高温高分子电容式湿敏元件的研究

分析研究了高分子电容式湿敏元件在高温高湿环境中输出电容值上漂的机理,阐明了选择湿敏材料、化学处理和改进元件结构的原则,并介绍了元件的性能。     

一种新型的电容式湿敏元件性能检测系统

新型电容式湿敏元件性能检测采用下位机采样，上位机处理数据的方式。该套装置克服了以往托测试的诸多不便，节约时间，可实现批量测量，适用于电容式湿敏元件折参数测试及可靠性试验过程中的监测，是研究电容式湿敏元件的有力工具。     

湿敏元件测试系统研制

该测试系统由湿度源、测控电路、通信接口、虚拟监控面板、数据分析软件五个部分组成。湿度源采用平衡水汽压法设计；在测控电路设计上实现了对传感器输入信号的检测、调理和控制功能；采用虚拟监控面板取代传统仪器中仪器面板或液晶屏幕，提供测试系统与用户的人机界面、进行数据处理和对下位机进行实时监控：统计分析软件包括对C值、Q值、线性、湿滞、精度、失效模块等数据的显示、分档、存储、打印、以及数据库管理的操作，     

电容式高分子湿敏元件敏感材料的选择

阐述了衡量电容式湿敏元件性能的主要依据,分析了电容式湿敏元件的感湿机理,并从灵敏度、湿滞、响应时间、温度系数、长期稳定性等方面,提出了电容式高分子湿敏元件敏感材料的选择方法。     

降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究

针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据分析。实验结果表明：通过控制制作工艺和对湿敏材料进行改性可以降低湿滞,湿滞优于1.5%RH。采用该方法制作的湿敏元件无需再次通过后续电路进行湿滞补偿。     

电容式高分子湿敏元件的研制

用等离子体聚合技术，制得一种结构新型和性能优良的电容式高分子湿敏元件。     

电容式湿度传感器设计

电容式湿度传感器是以高分子湿度湿敏电容器为基本感湿元件,利用单片机对测量结果进行分析处理、显示和远距离传输,测量准确度达±2.5%。     

电容式湿度传感器的"输出限幅"现象分析

对电容式湿度传感器的“输出限幅”现象进行了较为细致的分析,阐明了产生“输出限幅”现象的原因,定义了“物理短路”和“品质下降”两个阶段,并给出了相应的预防措施。     

聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究

改变传统丝网印刷制作电极的方法,采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见。     

电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析

电容式湿度传感器不断发展的同时上电极的制造工艺也在不断进行着技术更新,为了使湿度传感器的透水性更加优越,上电极在不断地被做薄,同时在多孔研究方面也在不断地进行着优化,但凡关于多孔上电极受力可靠性的问题,总是涉及到制作栅条过程中因为过度腐蚀而断裂的现象。利用ANSYS针对传统的条栅形多孔上电极以及自行设计的环形多孔上电极进行模拟受力分析,通过对多孔上电极内壁面进行压力加载,来模拟光刻过程中过度腐蚀的状况,观察比较两种上电极的模拟受力情况。从得到的受力形变图,等效塑性应变图以及等效应力图分析得出,环形多孔上电极具备比条栅形多孔上电极更可靠的受力响应。     

虚拟电容式传感器检测系统的设计与应用

结合虚拟仪器和电容式传感器测量技术,设计了一种虚拟电容式传感器检测系统。介绍了该系统的各个组成部分,包括电容式传感器的结构设计、检测电路的参数设置、在LabVIEW开发环境下虚拟仪器平台的构建等。最后,将系统应用于金属位移及膏布药层厚度的检测,给出了实验方案,取到了令人满意的效果。     

高分子电容式湿度变送器温度补偿方法

提出一种新的高分子电容式湿度变送器温度补偿方法。实验结果表明 ,利用温度特性各异的高分子电容式湿敏元件互补进行温度补偿 ,可有效地减少温度系数和非线性误差、提高高分子电容式湿度变送器的准确度     

CMO S电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真

对与CMOS工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真,为后期的湿度传感器流片成功提供了有效的保证。该湿度传感器系采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质。比较不同的测量方法,得出最优的测量电路。对测量电路进行理论推导后,对其进行模拟,得出了输出电压与相对湿度的关系图。最后,对该湿度传感器进行版图设计,并分析其后加工工艺。     

基于电容式传感器的建筑物围护结构含水率测试

设计的平面电容式传感器可感应围护结构中水分的变化,给出了传感器的工作原理,针对小电容检测的抗干扰问题,采用了加保护电极和利用驱动电缆传输信号的技术,结合改进的充放电微电容检测电路,对传感器的测试深度和灵敏度与极板尺寸的关系进行了研究和优化。设计了基于嵌入式微控制器的含水率测试系统,实验结果表明:该系统可以用于一定深度的围护结构的含水率现场测试。     

基于电容式差动敏感元件的液位测量系统

提出一种新型的数字式液位测量系统,系统采用电容式差压敏感元件将液位的变化转换为电容量的变化,设计了C/U转换电路,电路的输出只与差动电容的变化有关。实验表明:测量系统的分辨力为1mm,液位测量误差≤5mm。