用于绝对距离干涉计量的3.39μm双波长红外拍波干涉仪的研究

本文在简要介绍绝对距离干涉计量逐级精化原理的基础上,详细阐述了3.39μm 波段双线He-Ne 激光两级合成波长组成方案,分析了3.39μm 双波长红外拍波干涉仪的工作原理,给出了系统布局和有关的实验结果。精度分析表明,3.39μm 双波长拍波干涉仪的拍波干涉条纹尾数测量精度优于1.6×10~(-3)。     

具有隔离器功能的激光干涉仪的研究

提出了一种具有隔离器功能的激光干涉仪.既可以进行干涉测量,又具有隔离器功能,可以防止反射光回到光源,使光源保持稳定,确保了测量精度.该干涉仪由常规干涉仪和双级隔离器的结构有机的结合起来,其中某些元件合二为一,使一个元件起到双重功能的作用,同时使干涉光路和隔离光路也相互重合起来.理论分析和实验研究表明:该方案是可行的.隔离度与双级隔离器的隔离度相同,达到了48dB.该装置的干涉测量精度与一般干涉仪一样取决于激光波长,但该装置结构紧凑,简化了测量系统,实际使用更为方便.     

双频激光干涉仪的原理与应用（三）

双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜...     

基于光纤F-P透射光波长的微位移测量系统

为了克服光强型F-P传感器测量结果受光源波动影响等缺点，设计了一种利用F-P干涉透射光谱中心波长与其干涉腔长之间的关系测量微位移的传感系统，由此可直接测量绝对位移。     

激光干涉轮廓测量技术的发展

本文介绍了激光干涉轮廓测量技术中最新研制出的五种同轴激光干涉轮廓仪：Huang的光学外差轮廓仪、Downg的双焦轮廓仪、Panter的外差干涉轮廓仪、Offside的干涉轮廓仪、周氏激光轮廓仪的原理及特性。     

一种波长调制干涉仪光强实时反馈控制系统

提出了一种实时反馈控制系统,保证波长调制干涉仪的激光光强在波长调谐过程中的稳定性,以减小波长调制干涉仪因激光光强的波动产生的相位误差。该控制系统由光电探测器、数据采集卡、光电调幅器和控制软件等组成。实验结果表明,该系统的响应速度超过了干涉仪获取干涉图的速度,不仅能够稳定输出理想的光强值,而且还提高了干涉仪的测量精度。     

一种新型绝对距离干涉测量仪的研究

一种新型绝对距离干涉测量仪的研究武勇军，李达成，曹芒（清华大学精密仪器系）０引言高精度、大尺寸、无导轨绝对距离测量是现代大型精密机械加工工业中一个迫切需要解决的问题，至今尚无商品化实用测量仪器。例如大型汽轮机转子直径测量，大型工件的内、外径测量，大型...     

基于单片机的余弦误差修正系统

阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点。然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大。其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差。分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差。     

干涉测距仪测量不确定度评估

本文对与干涉测距仪（IDM）测量不确定度有关的参数进行了讨论。采用一个简单、鲁棒装置测量了约12cm距离,扩展不确定性为±16．4,um,发现测量不确定度受波长测量精度制约。该设置可测量距离达56m,它也能够轻松确定测量臂和参考臂之间等光程差的点。LabVIEW程序用于条纹的计数,快速傅立叶变换（FFT）对噪声按频率进行选择性过滤。虽然本文对不确定性的测定不能代表同类测量距离的最高不确定度,但该测量方法提供了可溯源于长度单位为米的测量值。     

激光干涉仪波长的自动实时补偿

介绍了激光干涉仪在现场测量中激光波长的补偿,通过分析激光干涉仪测量数据处理公式,提出了波长补偿值用终端修正的方式进行自动实时补偿的理论。     

激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制

正本文采用合成波长干涉条纹细分原理,提出激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制,以检测参考镜毫米或微米级的位移来表征测量镜纳米级的微小位移,并利用单波长干涉信号作为标记参考信号,在同一干涉仪中实现了毫米量程测量范围和纳米级精度位移的同时测量,且具有米溯源性。详细研究了激光合成波长干涉实现大范围纳米位移测量的方法及其仪器化的相关技术,主要研究工作和创新点如下。     

双频激光干涉仪的原理与应用（四）

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...     

芬诺公司LP 30激光干涉仪——高性能机床精度校准

LP 30 Compact是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪，其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理．性能稳定，使用可靠，功能扩展性强，价格适中。     

大口径超光滑表面粗糙度非接触检测系统

介绍了一种应用激光双焦干涉原理测量大口径超光滑表面粗糙度的检测系统。该系统采用共路干涉和电子共模抑制技术,减小了测试环境的影响,消除了激光光强波动引起的系统误差。同时,采用紧凑的光学干涉头移动的扫描方式,因此能够测量大口径光学元件。系统的横向分辨力为0.5μm,纵向分辨力为0.1nm,系统的重复性优于2%。     

双频激光干涉仪的原理与应用（二）

双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合，可测量距离、直线度、...     

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］,光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］,可得如下关系式：１．...     

基于VC++6.0的单频激光干涉位移测量系统

介绍单频激光干涉位移测量系统的数据采集设计方案。使用数据采集卡和PC机,在VC++环境下,对激光干涉位移测量结果进行环境参数补偿和修正,以及抗干扰处理。通过比对验证采集系统设计合理性和稳定性,从而有效保证整个仪器的总体精度。     

剪切干涉仪的定量处理数学原理及采样处理技巧

剪切干涉仪具有其独特的抗震动干扰，无需标准比较球面等特点，它也不会出现其他类型的干涉仪经常出现的二束光（参考光与被检光）强度对比相差太大（往往是２０多倍甚至更大），因而造成条纹对比度太差，甚至到无法拍摄测量的地步，因此适合于任何场合的检验，但它也存在一个“不直观”的毛病，即对同样的毛病，所呈现的干涉条纹与常规的干涉条纹不一样（以往的经验不能完全用上），且毛病的位置与量级也不能一目了然，即使是同一毛     

光纤F-P微位移测量实验研究

利用光纤自聚焦透镜作为F-P干涉仪的反射面,根据F-P干涉光谱相邻波峰之间的波长差与其干涉腔长之间的关系,实现微位移的测量。克服了光强型F-P传感器测量结果受光源波动影响、难以识别位移方向等缺点,可直接测量绝对位移,并可识别位移方向。经实验得到其位移测量误差小于2.5nm。     

绿色植物的激光荧光谱及遥感应用

利用Nd：YAG／DYE脉冲激光、双光栅单色仪，BOXCAR等仪器组成的激光诱导荧光测试系统，测量得到了激发波长分别为355、440和532nm时，茶叶、竹叶和水稻叶子的激光荧光谱，得到以下绿色植物激光荧光谱的几个特征，（1）中心波长约在423nm处的紫荧光带，（2）宽度较大的蓝荧光带，（3）中心波长分别为685nm和735nm处，由叶绿素激发产生的红荧光。经比较测量，得到了不同激发光波长下的各种不同植物的红带荧光比（F685／F735）。最后讨论了绿色植物激光荧光遥感的应用问题。