薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法

本文阐述了利用石英晶体的振荡频率与晶体厚度间的关系,采用差动测量技术,实现薄膜厚度在线测量的原理、方法及系统组成.该法具有精度高、温度稳定性好的特点.     

全自动纳米多孔材料薄膜折射率和厚度测定系统

由光学原理推出薄膜折射率和厚度的计算公式,利用步进电机的全自动定位来改变p光和s光下的入射角,测到纳米材料薄膜的反射率,样机测量结果显示薄膜折射率的误差＜0.1,薄膜厚度的误差＜3%.     

塑料薄膜厚度在线测量系统的设计

文中提出了一种基于虚拟仪器的塑料薄膜厚度在线测量系统,主要介绍了测量系统的组成结构,基于电容传感器的塑料薄膜厚度测量系统的在线测量原理以及以数据采集卡PCI-M6220作为执行机构的运动控制系统的实现方案,并设计了接口板控制电路和虚拟仪器程序对系统的控制过程,并对系统准确性、传输误差和线性校正做了实验,实验证明该设计提高了原有系统的稳定性、可靠性和运行速度.     

基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统

研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明。该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。     

类金刚石薄膜厚度的测量

采用真空等离子休沉积法沉积了类金刚石膜,采用椭圆偏振光测量法测定了薄膜的厚度,在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况。     

EF-Ⅱ薄膜厚度测定仪

一、用途 EF-Ⅱ薄膜厚度测定仪，主要用于测定金属薄膜涂层的厚度，该仪器采用非接触式两次对焦的光学测量法，附以最先进的电子对焦系统，使得测量的重复误差在1μm-3μm之间，利用CCD加监视器观察图像，比人眼观察更客观。该仪器使用方便、操作简单、测量误差小、精度高，广泛应用于电子工业、塑料、橡胶、机械等行业。     

AES测薄膜厚度的误差分析与修正

本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法。     

EF-Ⅱ薄膜厚度测定仪

一、用途 EF-Ⅱ薄膜厚度测定仪，主要用于测定金属薄膜涂层的厚度，该仪器采用非接触式两次对焦的光学测量法，附以最先进的电子对焦系统，使得测量的重复误差在1μm～3μm之间，利用CCD加监视器观察图像，比人眼观察更客观。该仪器使用方便、操作简单、测量误差小、精度高，广泛应用于电子工业、塑料、橡胶、机械等行业。     

机械零件智能化检则系统的平台技术

介绍一种机械零件智能化检测系统的新设计思想和方法,并对其平台技术基本原理、设计特点及其优越性进行了详细论述。     

纳米级薄膜厚度自动椭偏测量系统设计

椭圆偏振测量技术特别适于测量纳米级薄膜的厚度和折射率。本文介绍一种新型的反射消光型椭偏薄膜厚度自动测量仪的测量原理和仪器系统设计方法,详细分析了等幅椭圆偏振光的获取方法、椭偏参数测量方法以及仪器结构方面的设计问题,并报道了仪器样机已达到的性能指标。     

铌酸锶钡铁电薄膜的微结构与薄膜厚度的关系

叙述了使用溶胶-凝胶法在Si(001)基片上制备不同厚度的铁电铌酸锶钡薄膜的过程,使用X射线衍射,扫描电子显微镜,拉曼散射光谱等方法研究薄膜的微结构与薄膜厚度之间的关系,薄膜的厚度一直能够达到5μm.实验发现,随着厚度的增加,SBN60薄膜在(001)方向的优先取向性越来越好.在逐层生长的过程中,处于底层的膜层能够起到缓冲层的作用,以逐渐改善薄膜与基片之间的晶格失配,从而使得晶体的结晶取向性越来越好.     

