高纯气体输送装置的洁净

随着电子工业的发展和大规模集成电路的研制与生产，高纯气体已成为电子工业不可缺少的材料。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度和洁净度要求不同，但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的，总是使半导体产品质量劣化，成品率下降。例如，高纯氮、氢和氩气中有氧和水份时，会使半导体产品表面生成氧化膜；有碳化物时，会使半导体产品发生漏电；若有金属微粒子时，会使半导体产品出现漏电、耐压不良、晶格缺陷和断线等现象；如有其它尘埃粒子，同样会使半导体产品出现晶格缺陷和断线现象。     

高纯气体输配管路系统用电化学抛光不锈钢管

电化学抛光不锈钢管已成为输送高纯气体的重要管线。对这种管和其它方法处理的管进行了比较,阐述了电化学抛光的机理和电化学抛光管不吸脱附,不产生粒子污染的性能,展望了其应用前景和发展方向,指出国内外产品的差异。     

高纯气体的分析：高纯气体中痕量氢气的测定

１　前　言在高纯气体制备过程中，氢气以产品、副产品、原料气、还原气等角色出现在诸多工艺环节，对最终产品中残余量的控制，也成为高纯气体产品面临的普遍问题。由于Ｈ２组分仅是高纯气体众多控制杂质之一，国内外标准均采用气相色谱法对产品中痕量氢气进行测定，使用的色谱鉴定器有：热传导检测器、氦离子化鉴定器、氩离子化鉴定器、质谱鉴定器、气体密度鉴定器、氧化锆浓差电池鉴定器、氢敏元件鉴定器等。除氧化锆及氢敏鉴定器外，其它均为通用型色谱鉴定器，可以完成１０－５～１０－８数量级的痕量氢气的测定。以氢敏元件为检测器的…     

高纯气体洁净度的控制标准

微电子技术已成为当前世界上各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础,只有微电子技术的超前发展,才能更好地推动各生产部门的前进和提高其生产水平,也才有可能使我们的工业生产、科学技术跨入世界先进行列。众所周知,广播、通迅卫星、资源卫星、气象卫星,以及电子对抗系统、宇航系统和空间实验站等,都离不开高度可靠、     

高纯气体的分析—高纯气体中痕量氧的分析

１前言人类处在大气环境中，氧气维持着我们的生命。由于氧气无处不在，无孔不入，对于某些特殊领域，控制和防范它，成为一项高难度的课题。高纯气体的生产、使用过程，就面临这一问题。高纯气体中氧气的存在会带来什么样危害呢？在半导体生产工艺中，用到大量高纯气体，...     

高纯气体的分析——术语及其含义

１气体产品的分类目前，国内市场的气体产品按其用途可进行如下分类：Ａ．一般工业用气。包括工业氢气、工业氮气等。Ｂ．医疗用气。包括医用氧气、麻醉气等。Ｃ．食品工业用气。如液体二氧化碳。Ｄ．民用燃气。如天然气，液化石油气等。Ｅ．电子工业用气。如硅烷、磷烷等...     

高纯气体处理设备的电解抛光

前言需用超高纯气体的半导体工业是现在发展最快的工业之一。为了满足需要,特气生产者不断开发了先进的分离、提纯和配气技术,可得到各种有保证的纯度等级的特气,其中包括7级(99.99999％)的特气。这是工业中应用的最纯气体。为了防止这些超纯气体被二次污染,气体钢瓶及有关气体处理设备应尽可能达到清洁和化学稳定。本文说明电解抛光是达到这一目的的最好方法。     

高纯气体的贮存与输送

一、前言高纯气体已成为电子工业不可缺少的化工原料之一。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度要求不同,但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的,总是使半导体产品质量劣化,成品率下降。高纯氢、氮、氧、氩及其它许多气体可用于半导体外延、光刻、清洗、蒸发及高温氧化生长等工艺中。表1列出了日本半导体工业用气体的纯度。     

国内高纯气体应用现状

阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为＂零点气＂的应用。     

高纯氖气体标准物质的研制

随着我国工业的发展,对氖气产品质量提出了更高要求,为了保证化工生产和仪器仪表服务所需要的标准物质,我们研制了高纯氖气体标准物质.综述了该标准物质研制的各相关环节.     

