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郭金森 《中国石油和化工标准与质量》2023,(2):156-158
三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等。本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨。 相似文献
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国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况 总被引:3,自引:0,他引:3
徐汀 《精细与专用化学品》2003,11(16):10-11
本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点。三氟化氮是电子工业用特种气体,也是专用化学品,它的市场依赖于半导体工业的发展。到2000年,半导体工业已得到迅速发展,增大了需求量。近期三氟化氮的发展动向主要体现为国外多家公司改进工艺,扩大生产能力和组建合资企业。我国也与美国杜邦公司组建合资企业并扩大生产能力。 相似文献
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介绍了三氟化氮产品的性质、用途及合成方法,着重对其国内外生产情况进行了叙述,同时对三氟化氮市场进行了分析和预测。 相似文献
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通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可接受,从而可为后续三氟化氮分析检测装置的推广提供指导。 相似文献
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把三氟化钴作为强氟化剂的发现促进了高氟化合物合成领域的重大发展,因为为此目的而使用元素氟时会造成目的产物的产率大大降低和导致原始碳链的部分破坏。Py(鲁弗)和Aщер(阿舍谢尔)第一次提出把三氟化钻作为氟化剂,之后Py和Кеим(凯依姆)用三氟化Q钴对四氯化碳进行氟化。从40年代开始由于原子能工业对氟碳和含氟油类的需求,对三氟化钴氟化能力的研究蓬勃开展。由Qay。en(法乌列尔)和他的同事们所进行的第一批研究得出:在高温下三氟化钻很容易用氟原子取代有机化合物中的氢。这时同样生成二氟化钻和氟化氢。之后利用三… 相似文献
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介绍了一种用放电离子化检测器(DID)分析三氟化氮中微量气相杂质的方法。利用阀切割技术对大量的三氟化氮主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而准确地分析出三氟化氮中杂质的含量。该法简便、快捷、准确度和精密度高。 相似文献
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介绍了三氟化氮的主要性质、用途,对国内外三氟化氮的制备工艺及纯化方法进行了比较,同时对国内外三氟化氮市场进行了分析和预测。 相似文献
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三氟化硼气体是半导体离子注入的重要离子掺杂源。为了达到电子级气体纯度的要求,三氟化硼气体的纯化技术研究具有重要意义。文中对三氟化硼气体的纯化工艺技术,即冷阱法、低温精馏法、选择性吸附法、化学转化法和多种工艺耦合联用进行了对比,分析各种工艺的优缺点: 冷阱法操作简便,成本低,但纯度不够; 低温精馏法分离效果好,但能耗大,操作条件要求比较严格;选择性吸附和化学转化法操作简易,设备安全,但吸附剂性能不太稳定,吸附效率有待提高。结合高丰度三氟化硼气体的纯化除杂背景,重点介绍选择吸附与低温精馏耦合联用工艺,纯化后的三氟化硼气体纯度可以达到99.995%。提出冷阱、物理吸附、化学转化以及精馏结合的方法,得到的高纯气体可以应用于电子工业领域。 相似文献
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The flammability limits of the mixtures NH3/NF3/air, CCl3H/NF3/air, CCl4/NF3/air, CF2ClCCl2H/NF3, and C8F16/NF3 are determined. The temperatures of self-ignition of the mixtures CCl3H/NF3, CCl4/NF3, CF2ClCCl2H/NF3, and C8F16/NF3 at atmospheric pressure are found. The character of interaction of ammonia and fluorine conditioned by the rate of ammonia
input into the fluorine-air mixture is considered.
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Translated from Fizika Goreniya i Vzryva, Vol. 43, No. 2, pp. 18–22, March–April, 2007. 相似文献
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合理高效的吸附工艺是决定吸附法净化和回收烟气中NOx工业可行性的关键工艺环节。提出一种通过外部补充气体实现固定床循环体空间内多次循环解吸NOx的新型吸附工艺(GVTSA)。基于该工艺,采用Na-ZSM-5分子筛作为吸附剂,以某钢厂烧结机脱硫后烟气为原料(组分)进行了NOx吸附回收实验研究。结果表明,GVTSA工艺相较传统吸附工艺(TSA工艺、VSA工艺)可获取更高的NOx回收量,在优选条件下(220℃,-50 kPa),NOx回收率达到90%,解吸气中NO2浓度由原料气的36 mg·m-3提升到2%以上,NOx循环吸附量可达0.10 mmol·g-1,16次吸脱附循环稳定。研究结果可为烟气NOx治理与资源化工业应用提供参考。 相似文献
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借鉴氯碱行业对三氯化氮的常用处理技术设计了氯水洗涤新工艺。通过改造,解决了扩产后由于原盐品种的增多、三氯化氮增多对液氯系统构成的安全威胁及对环境的污染。 相似文献
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采用如下方法对尿素法制肼工序的氧化液进行处理:以丙酮作试剂,先与氧化液中肼反应得丙酮连氮,再精馏提纯;分离出来的丙酮连氮经水解,重新获得纯度和浓度较高的水合肼;水解产生的丙酮返回系统循环使用;残留盐溶液回收处理后得到的氯化钠返回烧碱生产系统. 相似文献