微波等离子体下甲烷偶联制C2烃类

针对在微波等离子体下甲烷偶联制C2烃类反应随着时间的变化情况,讨论了n(CH4)／n(H2)对积碳的影响,结果表明当n(CH4)／n(H2)为1／4或比例更小时积碳较少。在n(CH4)／n(H2)为1／4时,微波等离子体下甲烷偶联反应持续30mm以上,而且甲烷转化率分布在30～64％之间,C2收率分布在27～64％之间。     

一种基于矩形波导缝隙天线的微波低压等离子体装置

低压等离子体以其放电面积大、均匀性较好、适用于大规模工业应用等优势备受关注。相比于低频等离子体,微波激发的等离子体在电子密度、电离度、活性和装置能量利用率方面性能更优越,应用场景更广阔。本文基于矩形波导缝隙天线及谐振腔结构,设计了一种工作于2.45 GHz的微波低压大面积均匀等离子体装置,为增加等离子体的激发面积且使其更均匀,在馈波波导与反应腔体间设置了多个漏波缝隙,并优化了缝隙的位置和大小,使得腔体内部电场更加均匀。仿真结果显示,优化后反应腔体内部电场分布均匀性良好。实验测试结果表明,反应腔体内部不同位置的等离子体电子密度和等离子体电子温度均呈现均匀状态,证明了该装置激发产生了均匀等离子体。     

微波等离子体刻蚀技术研究

以Corial 200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点．并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响。利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术相结合,实现了SiO2各向同性刻蚀,成功应用于质量控制和失效分析等环节。     

激光光谱法等离子体裂解甲烷深度的实验研究

利用甲烷的强吸收振动带v3,采用吸收光谱法通过测量3391nm He-Ne激光穿过等离子体反应管的透射光强来考察甲烷完全裂解时间随放电电流和气压的变化规律.实验结果表明:对实验所用的封离系统,在直流和高频(33KHz)放电条件下,所得的甲烷裂解率分别为96%和98%.甲烷完全裂解的时间随气压的增加而增加,随放电电流的增大而减小;裂解效率直流放电比高频放电的高.     

微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的研究

本文采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ）,高纯Ｎ２（９９．９９９％）和ＣＨ４（９９．９％）作反应气体,在多晶Ｐｔ（９９．９９％）基片上沉积Ｃ３Ｎ４薄膜。Ｘ－射线能谱（ＥＤＸ）分析结果表明Ｎ／Ｃ原子比为１．０～１．４,接近Ｃ３Ｎ４的化学比;Ｘ射线衍射谱说明薄膜主要由β和α－Ｃ３Ｎ４组成;ＦＴ－ＩＲ谱和Ｒａｍａｎ谱支持Ｃ－Ｎ键的存在。     

微波激励N2等离子体的激光干涉测量

近年来，超硬材料C3N4、GaN蓝光二极管激光引起人们的极大兴趣。另一方面汽车排放的NO对环境的污染也令人关注．为此，人们对N2等离子体的产生及其参数的测量进行了大量的研究。其中特别着重对微波激励N2的气体辉光放电进行研究，因为这种辉光放电效率高，安全可靠，并将有助于制备出优质的新材料、新器件，同时将有可能将NO转化为无害的化合物。本文将给出我们且近研制出的时间、空间可控的微波激励气体放电等离子体源，其结构参数是采用商用程序MAFIA算出的。放电腔尺寸为～90mm。fiX）mm，模式为TEMllD，微波输入盲目采用一10omm…     

利用微波诊断等离子体的方法

等离子体是物质的四个基本形态之一,近年来被广泛应用于能源、材料以及国防等方面.介绍了利用微波诊断等离子体的几种常用方法,即微波干涉法、微波反射法、微波辐射法、微波散射法、微波吸收法以及微波透射法.文中详细介绍了微波干涉法、微波反射法、微波辐射法以及微波散射法的原理、特点和国内外研究现状.     

