气浮轴套在数控内圆磨床上的精密加工

气浮轴是属技术及精度要求极高的轴系，该空气静压轴系的摩擦力矩几乎为零，在精密测试设备中被广泛应用。气浮轴套是气浮轴系中的关键件，其内孔圆度、圆柱度、表面粗糙度以及与气浮轴的配磨间隙等都有较高的技术与精度要求，可见其加工难度之大。能否达到设计技术要求，直接影响该气浮轴系的研制成功与否。     

钢球圆度仪的研制

本文介绍了一种高精度、快速测量钢球圆度的装置。该装置用静压空气轴系作为圆度测量的旋转基准，密珠轴系作为钢球的定位基准，通过两套精密轴系的有机结合，达到快速测量钢球圆度的目的。     

小型精密空气静压轴承的研制

基于精密空气静压轴承是超精密加工设备、精密测试仪器等尖端产品中回转运动的核心部件,研制了径向气浮轴系和带止推板小型气浮轴系的空气静压轴承,分析了轴承的承载能力和装配工艺,解决了在保证高精度的前提下保持良好制造工艺性的难题.实际使用表明,它性能稳定、精度高、适应性好,有一定的推广价值.     

基于LabWindows/CVl的陀螺轴系摩擦力矩测试仪的研究与设计

轴系摩擦力矩是影响陀螺轴承系统精度和可靠性的主导因素.为解决轴承组件在成对轴承安装过程中出现的摩擦力矩无法测试验证等问题,设计了一种陀螺轴系摩擦力矩测试仪.采用力矩平衡的测量原理实现了陀螺轴系的摩擦力矩测量.使用精密驱动系统、精密测量系统和定标校准系统,在计算机Windows操作平台下的LabWindows/CVI开发软件上进行编制,实现数据采集和处理.测试实验结果表明,陀螺轴系摩擦力矩测试系统通过长时间稳定性测试的最大差值小于0.01mN＆#183;m,满足了高精度、高可靠性、快速测量的要求.     

精密减速器传动误差测试系统研究

设计并搭建了基于圆光栅角度编码器的精密减速器传动误差测试系统,对测试系统误差主要来源和规律进行了分析,设计并搭建了圆光栅角度编码器在位校准系统,测得了测试系统输入端和负载端角度编码器误差曲线.以某品牌RV-20E精密减速器为测试对象,测量其传动误差,然后通过圆光栅误差曲线对测量结果进行补偿,结果表明圆光栅角度编码器误差...     

ICF靶丸表面形貌检测系统性能分析

基于原子力显微镜与精密的气浮轴系,建立了靶丸表面形貌检测系统。对该系统的各项性能指标进行了评定,研究结果表明,系统的随机噪声误差在10nm量级,轴系的回转精度误差功率谱振幅在10^-2量级,与微球轮廓功率谱幅度相差两个量级以上,系统的稳定性较好,波长为几百纳米以上的局部颗粒能够被精确分辨。     

三轴气浮转台球形空气轴承座的研磨

精密仪器和设备转动部位都要有高精度的轴系.从当前发展趋势来看一些高精度的轴系都倾向于采用球形轴承.如英国的圆度仪、日本的高精度精密车床和我国0.1秒圆刻机等都采用了球形轴承.由于球形轴承的两轴承的球心可以自动对准,很容易调到一条直线上来,所以采用球形轴承可以获得高精度的轴系.而且又可根据球面半径值的变化进行修正半径尺寸来保证配合间隙,达到使用目的.此外由于球形轴承能实现三轴回转,所以在人造卫星姿控系统模拟试验的三轴气浮转台上也采用了气浮球轴承.本文所叙述的就是三轴气浮转台上所使用的气浮空气球轴承的研磨试制工艺.     

基于LabWindows/CVI的陀螺轴系摩擦力矩测试仪的研究与设计

轴系摩擦力矩是影响陀螺轴承系统精度和可靠性的主导因素。为解决轴承组件在成对轴承安装过程中出现的摩擦力矩无法测试验证等问题,设计了一种陀螺轴系摩擦力矩测试仪。采用力矩平衡的测量原理实现了陀螺轴系的摩擦力矩测量。使用精密驱动系统、精密测量系统和定标校准系统,在计算机Windows操作平台下的LabWindows/CVI开发软件上进行编制,实现数据采集和处理。测试实验结果表明,陀螺轴系摩擦力矩测试系统通过长时间稳定性测试的最大差值小于0.01mN·m,满足了高精度、高可靠性、快速测量的要求。     

利用Heidenhain平面光栅作数控机床的圆检验

对机床作圆检验常用的仪器是球杆仪,它具有测量精度高,安装方便,测量时间短,不需额外加工测试件等优点,但也存在不能进行小半径测量且仅为一维测量等局限性.本文介绍了德国Heidenhain公司开发的用于测量机床二维运动轮廓精度的高精密平面光栅,对圆检验中的典型误差类型及其来源进行了分析,并对评定圆检验的方法做了阐述,最后给出测试实例.     

金刚石刀具刀尖圆弧波纹度的测量及评价

为实现金刚石刀具刀尖圆弧波纹度超精密测量,构建了基于原子力显微镜(AFM)和精密回转轴系的刀尖圆弧轮廓测量系统,研究了刀尖圆弧波纹度评价方法和控制测量系统引入误差的策略。提出了评价刀尖圆弧波纹度时截止波长的确定原则和方法,并介绍了刀尖圆弧波纹度测量原理及评价流程。讨论了精密回转轴系径向回转误差的测量和评定、刀具安装偏心和偏角误差的控制和原子力扫描系统Z向非线性误差的校准方法。最后,在构建的测量系统上测量了了金刚石刀具刀尖圆弧波纹度并对测量不确定度进行了分析。实验测量显示:所评价金刚石刀具的刀尖圆弧波纹度为0.106μm,测量不确定度为23.8nm,表明所构建的测量系统基本满足金刚石刀具刀尖圆弧波纹度纳米级测量及评价的需求,测量结果稳定可靠、精度高。