高纯气体包装气瓶及定期检验技术

介绍高纯气体气瓶结构类型,制造工艺以及使用特点。简述了国内目前不同结构类型气瓶检验方法,以及目前检验方法对于高纯气瓶检验存在的问题。结合国外高纯气瓶检验方法以及高纯气瓶失效模式,制定适应于不同结构高纯气体气瓶的检验方法,该检验方法对于高纯气体气瓶检验具有科学性和经济性。该类型检验方法的实施,有效保障高纯气体气瓶安全运行。     

在高纯气体杂质测定中气相色谱仪的应用及选择

主要介绍了国我高纯气体分析用的气相色谱仪的应用及选择，并详细介绍了仪器的工作原理及特点。     

高纯气体管道输送与渗透探讨

目前,国内许多生产厂家、科研部门和用户,对高纯气体的输送和检测仪器的连接都缺乏足够重视。因此,长期以来,管道渗漏问题始终没有得到解决。我国从60年代末至今,高纯气体的输送基本上仍以厂房内外为界,在厂房外,采用金属管道送气;在厂房内,多采用聚氯乙烯管、聚乙烯管、聚四氟乙烯管等管道输送。这样,不但材质不     

高纯气体管道设计

高纯气体管道设计是高纯气体供气系统的重要组成部分,是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术,包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。     

高纯气体的分析——高纯气体中CO,CH4,CO2测定

０概述一氧化碳、甲烷、二氧化碳是高纯气体产品中普遍控制的杂质，通常采用气相色谱法进行测定。使用热传导鉴定器、氦离子化鉴定器、质谱鉴定器、氧化锆鉴定器等均可给出良好的测定结果，但是，目前最常用、最经济的，应属火焰离子化鉴定器。ＧＣ—ＦＩＤ方法分析ＣＯ、...     

高纯氧气气体标准物质的研制与生产

论述了低压水电解装置制氧 ,经催化脱氢、干燥除水和催化除烃等工艺流程 ,可得纯度达 99.995 %以上的氧气 ,可作为高纯氧气国家二级气体标准物质     

高纯气体自动充装的研究与应用

传统的高纯气体充装大多由"一"字型充装排与抽真空系统组成.这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题.重点针对上述问题在充装前氮气置换、抽真空,以及产品充装等一系列工作实施自动控制、精准充装方面进行了探讨,结合实际工作开发出了一套高纯气体自动化充装系统.     

高纯气体的分析：———高纯气体中总烃的测定

１　前　言烃类在工业及日常生活中是到处可见的,它给人们的生活带来了一定的益处,同时也存在污染环境、易燃易爆等问题。如果在高纯气体中混有一定量的烃类物质,不仅会影响高纯气体的正常使用,严重时还会对生命安全构成威胁,因此有必要对高纯气体中的总烃进行测定,以控制产品的质量,减轻危害。２　“总烃”的含义在有机化学中,烃的定义是指仅由碳氢两种元素组成的化合物,烷、烯、炔、苯系化合物属于烃。而醇、醛、酸、酯、酮等由于含有杂原子,则不属于烃。事实上,目前的总烃测定仪对上述化合物均有较强的响应。那么,是否可以用…     

高纯气体输送用管线与阀门

介绍了高纯气体输送用管线与阀门的选用、选材、材料的表面处理方法及管道安装中应注意的问题。     

高纯气体中微量水测定方法的对比与探讨

对高纯气体中微量水的各种测定方法的原理和相关仪器的技术性能进行了介绍，并对测定结果进行了比较和分析。