用阳极氧化腐蚀工艺生产硅膜压力传感器

为了减少压力灵敏度偏差,已用阳极氧化自停腐蚀工艺制造了硅膜压力传感器。在肼水溶液中采用自停腐蚀工艺,精确地控制了膜的厚度。p型压阻元件是用硼离子注入在(100)晶向的n型外延层上制造的,在n/p硅外延片的n型层上加5V正电压,则厚的p型衬底就被腐蚀掉,腐蚀停止后,一层薄的n型膜被留下了。膜的尺寸为1mm×1mm,厚度是20±2μm,晶片之间的压力灵敏度偏差小于20％。     

一种高精度薄膜压力传感器

薄膜压阻传感器具有很多优点,尤其是它省去了一般应变片的胶贴工艺,由此引起的一系列缺点也就随之消失。它的蠕变极小,是一种很有前途的高精度压力传感器。近年来由于薄膜技术发展的推动,使这种五十年代就提出的传感器得到了迅速发展。本文将介绍我们自1988年以来所做的一些工作及其初步结果。     

一种机油压力传感器

一种机油压力传感器。包括外壳、带有进油螺管的膜室盘及膜片组成的膜室、弹簧阻尼组件和可变电阻总成及其引出端，其特征在于可变电阻总成中的电阻片采用厚膜电阻片，具有牢固、耐热、散热快的特点，克服了现有的机油压力传感器出现电路短时间短路的情况时，非常容易烧断电阻丝而导致机油压力传感器失效的不足。     

微机械梁一膜结构的压力传感器

本文提出了一种用于压阻压力传感器中的微机械梁膜结构.这种结构除有灵敏度高、线性好等优点外,还有其他优良性能,而工艺要求又较已有的各种结构为低.有限元素法的应力分析和实验结果证明了这种结构的优良性能.     

高温压力传感器的热模拟

探讨了一种多晶硅高温压力传感器的设计方法,论述了其较一般高温压力传感器的优点及其制造工艺流程。重点利用ANSYS软件对模型进行了热模拟,比较了AIN,SiO2与Al2O3分别作为绝缘散热层时模型中的温度分布,并且比较了散热层不同厚度时力敏电阻中心点的温度。     

一种压力传感器测试系统的设计

一个用于检验血压之电容式压力传感器性能的测试系统的设计方法。着重介绍了本系统用８０９８单片机的ＨＳＩ检测频率信号及用ＭＣ６８４７视频显示发生器构成ＣＲＴ显示接口的设计思路，并提出了应用ＨＳＩ及用ＰＬ／Ｍ－９６语言编程时应该注意的一些问题     

基于碳纳米管场发射的压力传感器仿真与设计

碳纳米管是场发射阴极的极佳材料.基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术,采用有限元软件对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真,使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化,并设计了实现压力传感器的工艺过程.碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小,选取的长度不影响直立,间距在500 nm时可获得最大电流.阳极膜的...     

一种基于半导体压力传感器的液位测量方法

先从理论上分析了半导体压力传感器的液位测量方法,导出差压与液位高度之间的数学表达式并给出了仿真曲线。介绍了测量系统中压力传感器的选型、信号调理电路的设计以及应用中的注意事项。     

一种用于恶劣环境下的贴片式MEMS压力传感器

为了降低振动、气流冲击以及外界杂质对压力传感器检测性能及可靠性的影响,满足压力探针与MEMS压力传感器一体化集成设计的要求,设计了一种单电阻贴片式MEMS压力传感器。通过在压敏薄膜下方制作压敏电阻的方式,并通过硅-玻璃阳极键合工艺实现对压敏电阻的真空封装,以隔离传感器使用环境中杂质颗粒对检测性能的影响;另外,在压敏薄膜上方设计两个大尺寸焊盘,通过锡焊（或钎焊）技术实现传感器芯片与外部电路的可靠连接,使传感器在在强振动和冲击载荷环境下仍能正常工作。通过与高精度压力传感对比标定,结果表明：在25～125 ℃温度范围内,该传感器的灵敏度高于106 mV·mA-1·MPa-1,非线性度优于03%。     

