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应用热传导率低的薄玻璃片为衬底研制成了两种微型热流量传感器,其中一种流量传感器可测流速和温度,而另一种传感器可测流速和方向。其制造工艺并不是简单地利用基片刻蚀技术,而是用溅射方法在玻璃衬底上沉积形成三个铂薄膜电阻,它们分别是微加热器、加热器温度控制器、温度传感器。这两种新型片式传感器能够很精确、灵敏地测出流体速度和流体方向。 相似文献
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设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出. 相似文献
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应用应变测量原理及技术设计一种具有独特性能的耐氢脆、中温、高压传感器。该传感器较好地解决了特殊场合下压力测量的需求。重点介绍该传感器的工作原理、设计方法、温度补偿手段及达到的技术指标和应用情况。 相似文献
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为了降低磁电式振动速度传感器的下限测量频率,以实现超低频振动速度测量,提出改进其幅频特性的函数连接型人工神经网络(FLANN)方法。该方法以磁电式振动速度传感器动态试验数据为基础,通过FLANN训练来确定传感器动态补偿网络,以改善它的幅频特性。介绍了原理和FLANN权值调整的算法,给出用FLANN建立的磁电式振动速度传感器动态补偿网络的数学模型。结果表明:这种幅频特性的改进方法具有精度高、鲁棒性好,并能在线修正等优点,在工程测试领域有重要的实用价值。 相似文献
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压力传感器动态测量方法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种获得压力传感器动态特性指标的方法,可以利用周期压力波激励压力传感器,测得压力传感器的频率响应,然后,利用计算机采集输出电压,通过软件处理滤波的方法,就可以获得压力传感器的频谱特性。测量结果证明:这种测量方法可以很方便地获得传感器全频程的动态特性,为进一步设计改善压力传感器的动态性能提供实验数据。 相似文献