液压爆模式压力动态校准方法研究

本文提出了一种基于液压爆膜原理的压力动态校准方法,理论分析与实验结果表明该方法可以满足液压系统０～４０ＭＰａ压力范围、０～２ｋＨｚ工作频带的压力动态校准要求。     

谐振式压力传感器的新进展

本文介绍了近几年谐振式压力传感器的新成果和发展趋势。     

多路车用压力传感器校准虚拟仪表

运用虚拟仪器软件LabVIEW开发了多路压力传感器校准系统,介绍了压力传感器校准系统的构架,分析了利用LabVIEW控制系统硬件的方法,同时提出了对绝对压力传感器MLX90808和相对压力传感器MLX90807未编程状态的的校准方法和已编程状态的标定方法。设计的系统实现了自动化控制,压力传感器校准精度高,控制界面友好,操作方便。     

气、湿敏传感器动态校准和动态性能改进研究

本文首先提出了气体浓度和湿度的阶跃发生器，在此基础上介绍了气、湿敏传感器的动态校准方法。本文由实验阶跃响应数据建立了两个被校二氧化碳传感器的线性动态数学模型，并求出了频域的动态性能指标。最后，用模拟网络对上述两个二氧化碳传感器的动态性能进行了改进。改进结果表明，时域和频域的改进效果均较好。     

硅谐振梁式压力传感器模拟计算

本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２×２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力,膜片的上表面架设有６００×５０×５μｍ３两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振敏感结构的特征,建立其数学模型,通过模拟计算,得到若干规律性的结果,给出一组合理的设计参数。     

用于压力传感器的石英谐振膜片

叙述了用于压力传感器的石英谐振膜片的原理。介绍了石英谐振膜片的设计和工艺。对这种新型压力敏感元件的性能及有关问题作了讨论。     

液压爆膜式压力动态校准方法研究

本文提出一种基于液压爆膜原理的压力动态校准方法 ,理论分析与实验结果表明该方法可以满足液压系统 0～ 40 MPa压力范围、0～ 2 k Hz工作频带的压力动态校准要求。     

基于ANSYS压力传感器加速度效应的校准

针对目前大部分的压力传感器的校准方法不能同时兼顾高幅值压力和高加速度的缺陷,提出了一种针对压力传感器加速度效应的校准方法.该校准方法通过对压力传感器施加系列不同的压力并采用霍普金森杆产生对应的不同系列激励加速度脉冲,从而测得该压力传感器不同系列激励的加速度效应.通过ANSYS有限元仿真对该校准方法进行了分析和验证,得到了加速度对压力传感器输出的影响大概为千分之几的数量级,并绘出了加速度效应的灵敏度曲线,这为高加速度下的压力测试的校准技术奠定了理论基础.     

在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器

引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外,谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。     

微机械氮化硅梁谐振式压力传感器

报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率85kHz,空气中品质因素Q值接近1000,在真空中达到40000。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0－400kPa,灵敏度23．8Hz/kPa。     

介质隔离高精度 MEMS 谐振式压力传感器

为满足液体、气体多种介质中高精度压力测量要求,本文设计了一种介质隔离的高精度微机械电子系统(MEMS)谐振式压力传感器。为降低充油封装过程中压力传递损耗以及非线性问题,本文对波纹膜片的结构参数进行了仿真优化并确定了适合传感器芯体的膜片参数。采用MEMS加工工艺和真空微量充灌方法,完成了MEMS谐振式压力传感器芯体制作与充油封装。利用双谐振器压力、温度多参数协同敏感方法,在不外加温度传感器的条件下实现了温度自补偿。测试表明,封装后的传感器在-55℃～85℃工作温度范围内,准确度优于±0.01%FS、迟滞性误差优于0.006%FS、非线性误差优于0.003%FS、重复性误差优于0.008%FS。     

冲击波测量用压力传感器准静态校准方法

阐明了冲击波测量的意义,介绍了目前用于冲击波测量的方法,分析了这类方法存在的问题,为提高冲击波的测量精度,针对存在的问题,提出了一种适用且新颖的准静态冲击波测量用压力传感系统的校准方法-利用落锤液压动标装置对冲击波测量用压力传感系统实施准静态的绝对校准.     

热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算

针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算.分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时;梁谐振子长度、宽度、厚度变化时;以及激、拾振电阻共同作用时,梁谐振子温度场的分布规律.     

动态补偿法在压电传感器静态校准中的应用

提出了采用动态补偿法解决小放电时间常数压电传感器静态校准问题的新方法,并将其用于某压力传感器的静态校准.理论分析和试验结果表明采用该方法可以很好解决压电传感器的低频响应问题.该方法对压电传感器的现场静态校准具有普遍意义.     

热激励硅谐振式压力传感器的研制

介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术，设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器，给出了制作的工艺过程和参数，测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率一压力特性及幅频特性，其灵敏度达到54．89Hz／kPa，Q值大于20000，0～300kPa范围内线性相关系数为0．9997。     

正弦压力标准

本文介绍一种出口调制式正弦压力标准,它可在1～5000Hz范围内对压力传感器幅频特性和相频特性进行比较法校准。本文介绍了正弦压力标准的总体设计、机械结构、控制与数据采集系统、数据分析与量值溯源方法等。     

准动态压力校准机气动托锤系统研究

在介绍准动态压力校准机的前提下,详细地介绍了准动态压力校准机气动托锤系统的设计过程,并对该系统的实验结果进行了讨论,提出了改进措施,结果表明,达到了设计要求。     

硅微机械谐振压力传感器技术发展

硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结构形式,详细论述硅微机械谐振压力传感器的研究历史、主要研究机构、国内外发展现状以及最新的研究成果,重点根据不同激励与检测方式对各种硅微机械谐振压力传感器的芯体结构进行深入分析比较。在此基础上,总结归纳不同芯体结构及其激励与检测方式的特点,并对硅微机械谐振压力传感器的未来发展趋势进行展望。     

振动筒压力传感器在飞机上的应用

介绍振动筒压力传感器的特点,设计了温度测量电路和压力偏差调整电路,详细地论述了利用单片机对影响振动筒压力传感器输出的误差进行补偿的方法,使振动筒压力传感器的输出特性得到进一步的改善,提高了其测量精度。     

基于虚拟仪器的压阻式压力传感器校准系统的设计开发

本文介绍了一种能精确可靠的校准压阻式压力传感器的校准装置,该装置软件部分基于LabVIEW设计,硬件为杠杆式压力传感器校准机构.经过反复实验,证明该校准装置精度高,性能稳定,符合中华人们共和国机械行业标准GB5604-85.