超高纯Al-0.5%Cu合金溅射靶材微观组织与织构的EBSD分析

用EBSD技术对超高纯（99.9995%以上）Al-0.5%Cu合金靶材冷轧及退火过程中的微观组织、织构及取向差进行了表征,分析了合金靶材多向冷轧、退火过程中微观组织、织构及取向差等的演变规律。     

采用EBSD方法研究高纯Al溅射靶材的微观结构

高纯Al溅射靶材在电子信息产品制造业有着广泛应用。微观结构与组织的均匀性、晶粒尺寸和取向分布对高纯Al溅射靶材的性能有很大的影响。本文采用EBSD技术对高纯Al溅射靶材的晶粒取向分布进行了分析,探索了晶粒取向与溅射速率关系,并采用EBSD大面积扫描对高纯Al溅射靶材的晶粒尺寸及微观结构与组织均匀性进行了研究。     

轧制变形铝合金微观组织与织构的EBSD研究

通过EBSD技术对两种典型铝合金冷轧过程中组织与织构的演变进行了表征,分析概括了合金在不同加工过程中微现组织、织构及取向差等的演变规律.简要介绍了该技术在形变铝合金研究中的广泛应用.     

形变镁合金微观组织与织构的EBSD研究

镁合金具有密排六方结构,变形时易形成基面织构,室温塑性差。研究镁合金变形过程中微观组织及织构的演变规律是解决以上问题的关键。近几年发展起来的电子背散射衍射（EBSD）自动分析技术是研究材料微观组织及织构的一种非常有效的分析手段。本文分别举例介绍了EBSD技术在形变镁合金轧制过程微观组织与织构演变、拉伸孪晶界面和动态再结晶研究中的应用。     

钢铁材料中取向差/旋转轴分布的EBSD研究

本文利用EBSD技术研究了铁素体-贝氏体双相钢、SWRH82B线材、F460船板钢的取向差/旋转轴分布情况,并对结果加以分析。结果表明：样品制备的优劣对小角度取向差影响明显;EBSD数据采集不当可能引入30°〈111〉伪对称性;材料的组织与织构对相关联取向差分布产生影响;织构的种类及强弱将使得非相关联取向差分布偏离Mackenzie分布并使得旋转轴在样品坐标系中有序分布。     

EBSD技术在形变Zr合金组织与织构研究中的应用

本文采用配备在扫描电镜中的EBSD系统及相应的取向分析和组织重构技术,对形变状态和退火状态下Zr合金的微观组织及织构演变规律进行了初步研究。结果表明,形变样品中晶粒细碎且不均匀,具有较为明显的形变带特征;织构主要为基面平行于轧面（（0002）／／Z）取向织构,同时还存在较多的{0001}（1010）和{0001}（1150）织构及{1104}（1102）织构。退火样品中晶粒均匀,基本为等轴晶,几种主要基面织构变化不大,但{1104}（1102）织构含量与形变样品相比提高了一倍以上。     

初始织构对高温轧制AZ31镁合金板显微组织与织构影响的EBSD研究

本文采用EBSD方法表征分析了不同初始取向的AZ31镁合金原料板材经300℃热轧69%后得到的终轧产品的显微组织与织构差异,考察了热轧变形条件下原料的初始织构对热轧成品板材的影响。结果表明,原料的初始织构对终轧板材的显微组织与织构影响不大,但对材料的显微组织界面分布有一定影响。通过高温大变形量变形,不同初始织构的原料均可制得平均晶粒度小于5μm的AZ31镁合金板材。     

初始织构对高温轧制AZ31镁合金板显微组织与织构影响的EBSD研究

本文采用EBSD方法表征分析了不同初始取向的AZ31镁合金原料板材经300℃热轧69％后得到的终轧产品的显微组织与织构差异,考察了热轧变形条件下原料的初始织构对热轧成品板材的影响.结果表明,原料的初始织构对终轧板材的显微组织与织构影响不大,但对材料的显微组织界面分布有一定影响.通过高温大变形量变形,不同初始织构的原料均...     

冷轧Ag带再结晶织构转变的准原位EBSD研究

本研究采用准原位退火电子背散射衍射（ EBSD）技术,对冷轧Ag带材在再结晶退火转变过程中的显微组织及织构演变过程进行了研究。冷轧Ag带材中存在较强的黄铜取向B｛110｝〈211〉;在退火过程中,B取向晶粒优先长大,最终在组织中形成很强的｛110｝〈211〉织构。     

半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制

半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本,在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例,介绍了溅射靶材的发展演变,并以靶材使用前后轮廓测量为基础,研究了100~300 mm晶圆制造用靶材的利用率。结果表明,常规靶材随着尺寸增加和溅射工艺的严格控制,靶材利用率减小(30%)。制备高利用率的大尺寸长寿命靶材,需对靶材的溅射面形貌和靶材厚度等方面进行结构优化设计,经优化设计后的靶材利用率最大可达到50%以上,使用寿命亦显著延长。     

高纯钽交叉轧制过程中微观结构和织构梯度的演变

高纯钽板在交叉轧制过程中,通过控制轧制的道次,得到了70％,82％和87％变形量的样品.应用X-射线衍射(XRD)技术测量了轧制样品1/8厚度层,1/4厚度层和中间层的宏观织构,并对样品沿厚度方向上的变形组织与微织构进行电子背散射衍射(EBSD)表征.结果表明,随着交叉轧制变形量的增加,{111} 和{100}取向晶粒的取向分裂程度增加,并且{111}取向的晶粒分裂程度高于{100}取向的晶粒.变形量为70％时,高纯钽板沿厚度方向存在强烈的微观组织和织构梯度,中间层具有强烈的{111}取向晶粒,而1/8厚度层主要为{100} 取向.随着变形量增加,高纯钽板沿厚度方向的微观组织和织构均匀性得到改善.当变形量达到87％时,表面和中心的{100} 和{111} 取向晶粒都为长条状且交互分布在一起,使得钽板沿厚度方向织构梯度得到减弱,同时获得均一的晶粒尺寸.