散射法表面粗糙度测量的数学模型分析

对材料的表面粗糙度进行测量时,往往要求采用在线非接触方式。散射法能较好地满足该要求。本文以beckm ann的光散射模型为理论基础,分析建立了散射法表面粗糙度测量的数学模型,并进一步简化了该模型,为应用散射法测量提供了数学依据。     

表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究

通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性,设计新型光路,将三咱光电测量技术集成为一个测量仪,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器,而同时具有三种测量功能。     

光纤测量表面粗糙度的研究

物体表面的反射散射光的强度反映了表面粗糙度的信息，即反射散射光的强度与表面的粗糙程度和探测光纤与反射表面之间的距离有关。利用光纤将被测表面的反射散射光接收。测出了反射散射光强度与距离、粗糙度的关系，用最佳拟和曲线法计算出Ｒａ与光强之间的关系。     

火炮内膛表面粗糙度测量的研究

为了提高火炮内膛表面粗糙度测量的准确度,以光散射理论为基础,采用光散射特征值法对火炮内膛表面粗糙度进行测量．该测量系统能对口径100～203mm范围内的炮管内膛表面粗糙度进行检测,其测量范围Ra：0．2～1．6μm,最大相对误差4．3％．     

表面粗糙度和形状测量技术的最新发展动向

触针式表面粗糙度测量仪自发明以来至今，虽然基本测量原理没有多大变化，但近年来在高性能，多性能化以及降低价格，从一维测量三维测量等方面有了很大的进步。为实现高速，高精度测量，在非接触测量方面，采用了老针以及显微技术：例发，ＳＴＭ扫描遂道是微镜，ＳＥＭ扫描式电子显微镜，ＳＰＭ扫描式探针显微镜等。     

表面粗糙度测量光纤传感器的研究

光纤传感器是近年来迅速发展起来的一种新型传感器。本文简述在表面粗糙度测量光纤传感器的理论分析、实验研究和结构原理方面的初步研究结果。     

表面粗糙度R_a和光学散射特征值S_n关系的研究

本文以光散射法测量磨削表面粗糙度为例，研究光散射法光学特征值Ｓｎ和表面粗糙度主要参数Ｒａ的对应关系；特别是针对研磨表面建立的Ｒａ－Ｓｎ关系曲线图，在较大的测量范围内（Ｒａ从０．０１０μｍ－０．０６６μｍ），Ｒａ和Ｓｎ存在较好的线性对应关系，表明光散射非接触测量表面粗糙度更适合对较光滑表面的粗糙度进行无接触、快速检测。     

表面粗糙度测量系统测量参数自动设定控制

介绍一种使用表面粗糙度检查仪测量参数由微机自动选择设定控制的方法,该方法大大降低或消除了人为因素影响,提高仪器听测量精度和可靠性,并简化操作。     

光纤、激光深孔表面粗糙度检测仪

檢測深孔表面粗糙度,迄今國内外尚是一个沒有完全解决的问題,本文敘述一种根据光的反射原理,利用激光、光导纖维及集成电路等技术研制的“光纤、激光深孔表面粗糙度檢测仪”。对孔径为φ3毫米以上的小孔,可測量的最大深度为200毫米,对孔径大于φ100毫术的孔,可测量的最大深度可达10米。本仪器既可测量內表面也可测量外表面;既可作静态测量,也可作动态测量。经陕西省计量测试研究所檢定,國家计量研究院复测,本仪器相对不稳定度为±3％,分辨率为0.02μm。     

内表面粗糙度测量仪

应用光散射原理,采用半导体激光器做光源,光纤准直、光电二极管阵列接收信号,Ａ／Ｄ模数转换,单片机计算结果的内表面粗糙度测量仪,可无接触测量复杂开头工作的内表面,测量速度快,分辨率高,仪器体积小,且测量精度高。     

光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤式表面粗糙度测量仪过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算、零点漂移、信号噪声、不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算、数据处理和测量智能控制。     

基于神经网络的表面粗糙度识别算法

提出了一种新的表面粗糙度识别算法,该算法利用从标准样块上通过采样得到的数学光强度分布数据,把表征光强分布的数据和样块的标乐值分别作为神经网络的输入和输出,采用改进的Ｂ 法对神经网络进行训练,训练后,把某一工件的散射光强度分布数据输入给神经网络,则网络的输出就是该样块的表面粗糙度数值,该算法充分利用神经网络的泛化能力和学习能力,可正确识别Ｒａ在０．８μｍ以下的被测表面,并可避免误识别。     

激光表面粗糙度测量仪的研制

激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±２°，ｙ向±５°，测量距离偏差限为±２ｍｍ）；测量范围Ｒａ从０．００５μｍ到２μｍ，配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量．     

表面粗糙度的非接触在线测量研究

本文论述了一种高精度非接触表面粗糙度测量装置,此装置采用反射光位置判别法,用半导体激光器作光源,CCD器件作光电接收器件,具有精度高,测量速度快,体积小,重量轻的特点,可用于在线测量。