而它与不同的技术结合，往往便会产生一种新制的MEMS器件。根据目前的研究情况，除了进行信号处理的集成电路部件以外，微机电系统内部包含的单元主要有以下几大类：     

MEMS技术现状及应用

微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究也被越来越多的人所重视。文章介绍了MEMS的特点与技术发展现状、MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。     

从微电子到"活动的硅"--系统集成的未来潜力

本文主要介绍微电子发展趋势、微电子与微机械结合、系统集成的未来潜力。     

微电子技术新领域

微电子技术新领域陈克金,邵凯（南京电子器件研究所,南京,２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体,将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,将这...     

微电子机械系统在通信领域的应用

本文评述了微电子机械系统技术在通信领域中的潜在影响，预计这项技术将引发微通信卫星，光通信系统制造方法和使用方式的变革，同时还大大降低其成本，随着微机械技术的日渐成熟，它将给通信领域带来新的发展。     

微系统─电子技术的又一里程碑

微系统─电子技术的又一里程碑河海大学机械学院谢国章１概述微系统是指将微机械构件与微电子器件制在同一衬底或芯片上所构成的系统，其大小不超过一平方厘米。这种微系统既具有微电子的指挥、决策功能，又具有微机械的传感、执行功能，是典型的全智能系统，像人类那样拥...     

微机械陀螺的闭环驱动电路的设计与实现

以北京微电子技术研究所自主研发的803微机械陀螺为研究对象,对陀螺的闭环驱动电路进行了分析和设计。闭环驱动电路实现方式主要有自激和锁相环驱动两种方式,对关键的C-V转换电路和AGC电路进行了设计实现。为以后微机械陀螺的驱动电路的研究设计提供依据。     

微电子封装与组装中的微连接技术的研究

从现阶段微电子技术发展情况来看,微电子封装与组装中的微连接技术得到了较为广泛地应用,这对于满足微电子技术发展需要来说,起到了至关重要的作用。本文主要分析了微电子封装与组装中的微连接技术,就相关技术手段进行了分析和阐述。     

微机电系统技术及其在卫星中的应用

微机电系统(MEMS)技术MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。它是"Micro ElectroMechanical Systems"的缩写,有的译成"微机电系统",也有译成"微电子机械系统"的。微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸     

金属镍微型静电马达的观察

金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属...