中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义.采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化.在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.     

中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义. 采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化. 在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.     

氧流量对电子束蒸发ITO薄膜特性影响的研究

研究电子束蒸发ITO过程中,氧流量对制备的ITO薄膜形貌以及电阻率的影响,并分析了其影响的机理.结果表明,在保持温度、真空度、转速和生长速率不变的条件下,氧流量为2 sccm时,制备的ITO薄膜最优,其电阻率为2.2×104Ω·cm,在450～460 nm处的透过率超过98％,折射率为1.7.     

衬底温度对纳米晶硅薄膜微结构的影响

采用传统的射频等离子体增强化学气相沉积技术,在较高的工作气压130 Pa和较高的射频功率70 W下,在高于100 ℃低温下,以0.14 nm/s速率制备出优质的纳米晶硅薄膜.研究结果表明,衬底温度对薄膜晶化率、表面的粗糙度和沉积速率影响很大.当衬底温度高于100 ℃时,薄膜由非晶相向晶相转化.随着衬底温度升高,薄膜晶化率提高,沉积速率缓慢增加.当温度超过300 ℃时,薄膜的晶化率降低,薄膜表面的粗糙度增加,均匀性降低.     

PECVD法低温制备纳米晶硅薄膜晶化特性的Raman分析

以SiH4与H2为气源,采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,在较低的温度(200℃)和较高的压强(230 Pa)下,在普通的玻璃衬底上制备出沉积速率达8×10-10m/s,晶化率大于60%的纳米晶硅薄膜.利用Raman谱分析硅烷浓度和射频功率对纳米晶硅薄膜的晶化特性的影响.结果表明,薄膜的晶化率、沉积速率与硅烷浓度和射频功率存在着密切的关系.随着硅烷浓度的降低,即氢稀释率的提高,晶化率提高,而沉积速率随着射频功率的增大而增大.当硅烷体积浓度为1%、射频功率为70 W时,获得晶化率接近70%的优质纳米晶硅薄膜.     

深井高应力砂岩压裂裂缝扩展规律研究

针对深井高应力条件下,煤矿顶板坚硬难以垮落带来的冲击灾害问题,提出高应力条件下压裂方案并进行试验研究,采用大尺寸真三轴压裂渗流模拟装置进行水力压裂物理模拟试验,研究不同注液速率、不同黏度压裂液介质对裂缝起裂扩展规律的影响.结果表明:注液速率的提升可以明显缩短高应力条件下砂岩的起裂时间;注液速率的改变对高应力条件下砂岩的起裂压力影响不明显;压裂液黏度的增加对裂缝宽度具有一定的影响;通过对注液速率和压裂液黏度的合理调控,在一定的试验条件范围内可实现对砂岩起裂压力和起裂时间的预测;高地应力条件是影响裂缝发育的主要因素,由于高水平地应力差的存在,裂缝基本不会发生偏转,形成一条垂直于最小主应力的主裂缝.研究结果对深井高应力致裂顶板具有一定的参考价值.     

煤岩力学特性降解及声发射信号多参量特征试验研究

为研究循环荷载作用下煤样断裂演化过程,借助MTS815力学试验机及声发射仪对加卸载过程中煤样力学特性及声发射信号特征展开了深入的研究。结果表明:不同应力水平下,弹性模量表现出3阶段的变化趋势,即急剧增加-缓慢增加-急剧降低;泊松比与不可逆应变呈现出由线性向非线性的演变,即稳定不变-缓慢增加-急剧增加;低、中和高频特征信号占比分别为77.41%、6.18%和16.41%,其中,低频高幅值能量信号是诱导煤样发生宏观断裂的主要特征信号;微观拉伸裂纹和剪切裂纹占比分别为37.9%和62.1%;基于加卸载响应比定义的损伤因子较好地表征了不同加载阶段的损伤演化过程。     

多点布测下锚固缺陷诊断的小波多尺度分析

为解决锚杆低应变动测分析时,应力波速缺乏有效的量化手段的问题,进行多点布测方式下锚杆锚固质量的室内测试实验,并采用db6小波的3尺度或4尺度分析方法对测试信号进行分析。研究表明,多点布测的方式能准确确定波速的大小和波速传播过程中的变化大小在顶端传感器信号中的反应;对于单一缺陷的锚杆,采用平均波速计算的缺陷位置和锚杆长度与实际结果吻合,对于多缺陷锚杆,采用分段计算法能避免各测段波速离散性的影响,提高应力波检测精度;波速离散性较大,采用应力波速变化值比应力波速更能反映锚杆质量;锚杆的底端反射时间可在低频信号a3或a4中反应是由于低频信号反应大缺陷、高频反应细部缺陷的缘故。     

