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利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿x轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测试了三电极谐振器的基频振荡频率,并计算其相应的力频系数。通过比较ANSYS仿真分析的结果和实验所得结果,表明ANSYS仿真分析计算结果与实验结果基本一致,从而证明ANSYS仿真分析是可行的。因此,在同一晶体基片上设计谐振器时,可借助有限元分析手段,根据晶片内的应力分布情况,在有限空间范围内初步选择应力变化差异较大的位置设置电极,以此获得力频敏感特性显著的集成式石英晶体谐振器。 相似文献
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一、概述自从1921年CADY首先运用压电石英振子制成第一台石英晶振以来,它为稳频技术的发展揭开了新的一页。六十多年来石英晶振得到了广泛的应用,其频率稳定度已由初期的10~(-4)提高到10~(-11)或更高的水平,几乎是平均每十年提高一个量级。高稳晶振的工作频率已由100KHz、1MHz、2.5MHz、5MHz发展到10MHz和100MHz。晶振的发展有力地促进了通信、导航、计测等技术的发展。它可简化电路,提高设备的抗干扰能力和精确度,在保证高可靠和长寿命的工作等方面都已显示了特有 相似文献
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ANSYS是当今世界上最为流行的大型通用有限元分析软件。文中以计算低频屏蔽微带线为例,给出了ANSYS在微带线特性分析中的应用方法,阐述了其计算原理和计算过程。计算结果表明该方法是准确、快捷和简便的。 相似文献
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四硼酸锂晶体圆片的加工与表征 总被引:1,自引:2,他引:1
介绍了坩埚下降法生长的优质四硼酸锂晶体(LBO)76mm(3英寸)标准圆片的加工工艺,讨论了LBO圆片的质量。研究表明,所得LBO圆片能够满足目前SAW器件制作的要求 相似文献
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提出了一种新型的双平行四连杆柔性铰链弹性导向结构,用作石英力传感器的力导向元件。这种采用柔性铰链连接双平行四连杆形成单方向位移的弹性导向机构,有着优良的机械性能:无机械摩擦,无间隙,运动灵敏度高,导向精度高,能自动消除偏载影响。文中对其在正常载荷及偏载下的响应进行了详细讨论,给出了导向位移及偏移误差和采用这种结构的石英力传感器的应用结果。 相似文献