压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型ＤＬ－４型真空计。该计测量范围为１０＾２－１０＾５Ｐａ，性能好，价格便宜，介绍了该真空计的原理，结构与特性。     

由电子真空计引发的一起事故分析

真空镀膜机、热处理真空炉等设备,在检修后或使用中用电子复合真空计测量时,若出现同一真空室、相同位置,显示不同的真空度的故障,其原因常令操作者或修理者一时捉摸不透。如果此时盲目觉得差不多,以为检修完毕可继续进行生产,极有可能将会造成被加工产品报废,甚至部分真空设备和测量原件损坏,酿成事故。此种故障现象一般表现为:启动设备、机械真空泵抽气到设备要求一定的真空度(一般6Ｐａ左右),这个过程所需时间和以往没太大区别。再经过扩散泵抽高真空以后,观察到热偶真空计仪表指针基本达到1×10-1Ｐａ,指针仪表上有时稍差一两小格刻度(…     

DL—4型真空计

ＤＬ－４型真空计是用压敏电阻作为传感器的低真空计，测量范围为１０２～１０５Ｐａ，该计性能好，价格便宜。本文介绍该真空计的原理结构与特性。     

改进型分离规

本文描述了一种用于超高真空测量的改进型分离规的设计和特性。栅网的开端结构可防止直接打到离子收集极的ｘ射线，除了那些各电极上反射的少数间接的ｘ射线以外。在相当于残余气体１毫安电子流时，灵敏度系数约为８．３×１０－２Ｐａ－１（１１托－１）。可实现的压强测量范围在 １×１０－６到９×１０－１０Ｐａ（１× １０－８到 ７× １０－ １２托）。业已证实，这种规管的ｘ射线极限低于裸体 Ｂ－Ａ规。文章还叙述了通过把帽电极装在栅网顶部的简化方法，可用于高真空压强测量的改进型规管设计。     

DL—1型高压强真空计

ＤＬ－１型电离真空计是一种高压强真空计，最近由北京大学无线电系研制成功。它的测量范围是５×１０－４～１００Ｐａ．它由ＤＬ－１规管及控制单元组成，用单片机进行控制。还有多种功能可供选择，这些包括：到计算机的接口电路，定时打印，通过压电阀控制真空系统压强，输出ＢＣＤ码和模拟量等。     

动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准,装置由校准系统,微流量计系统,抽气系统和计算机控制系统组成,校准系统采用四球结构,校准球室直径为５００ｎｍ,极限真空度为６．５×１０＾－９Ｐａ,校准范围为１０＾－２～１０＾－７Ｐａ不确定度为３％（１０＾－２～１０＾－６Ｐａ）和１０％（１０＾－７Ｐａ）。     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

对JJG52—1999规程的几点建议

ＪＪＧ５２—１９９９《弹簧管式一般压力表、压力真空表和真空表》计量检定规程的实施。给检定工作带来了便利 ,效率更高。然而本人对规程的内容还有一些不同的看法 ,提出供同行参考。１ ９９规程中第４ １ ４条对压力表、压力真空表和真空表规定了测量上限量值数字应符合系列 :１×１０ｎ ,１×１ ６ｎ,２ ５×１０ｎ,４×１０ｎ,６×１０ｎ 的要求。而实际上 ,根据ＧＢ１２２６—１９８６《一般压力表》国家标准所生产的压力真空表 ,它的测量上限不符合上述系列要求。例如 :符合ＧＢ１２２６—１９８６标准的（ -０ １～１ ５）ＭＰａ压…     

获得2.9×10~(-10)Pa的三极溅射离子泵

我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控极高真空测量），并成功地应用到为航天工业部某单位研制的ＪＷＺ－１００型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到５．５×１０－８Ｐａ。     

TRIZ理论在真空热处理测量装置研究中的应用

在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残余气体测不准。文章从TRIZ理论方法的角度出发,对传统的四极质谱计结构进行不对称式优化,将T型三通变为球面结构并作加热和气压控制改进,优化和改进提高了真空热处理测量装置的工作效率。     

高真空相对校准装置

本文介绍了一种 １０－４～１０－１Ｐａ压力范围真空规校准装置。简述了装置的结构及电器控制台的功能，列举了真空系统的设计及性能讨论；参考规采用 ＦＢ－１型标准电离规，配用 ＦＢＤＺ型标准电离真空计给出标准压力，为确保给出标准压力的可靠性设置了另一支ＦＢ－１规作为监视规；给出了本装置的适用范围；提出了相对校准方法的误差源，估算的不确定度为５％，对实现可靠的相对校准法所涉及的技术问题进行了较详细的实验．并作了讨论。     