粉末冶金工艺参数对新型医用TiMoTaNbZr合金热变形行为的影响

以各合金元素粉末为原料,通过混料、冷等静压及真空烧结制备了新型医用Ti-14Mo-2. 1Ta-0. 9Nb-7Zr合金。通过改变压制压力、烧结保温时间等工艺参数制备合金,然后在变形量为60%、变形温度为900℃、变形速率为0. 01 s-1的条件下对合金进行高温热变形处理。利用X射线衍射(XRD)、光学显微镜(OM)及真应力-真应变曲线,表征分析了粉末冶金制备工艺参数对合金热变形行为的影响。结果表明,合金热变形后组织沿变形方向成纤维状,形成流线;粉末冶金法制备的合金强塑性好,且保温时间越长、制备压力越大,合金强塑性越好;合金在高温变形的条件下,发生动态回复和动态再结晶。动态回复阶段流变应力随着应变量的增加而增加,动态再结晶阶段则相反,再结晶完成后,合金进入稳态流变阶段。     

水溶液中低温电沉积法制备锗薄膜工艺研究

本次工作以二氧化锗作为锗源，在水溶液体系中分别以固态和液态电极进行半导体锗薄膜的制备并对其进行分析。XRD和拉曼光谱显示在Cu板上制备的样品均为无定形态的锗，沉积温度和时间对锗薄膜最终形成厚度具有显著影响，同时，过高的沉积温度会使锗薄膜在生长过程中产生裂缝。而在较低温度下(<90 ℃)可在液态电极上制备出晶体锗薄膜，且当沉积温度为80 ℃时晶体锗薄膜质量相对最好。此外，XRD测试结果表明较低的锗源浓度(<70 mM)会阻碍锗在(220)和(311)晶面的生长。     

带式输送机张力传感器的疲劳寿命计算

介绍了应用于胶带输送机张紧力检测的传感器的疲劳分析中局部应力应变法的分析方法和步骤,同时结合ANSYS,运用局部应力应变法中的稳态法对优化设计前后的张力传感器分别分析、计算出了疲劳寿命,为优化设计对其抗疲劳性能的影响提供了客观的判断依据;对一般零部件的疲劳寿命的计算也具有参考价值.     

压力传感器轴销的疲劳寿命计算

详细介绍了疲劳分析中的局部应力应变法分析方法和步骤,同时结合ANSYS,运用局部应力应变法中的稳态法对优化设计前后的压力传感器轴销分别分析、计算出了疲劳寿命,为优化设计对其抗疲劳性能的影响提供了客观的判断依据;对一般零部件的疲劳寿命的计算也有一定的参考价值。     

Analysis of the Causes of the Sinkhole within the Mining Area of the Former Mine

Journal of Mining Science - The paper presents a case of a sinkhole located in a hard coal mine within the Upper Silesian Coal Basin in Poland and attempts to explain the causes of its formation....     

带压系数及突水系数在防治水中的应用

介绍了在邯郸矿区长期带压开采和矿井防治水工作中的实践经验,论述了"带压系数"、"突水系数"在防治水工作中的重要概念.     

浅析倒堆开采在团结沟东露天采场残采中的应用(增刊)

团结沟采矿场露天开采至今已40年,现处于露天残采尾期,优化采剥生产工艺,最大限度地利用好现有资源很有必要。文章从东露天采场残采现状、倒堆开采方案及开采技术安全要求、效益预测等方面进行了简析。在目前矿山资源枯竭的情况下,倒堆开采实施后可延长服务年限3年。本文可为类似矿山提供参考。     

渣浆泵的后护板安装方法改进

经过对各类泵的安装方法的研究,改进了泵后护板安装方法。改进后的安装方法,避免了后护板悬空、碰撞、吊钩滑落、丝孔对不正的等诸多问题,减低了安装过程中的安全隐患,可操作性强,减低了劳动强度,加快了检修效率。     

断层影响下底板应力分布和破坏分析

采用FLAC5.02D数值模拟软件模拟了煤层开采过程中断层对底板应力峰值与塑性区变化的影响。对不同断层倾角,断层刚度和底板水压下底板应力峰值和塑性区变化进行了分析,同时根据现场实测,对有无断层条件下破坏深度进行对比。断层倾角越小,底板应力峰值越高,底板破坏区范围越大;断层倾角越大,底板破坏区范围越小,最终发展为“X”型。断层刚度的增加,没有对底板塑性区产生明显的影响,只是从断层带一侧改善了底板突水通道。随着底板水压的增大,塑性区范围没有明显变化,底板应力峰值的波动程度也不大。无断层存在,底板破坏深度为0~17 m;断层带的存在使底板破坏深度增大了135%。     

带式输送机滚筒压裂分析及改进

针对福建省某煤矿带式输送机滚筒使用中出现的压裂情况,根据传动原理对滚筒结构和受力进行分析,探讨滚筒压裂的原因,提出提高滚筒强度的改进方法。     

浅议相关方对建筑工程质量的影响

为提高建筑工程质量,对各相关方的特点和重要性进行了分析.