一种新型光纤压力传感器

本文阐述一种三光纤压力传感器的测压原理及实现强度调制方法,并对传感器的光路、调制机构、膜片设计作了具体的介绍。实际功能测试结果表明,利用该传感器可以克服光强变化及膜片反射系数不同对测量结果的影响,具有较高的精度。     

PVDF压电薄膜制作传感器的理论研究

用PVDF压电薄膜设计传感器是近年来在传感器领域研究的一个新热点,通过对PVDF压电薄膜的压电性能的分析,根据弹性力学的薄板理论和压电效应的物态方程,导出PVDF压电薄膜的传感方程,并对偏转角口的情况进行了讨论;为用PVDF压电薄膜制作传感器提供理论基础。     

扩散硅压力传感器性能优化研究

本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产.     

声表面波(SAW)压力传感器输出频率的高精度测量方法研究

SAW压力传感器的输出量是频率,因之精确的频率测定是保证其可靠性和正确计量的关键之一.尽管目前有多种频率测量方法,但适合于和传感器相配套的用于生产现场的微型、高精度频率仪在国内尚罕见报道.我们在研究了现有频率测量方法的基础上,得到了一种适合于SAW压力传感器输出频率的测量方法,并给出了实现频率测量的原理和电路及其主要的电子元件.     

计算机操控低辐射技术的研究

提出了计算机操控部件低辐射设计的要素,包括数字器件的处理、I/O接口的滤波、按键走线的处理、静电防护和屏蔽.阐述了各个设计要素的基本处理方法.在实际设计探控部件时,需要根据各个要素降低辐射的效果和具体实现的难易进行有重点的设计.     

野战分组交换网性能的仿真分析

本文采用计算机仿真的方法研究了野战分组交换网的性能,讨论了影响网络性能的主要因素,通过对仿真结果进行分析,得出了一些有益的结论,为实际野战分组交换网的网络设计提供了理论依据。     

双丝共熔池GMAW焊接熔池流场和温度场的计算机模拟

利用之前所建立的准稳态数值模型以及焊接热输入模型,对双丝共熔池GMAW焊接过程熔池成型、流场和温度场进行计算机模拟,并对模拟结果给予实验验证。     

水下爆炸压力传感器技术研究综述

压力是水下爆炸测量的重要参数,相应的传感器技术决定了整体压力测试水平的高低,因此有必要对水下爆炸压力传感器技术的应用及发展现状进行总体性的把握;首先从传感器敏感元件的选择、国内外在中远场、近场压力测量技术等方面概述了自由场压力传感器技术的发展现状,并指出了现在自由场压力测量中存在的一些问题;其次,论述了结构物表面压力测量技术的研究进展,总结了测试难点及对传感器性能要求,并对目前的测试现状进行了评述,指出了结构物表面压力测量传感器技术的发展方向;最后,对水下爆炸压力传感器技术进行了总结并提出了发展趋势。     

基于KMC方法的Ag膜生长初期的计算机模拟

文中针对银的晶格特征和银薄膜的生长特性,建立了基于KMC( Kinetic Monte Carlo)方法的银薄膜生长模型,模拟了单层Ag膜生长初期的表面形貌。在周期性基底且层间原子间采用交错排列的方式条件下,采用EAM( Embedded Atom Method)计算原子间作用势,并针对金属Ag的晶格特征及其成膜特性进行建模,编程,实验。实验结果表明：在温度不变的情况下,随着覆盖度的增加,表面原子的数量增多,且出现二维岛状生长;岛的生长形貌经历了从分散到凝聚生长的过程;原子岛的数量减少,同时岛的尺寸在增大。     

液流通过节流孔的压力场的仿真研究

为了研究节流孔的动态特征,该文对液流通过节流孔的过渡过程进行了数值解析。讨论了压力差的变化对流体初始加速度、平均轴速分量弧：、流量q和再附着点距离Z等的影响,给出了在压力差变化的情况下ωm、q、z和时间的关系曲线。该文指出流量的微小变化也伴随着压力场的变化,所以用孔口流量计进行精密测量时要特别注意。     

电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制

采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计,为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路,采用3μm P-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制,管芯面积为2.5mm×3.5mm.测试结果表明,接口电路具有较好的灵敏度,它能将硅集成电容式压力(加速度)传感器集成在同一芯片上,实现一体化。