新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器

机械工业部沈阳真空技术研究所最近小量投产一批ZDR-8型数字式中真空电离计和ZDYQ-2型自动压强控制器,该产品线路结构新颖,工艺优良,技术指标先进,是真空测量仪表数字化显示的更新换新代产品。现在开始承接1986年订货和1985年四季度少量供货。主要技术性能:ZDR-8型数字式中真空电离计:·测量范围:1-1×10～(-6)托(9.9×10～1-9.9×10～(-4)帕).·测量精度:规管DL-8型小于±15%,电路:小于±5%.新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器@李广顺$机械工业部沈阳真空技术研究所…     

新Moser—Poltz压缩计中的激光干涉测量技术

本文介绍了在新结构的 Moser—Poltz 压缩真空计中,采用了激光干涉测量技术,使小室下缘汞平面的平面度可控制在1.6×10~(-4)mm 以内,测量粗管内汞柱高度变化的不确定度小于1.7×10~(-2)mm(以3δ计算)。从而有效地提高了该计的压力测量精度,成为10~(-6)～10~(-2)Pa 压力测量范围内的一项实用真空标准。     

高真空电离真空计的改进

在电真空器件及半导体器件的生产过程中,需要对真空系统进行真空度的测量。特别是在1×10～-3乇到1×10～-8乇这个范围内。普遍使用高真空电离真空计。目前使用的电离真空计都采用图1这样的基本电路。它存在着下列几个问题。 一、在仪器的调整和测量过程中。需要交替的扳动各有关开关。在操作上感到不够方便。 二、当开关S使用日久后,簧片的接触电阻增大,在调整真空规的发射电流时,使仪表的指示与实际值存在误差,同时影响直流放大器的满度校准引起真空度测量误差。 三、图1中V6V7,屏极电压是随机变化的。当T1的次级电压UW2升高时,如欲保…     

红外激光波长计的原理及其研制

本文简介红外激光波长计的原理、结构及其技术参数．最后，对该仪器的数据处理进行了讨论．目前，仪器的测量范围在０．４μｍ～４μｍ，读数值为１×１０－６μｍ，波长测量的不确定度≤２×１０－６．     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102～105Pa，性能好，价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。     

与DL-8型规管配合使用WZK-1A型复合计的改制

一、改制WZK-1A型复 合式真空计之目的 我单位的冶金生产是在真空条件下进行的,过去一直使用麦氏真空计测量。为了消除汞害,保护环境,我厂在六十年代购进很多复合式真空计,仅WZK—1A型一种就有三十余台。但此种真空计在使用中存在着许多弱点,如测低真空范围窄、电离规;管DL—2寿命短、热偶部分测量时受环境温度的影响、而且反应慢、灵敏度低、两部分衔接不好等等,适应不了要求,因此,长期闲置,造成积压。针对我单位生产实际需要而改制 WZK—1A型复合计,配用 DL—8规管,克服原复合计弱点,具有较好的测量效果,为保护环境取替了一批水银…     

常用真空计的改制方案

在我国仍采用托、毫米汞柱为单位的真空仪表就有十万余台，按照国家计量法的规定，这些仪表到 一九九○年就不能使用了，为使这些仪表不致报废，本文为常用其空计提出了一个简单易行的改制方 案，并以 ＷＺＫ、ＳＧ—３、ＦＺＨ型真空计为例， 论述了改制方策的可行性和具体措施。与电离规 ＺＪ—２、 热偶规ＺＪ—５１配套的复合真空计，电离计部分通过改变放大器的增益；热偶计部分换上块Ｐａ刻度盘 则可达到改制的目的。建议借改制之机，推广使用稳定型热偶真空规：ＺＪ－５１Ｂ，ＺＪ—５１Ｃ。     

《WZK─IP型》复合计改为高压强计试验报告

一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1～10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…     

复合式真空标准校准真空计的方法

复合式真空标准校准真空计的方法李正海（兰州物理研究所）复合式真空标准装置采用了动态与静态相结合的方法，把动态比对、静态比对、静态膨胀三种校准真空计的方法复合成一台真空标准。该装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、校准范围为１０５～１０－４Ｐａ，总...