亚 50 nm 台阶高度标准物质的可控制备及定值研究

纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值。 针对我国缺乏可控的高质量亚 50 nm 台阶高度标准物 质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高 度亚纳米量级精确可控,制备出了最小公称高度仅为 5 nm 的亚 50 nm 台阶高度标准物质系列。 其定值结果可溯源到米定义波 长基准,扩展不确定度不超过 2. 0 nm,均匀性和稳定性较好,不同测试仪器一致性水平较高。 研究结果表明,所研制的纳米台 阶高度标准物质可以用于亚 50 nm 高度量值传递以及多种测量仪器之间量值的比对测量,其产业化批量生产的前景也将为半 导体产业提供完善的计量保障。     

基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究

纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准。在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可。针对5 nm这一较小量值的纳米台阶高度标准物质的定值方法进行了详细介绍,由中国计量科学研究院自主研制建立的毫米级纳米几何结构计量标准装置采用单一原级的定值方式进行严格定值,采用方差分析法进行均匀性检验,保障了台阶高度量值的溯源性与准确性,定值结果为:h=(5.8±1.0) nm,k=2,并在12个月的时间内进行稳定性监测,最终实现了国家一级标准物质的成功申报。     

广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目

<正>随着纳米科技及微加工的发展,微纳尺度产品的计量检测愈加迫切,需求也逐渐增大。为解决量传溯源问题,广东省计量院通过承担质检总局科研项目"微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究"和省科技厅科研项目"微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究",成功研制出微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等。其研究成果可用于扫描     

三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征

三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度.本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法.首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,...     

计量型原子力显微镜的非线性误差及轴间耦合误差的校准

本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种ＳＰＭ的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦合误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过ＰＴＢ检定的样板进行了测量,测量结果表明对于３００ｎｍ的台阶高度,测量念头平均为１．１ｎｍ。     

资讯看板

[企业动态]海德汉向中国计量科学研究院赠送标准光栅尺5月9日,海德汉公司向中国计量科学研究院赠送了他们自己研制的,用于国际比对用的280毫米标准光栅尺。它将有助于提高我国纳米计量技术水平,为验证新的纳米测量技术和纳米测量设备提供了一个可靠的,国际广泛认可的高水平计量基准,通过此次赠送,海德汉公司希望在精密测量与计量科学技术方面与中国的计量技术机构以及大学、科研院所开展技术合作,共同推进我国“十一五”计划纳米技术应用的目标的实现。微机械和纳米技术作为新兴的高科技是很多国家技术发展的重点。我国在第十一个五年计划中…     

传感器径向安装检测转子轴向位移的试验

在磁悬浮轴承中,经常采用转子轴向位移轴向检测的方法,但是不能满足某些空间受限场合的应用要求。针对此问题,本试验采用在转子回转表面加工台阶,传感器径向安装在台阶处,研究了不同安装间隙、不同高度台阶、不同转子径向位移情况下对转子轴向位移测量结果的影响。试验结果表明,在传感器线性测量范围内,传感器输出电压与转子轴向位移成正比,利用径向安装传感器对转子轴向位移进行测量的方法是可行的。     

百年公司牵手权威院所、共促中国纳米技术发展

2006年5月9日下午在北京顺义天竺空港工业区约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司举行了向中国计量科学技术研究院赠送标准光栅尺仪式。在仪式上海德汉总部市场总监布拉许博士、中国计量院童光球院长、机械联合会科技部李冬茹主任和计量院长度所高思田所长分别致词。微机械和纳米技术作为新兴的高科技是很多国家科技发展的重点。我国在第十一个五年规划中明确将发展微机械和纳米技术作为重要发展目标。要发展微机械和纳米应用技术,必须有高水平的纳米测量技术和准确的纳米计量标准作为保证。中国计量科学研究院成立于1955年,是中国最高的计量科学研究中心和法定计量技术机构,是保证国家计量单位量值统一和确保我国计量单位量值与国际一致的最高技术机构。该院作为国际知名的计量研究机构,具有权威声望。中国计量科学研究院十分重视纳米计量标准的研究,并积极开展和参与国际间的研究与合作,取得了令人瞩目的成就。在2000-2003年间,该院代表中国参加了由国际纳米计量技术论坛(WGDM)组织的NAN03纳米计量比对,并圆满完成了所分担的测量任务,验证了我国纳米测量的现有水平。海德汉公司——有着一百多年历史的德国公司,一直专著于光栅检测产品的研发与制造,在业内处于领先的地位。该公司作为全球领先的长度和角度计量与测量产品生产厂,拥有第一流的研发和生产条件。其生产的纳米精度级的产品已经在电子、舫     

用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜

SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一,随着SPM进入工业测量领域,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在.文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用.     

基于AFM的纳米尺度线宽计量模型及其算法的研究

纳米尺度线宽的测量广泛应用于半导体制造、数据存储、微机电系统等领域。随着制造技术的进步,线宽的极限尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,目前很难得到准确的测量结果。为了获得样本的真实几何尺寸信息,剔除测量方法和仪器本身对测量结果的影响,建立了一个基于AFM测量技术的线宽计量模型和相应算法。该模型将被测样本的截面轮廓用20个关键点分成5个部分共19段,用基于最小二乘的直线来拟合实际轮廓。应用该模型和算法可以分别得到单刻线轮廓拟合前后的顶部线宽b_T、b_(TF),中部线宽b_M、b_(MF),底部线宽b_B、b_(BF),左右边墙角A_L、A_R,以及高度h_。使用NanoScope Ⅲa型AFM对一个单晶硅(Si)线宽样本进行了测量,测量结果表明该模型和算法可以满足纳米尺度线宽计量的基本要求。