用于注入层用途的湿法显影有机抗反射涂层

底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中。BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦?曝光宽容度的改善,提高了关键尺寸的控制,消除了反射凹口,防止远紫外抗蚀剂由基底毒化。过去,BARCs主要被用于关键图层,例如栅和接触孔图层。但是随着集成电路特征尺寸的不断缩小,BARCs在注入层中的应用中由于基片表面形态引起的反射缺口和关键尺寸变化容差也变得更小,从而使BARCs的使用变得更为迫切。我们已成功开发了专门为注入层用途的湿法显影抗反射涂层。传统的干法刻蚀不适合用于注入层,因为它的工艺复杂而且在刻蚀过程中可能导致基片损坏。评述了产生注入光刻图层的工艺并讨论了湿法显影式抗反射涂层的设计标准和要求,同时还将讨论用于注入层光刻的湿法显影抗反射图层及其工艺的挑战。     

用红外反射比度量涂层的方法

本发明提供一种用以测量金色衬底非镜面或镜面上的非散射涂层的无损方法．被测表面可以是粗糙的表面,如用化学方法处理过的表面．测量时,先将红外能量发射到一个与金属衬底表面涂层样品物理接触的积分球内。发射的红外能量一部分被涂层吸收,一部分被金属衬底表面反射,还有一部分则被金属衬底散射了．积分球对红外能量总反射比进行积分．红外探测器探测两个波段的总反射比．两个波段之一的总反射比的下降便表明涂层存在或者可以被转换成涂层的量．     

用改进型抗反射元件封装的红外探测器

美国专利US2004/0072384 (2004年4月15日公布) 为了防止探测器元件老化和受沾染物质影响,做在半导体衬底上的非致冷测辐射热计或类似探测器列阵必须被封装起来。用于封装这种探测器列阵的盖子一般可用能透红外的材料如硅制作,这样可以为探测器     

亚波长浮雕结构的红外抗反射研究

基于等效媒质理论,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究。给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法。提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念。利用离子束刻蚀工艺技术,在Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案。测试结果表明,这种表面结构像单层抗反射膜一样,具有很好的增透效果,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率,而刻蚀深度则相当于镀层的1／4波长厚度。     

影响红外反射涂层降温性能的因素

研究了影响红外反射降温涂层的影响因素,分析了涂层颜料体系的特点及提高热辐射能力的方法,提高了涂层的降温能力.     

红外光学系统冷反射分析和定量计算方法

红外光学系统冷反射指制冷型探测器看到自身的反射像,它严重影响红外光学系统的图像质量。光学系统设计中控制冷反射的强度往往与提高光学系统像质和满足边界要求之间是矛盾的。详细介绍了冷反射强度仿真分析和评估方法,提出了冷反射辐射的信号与系统噪声之比的定量计算模型。对两套红外系统的冷反射强度进行了仿真分析和实验测试。研究结果表明,冷反射强度实验测试与仿真计算结果一致,冷反射仿真分析和定量计算在光学设计中能够有效地评估冷反射强度,保证光学系统设计质量。     

高效红外反射偏振器的研究

给出了一个在低折射率透明基底上应用高折射率透明薄膜的高效、Ｐ分量抑制的Ｓ红外反射偏器的实例，对于未被抑制的Ｓ偏振分量的反射率可达Ｒｓ≥９５％，因此可以与金属基底的薄膜反射偏振器相比，并且避免了其升温而要求强迫冷却的麻烦。同时，也研究了薄膜厚度入射角及波长的微小变化（或误差）对于该种偏振器消光率的影响。     