激光——CCD厚度检测系统的研究

本文简述了激光三角法的厚度测量原理并设计了测量系统。在信号处理部分采用了一种新的ＣＣＤ信号边沿提取技术并给出了整个检测系统的框图，分析了影响检测精度的主要因素并提出了解决方法。由本系统实验的最终结果表明，该检测系统有很高的测量分辨率，达到了很高的测量精度及重复性精度。     

铌酸锶钡铁电薄膜的微结构与薄膜厚度的关系

叙述了使用溶胶-凝胶法在Si(001)基片上制备不同厚度的铁电铌酸锶钡薄膜的过程,使用X射线衍射,扫描电子显微镜,拉曼散射光谱等方法研究薄膜的微结构与薄膜厚度之间的关系,薄膜的厚度一直能够达到5μm.实验发现,随着厚度的增加,SBN60薄膜在(001)方向的优先取向性越来越好.在逐层生长的过程中,处于底层的膜层能够起到缓冲层的作用,以逐渐改善薄膜与基片之间的晶格失配,从而使得晶体的结晶取向性越来越好.     

铌酸锶钡铁电薄膜的微结构与薄膜厚度的关系

叙述了使用溶胶—凝胶法在 Si( 0 0 1 )基片上制备不同厚度的铁电铌酸锶钡薄膜的过程 ,使用 X射线衍射 ,扫描电子显微镜 ,拉曼散射光谱等方法研究薄膜的微结构与薄膜厚度之间的关系 ,薄膜的厚度一直能够达到 5 μm。实验发现 ,随着厚度的增加 ,SBN60薄膜在 ( 0 0 1 )方向的优先取向性越来越好。在逐层生长的过程中 ,处于底层的膜层能够起到缓冲层的作用 ,以逐渐改善薄膜与基片之间的晶格失配 ,从而使得晶体的结晶取向性越来越好     

光谱法测量薄膜厚度算法的改进

提出了一种计算薄膜厚度的单极值点算法。在对SiO2二氧化硅薄膜的测试中，该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相对照，纵向测量误差小于2nm．讨论了双极值点算法计算薄膜厚度，对薄膜的反射干涉光谱曲线进行了分析。主要讨论了薄膜材料色散对测试精度的影响，在此基础上对算法进行了改进，最终利用单个极值点的数据计算出薄膜的厚度。该方法和双极值点算法相比较，其优点在于考虑了薄膜材料的色散对测试结果带来的影响，通过精确定位光谱曲线上的极值点阶数和选择合适的极值点，达到了很好的测量精度。     

涂层厚度对金刚石薄膜附着强度的影响

应用扫描电镜和断续车削实验法研究了涂层厚度对金刚石薄膜涂层刀具附着强度的影响。以Ｗ和ＷＣ—１．５％Ｃｏ硬质合金为基体的金刚石薄膜涂层刀具在涂层厚度不超过１０μｍ时可获得较高的附着强度。     

智能化薄膜厚度在线检测系统

本文介绍了电容测微仪和MCS—51单片机相结合构成的薄膜厚度在线检测系统。文中重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统的应用方法,简要说明单片机的组成与电容测微仪的接口。     

改进的迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度

为了测量未知折射率或不透明薄膜的厚度,借助力传感器对传统迈克尔逊干涉仪加以改进,并运用等倾干涉的原理结合抵消法设计了测量装置。薄膜被等厚的空气层所代替,通过间接测量,避开了机械螺旋空程差造成的影响,使用力传感器有效减小了挤压形变引起的误差。该装置测量范围为0.3μm～1.5mm,分辨力为0.3μm。实测数据表明,该装置具有良好的重复性和准确性。     

核辐射厚度自动测量系统

上海工业自动化仪表研究所研制成功了一种新型的核辐射厚度自动测量系统。这个测量系统主要用于生产过程自动检测冷轧钢、铜、铝等金属带及非金属带的厚度。对于冷轧钢带(板)的厚度测量范围是01～6.0毫米。测量精度是±0.005毫米或±0.5％。此仪表系统采用放射源镅—241。测量原理是根据被测物对放射源放出的低能γ射线的吸