一种基于相位光栅干涉微位移传感器的研制

高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一.文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器.该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量.文中分析了其测量原理、光学原理、干涉条纹的光电接收以及辨向、细分.理论分析和实验应用结果表明该传感器垂直分辨率可达到nm级,测量量程为2 mm,可以用于微纳米表面形貌和轮廓的测量.     

超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统

面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统.给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等.所设计平面光栅编码器位移测量系统的相位卡的细分率为4096,测量分辨率为x50 pm/z25 pm.实验结果表明:该平...     

磁致伸缩位移传感器位移测量研究与实现

基于磁致伸缩位移传感器的位移测量原理,讨论了位移测量的方法与实现通过测量发射脉冲与回波脉冲的时间差计算活动磁铁的位置.基于FPGA器件设计了数字移相脉冲计数方式对时间进行精确测量,该方法对于提高测量位移精度,降低测量系统对高频的要求,对提高系统稳定性和抗干扰能力有重要意义.     

基于MEMS加速度传感器的位移测量系统

针对运动载体位移智能化精确测量问题,基于MEMS加速度传感器设计了一种体积小、可靠性强、适用于较长距离的位移测量系统。首先分析了利用加速度进行位移测量的原理和误差,设计了加速度数值积分的多项式拟合算法,然后设计了测量系统硬件电路,最后对系统进行了直线滑轨平台测试,实验表明该测量系统位移测量最小误差可达0.3%,满足实际工程需求。     

提高光纤传感测量精度的方法研究

采用激光干涉原理实现了微位移光纤传感测量.通过对光学系统和光电检测系统的研究,总结出提高光纤传感测量精度的方法,文中对微弱光信号的相位调制,数字解理过程,给出了低噪声设计的理论依据,电路参数的选取原则和预放级设计的一般方法.系统微位移测试精度约0.05nm.     

霍尔元件在经纬仪调焦系统的应用

在大型光电经纬仪电视测量系统中,调焦精度直接影响成像质量及作用距离.但常常由于结构上联结环节多,累积误差大而达不到高精度要求.本文介绍了采用霍尔元件测量直线位移的原理、结构及特点,通过试验探讨了霍尔线位移传感器请参数间的相互关系,为高精度电视调焦系统及其他应用的设计提供参考依据.     

位移软测量虚拟仪器测试系统

将软测量技术方法运用到火炮后坐位移量测试系统的设计中,克服了以往测试系统的缺点.对系统的物理模拟试验表明,该技术方法原理可行,性能稳定.解决了往复、高速、大位移的测试难题.     

基于FPGA的光栅位移检测系统设计

本文介绍了用可编程器件FPGA对光栅传感器采集来的数字信号进行处理和控制的方法.利用光栅传感器把位移转换成电压脉冲的特点,同时利用在线可编程阵列FPGA高集成度、高性能、高效率和低成本的优点设计了一种用于机床位移测量与控制的数字系统,并阐述了该系统位移检测原理、总体方案实现和通信接口设计.可应用于光栅位移的数据采集、处理、控制及与上位机的通信系统中.     

基于CCD的位移传感器的设计

本文提出了一种基于CCD的双路位移测量系统，介绍了其测量原理，绐出了数据处理方法和实验结果，此系统检测范围为0—35mm.分辨率为0．014mm。结果表明：此系统实现位移的测量是可行的．并具有很高的实用价值。     

基于霍尔元件的直线大位移测量方法

随着生产的不断发展,对直线大位移的测量提出了更高的要求.为此提出了一种以摆动式机械接触滚轮为基本原理,基于霍尔元件进行信号检测的直线大位移测量方法.该方法是一种直接以运动部件自身为静止参照物的自为基准测量方式,将两物体的相对直线运动转变为滚动轮的转动,霍尔元件检测滚动轮的转动角度和方向来计算位移.该方法具有结构简单、测量装置体积小、量程大及适应环境广等优点,有一定的应用价值.