用于红外光学窗口的多层保护膜

采用GexC1-x（碳化锗）、BP（磷化硼）和-Si（非晶硅）作为高折射率材料,DLC（类金刚石）作为低折射率材料,在ZnS（硫化锌）、GaAs（砷化镓）、Ge（锗）等常用红外光学窗口表面研制了用于长波红外（8～12 m）波段的GexC1-x/DLC、BP/DLC及-Si/DLC系列多层保护膜。通过对比试验,研究了多层红外光学窗口保护膜的光学性能、显微硬度及海洋环境适应性。结合红外窗口及膜系材料特性,对试验结果进行了分析讨论。结果表明:GexC1-x/DLC多层红外保护膜具有最佳的光学性能,BP/DLC多层红外保护膜在海洋环境下具有最佳的保护效果。     

聚氨酯基红外-激光兼容隐身涂层性能研究

以三氧化二铬包覆片状铝粉粒子(Al/Cr2O3)为填料,聚碳酸酯基水性聚氨酯为粘合剂,涂敷于玻璃片上,自然干燥制得涂层。研究了粘合剂、填料及它们的加入量对涂层红外发射率和激光反射性能的影响。采用红外发射率测量仪和可调谐CO2激光器测试涂层在8～14μm红外发射率和10.6μm激光反射性能。结果表明:使用的粘合剂较普通水性聚氨酯发射率低,固定粘合剂量,改变填料加入量,涂层在8～14μm波段发射率和10.6μm激光的反射性能都随着包覆粒子的增加而减小,当加入量达到30%时,涂层的红外发射率可以降低至0.688,激光反射能量降至初始入射能量的1%,且涂层综合物理性能良好,达到红外—激光兼容隐身的要求。     

天基空间目标红外动态辐射特性建模与仿真

提出了一种空间目标红外动态辐射特性的建模方法。目标红外辐射包括自身发射辐射和对背景的反射辐射。根据目标与背景特征建立了空间目标辐射特性的物理模型。基于表面材料属性对目标表面进行区域与面元划分,根据能量守恒定律,利用目标在宇宙空间的热平衡方程建立了空间目标自身红外辐射特性的数学模型。同时,引入双向反射分布函数模型描述目标表面面元的反射特性,将目标所有面元反射分量叠加建立了目标红外反射特性的数学模型。最后,构建目标本体坐标系,通过坐标变换确定目标、背景辐射源与探测器的相对位置关系。根据给定的轨道参数、目标几何尺寸和表面物性参数仿真获得空间目标在轨红外特性。计算结果验证了模型的有效性,为空间目标的红外探测与识别提供参考数据。     

红外涂层发射率的理论研究

通过机理研究,改进了国外现有的场和物质颗粒相互作用的理论模型,建立了计算涂层红外发射率的新理论模型,并研制出红外涂层计算机辅助设计软件,利用该软件对物质颗粒典型参数进行了数值模拟,给出了较好的结果。     

用于大相对孔径红外镜头的衍射光学元件

将衍射光学元件应用于非制冷热像仪的大相对孔径红外镜头与传统设计相比,衍射光 学元件的引入,增强了此类镜头的色差校正能力,提高了镜头的成像质量,提高了镜头的透过率,减少了光学零件的数量,减轻了系统重量,为提高非制冷热像仪的性能奠定了坚实基础。本文在色差、成像质量、系统透过率与MRTD 方面比较了不同结构镜头的性能。     

蓝宝石红外窗口抗反射浮雕结构研究

采用相应技术,在红外材料表面制成的亚波长浮雕结构能实现红外波段的减反功能.在恶劣环境中,红外窗口采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能.通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构,采用光刻及离子蚀刻方法完成蓝宝石材料表面浮雕结构制作,经测试红外透过率整体提高大约10%.经分析,浮雕结构的周期、占空比、单元深度等因素都对减反结果影响很大.     

表面涂层红外散射空间分布的实验研究

测量了几种不同配比的SiN超细粉与塑粉混合喷制板在0.94μm激光辐照下的散射比空间分布。材料比例决定其散射特性,SiN粉比例较大时,散射特性较好。研究了有刷痕方向的红外涂层在10.6μm波段下的散射分布。发现刷痕方向垂直于入射面时散射较大。分析结果表明,选择合适的涂层表面可以控制表面辐射的空间分布特性。