微波频率与功率对微波等离子体参数的影响

本文研究了微波功率和微波频率对等离子体参数,如电子密度、电子温度、气体温度以及火焰长度的影响。对等离子体的多物理场数值仿真是在基于有限元法的COMSOL Multiphysics中进行的。计算结果显示,等离子体电子密度、电子温度、气体温度都会随着输入微波功率的增大而增大;2450 MHz的微波等离子体相比于915 MHz的微波等离子体,具有更好的性能。同时,本文对不同输入功率下等离子体火焰长度进行了实验测量,结果显示输入功率对火焰长度仅有很微弱的影响。     

用于等离子体波研究的微波相干散射系统

本文介绍了一种新颖的角分辨微波相干散射系统。该系统使用了介质分束片,可以方便地进行散射角扫描。利用该系统测量等离子声波的色散关系和系统的波数分辨率,实验证明,该系统适用于研究波长较长的等离子体静电波和不稳定性。     

微波等离子体退火制备CoSi_2薄膜

采用微波等离子体退火方法使溅射的金属钴薄膜与(1 0 0 )硅衬底发生固相反应直接生成Co Si2 ,证明了采用微波等离子体退火制备低阻硅化钴的可行性.通过X射线衍射图谱发现,当退火时间相同时,在6 1 0℃时先形成Co Si2 (1 1 1 )织构,75 0℃时(1 0 0 )取向的Co Si2 生长显著.此外,在微波作用下,无需先形成富Co的Co2 Si和Co Si,就能直接得到稳态的Co Si2 ,不同于常规的热处理.分析认为这是因为微波可以促进固相反应中Co原子的扩散,有利于Co Si2 形核生长     

常压微波等离子体反应器的设计与实现

本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器。微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构。首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器。将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45GHz功率可调的稳定的微波等离子体。     

Plasmatron with Microwave Excitation of Nonequilibrium Plasma

Testing results of a microwave plasma generator (plasmatron) intended for excitation of a strongly nonequilibrium plasma arepresented. Nonequilibrium properties of the plasma are described in detail.The plasma flame is formed at an open end of a coaxial line under atmospheric pressure. Argon is used as plasma forming gas, and a 10 GHz CW magnetron with 10 W output power is used for plasma excitation.The efficiency of absorption of microwave power in the plasma is higher than90% with specific absorbing capacity of 0,4.4 kW/cm³     

一种新型高效率微波等离子体炬

微波等离子体具有无电极、电子密度大、电子温度高和能量效率高等优势,广泛应用于日常生活、能源、化工和材料等领域,但是目前微波等离子体装置作用距离短,效率低,因此等离子体在腔体中停留时间较短,很难发挥出更好的性能,限制了等离子体在工业领域很好的应用.本文提出了一种新型等离子体炬结构,电磁波通过波导馈入圆柱腔体,能量在圆柱腔...     

大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计

本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析，导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系，给出一些典型参数时的电场强度分布图，提出了胶体高度可调的必要性，为该种形式源的优化设计提供了理论依据。     

General Coupling Matrix Synthesis Method for Microwave Resonator Filters of Arbitrary Topology

This letter presents a new approach to synthesize the resonator filters of an arbitrary topology. This method employs an optimization method based on the relation between the polynomial coefficients of the transfer function and those of the S₂₁ from the coupling matrix. Therefore, this new method can also be applied to self‐equalized filters that were not considered in the conventional optimization methods. Two microwave filters, a symmetric 4‐pole filter with four transmission zeros (TZs) and an asymmetric 8‐pole filter with seven TZs, are synthesized using the present method for validation. Excellent agreement between the response of the transfer function and that of the synthesized S₂₁ from the coupling matrix is shown.     

钨电极辅助微波等离子体水蒸汽制氢的多物理场计算

通过电磁场和等离子体场耦合的方法对钨电极辅助微波等离子体制氢过程进行多物理场耦合计算,并对制氢过程中的电子密度、电子温度、氢气和水蒸汽的浓度进行计算.计算结果表明,在10-16 s到10-15 s过程中,电子密度和电子温度增加并由电极向四周扩散,氢气浓度缓慢增加.在10-15S到10-14S过程中,电子密度和电子温度分...     

小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究

 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.     

微波ECR等离子体中的电子能量吸收的计算

本文研究了ＥＣＲ系统中微波能量的耦合过程，给出了电子能量吸收的数值计算，发现ＥＣ共振腔内静磁场的分布、工作气压和微波功率是决定产生高能电子的主要因素，从而决定了ＥＣＲＣＶＤ薄膜淀积工艺的有关参数。进行了ＥＣＲＣＶＤＳｉＮ薄膜的工艺实验，其结果与理论计算符合得较好。