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采用粉末溅射的SnO2/CeO2薄膜气敏材料及元件 总被引:3,自引:0,他引:3
为改善气敏元件的性能 ,提高稳定性 ,采用粉末反溅研制了 SnO2/CeO2乙醇敏感材料 ,结果 表明灵敏度在 CeO2掺杂范围 4%- 32%、膜厚 100- 180nm时较佳 ,特征时间τ与膜厚 l遵循 τ∝ l2规律 ,研制出乙醇灵敏度 20- 80、特征时间 < 15s的微型平面旁热式 SnO2气敏元件 ;元件 灵敏度测试存在一个 4.5- 10.5V相对稳定的测试电压区间 ,且在湿度影响下显著降低. 相似文献
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非加热气敏元件气敏机理研究 总被引:3,自引:0,他引:3
研制成α-Fe2O3和CeO2非加热气敏元件,指出气敏元件的比表面积越大(可达142m^2/g),吸附的OH^-(O^2^-)越多,气敏性能越好,研究了温度与阻值变化关系以及表面吸附氧的状态与温度关系,指出了表面吸附氧主要以O^-和O^2形成存在,气敏元 件对氢等不原气体感,对CO不敏感。 相似文献
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SnO2光敏,气敏元件的性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了用常压蒸发法制备的SnO2薄膜的光敏性能和用烧结法制备的圆珠状气敏元件的气敏性能。初步探讨了其结构与机理。指出进行集光敏、气敏全一体的传感器的研究。 相似文献
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微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究 总被引:4,自引:1,他引:4
随着微结构气敏传感器的出现,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视,本比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明,用液涎生长和热氧化技术制备Sn2薄膜虽然能采用Lift-off技术成形,但由于膜中晶粒结构和Sn/O比不合适使得它的气敏响应特性很差;室温混合气氛(Ar/O2比为8:2)下射频溅射SnO2靶然 相似文献
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一、前言以往,气敏元件已用于液化石油气和城市煤气的泄漏报警仪。这是大家熟悉的。用于这些探测装置的敏感元件,其探测气体的下限浓度为 1~10ppm。近年来,正在寻求一种过去不能探测的或从未作为探测对象的、对各种气体的灵敏度都高的敏感元件。现举例如下。 1.在一般的家庭和楼房内,为了排除烟和H_2S等坏气味,以创造心情愉快而舒适的环境,需要对这些环气味成份进行 相似文献
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采用溶胶凝胶工艺,合成出纳米晶La0.7Sr0.3FeO3薄膜,薄膜为钙钛矿结构,平均粒径在40nm左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的La0.7Sr0.3FeO3纳米薄膜栅OSFET式气敏元件,并对其气敏性能进行了测试,发现器件的漏电流在乙醇气体中增大,在氨氧化物中降低。 相似文献
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微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
随着微结构气敏传感器的出现 ,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2 敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明 ,用液涎生长和热氧化技术制备的SnO2 薄膜灵敏度高、稳定性好 ,但这种方法与lift off技术不兼容 ;室温直流溅射Sn然后热氧化方法制备的SnO2 薄膜虽然能采用lift off技术成形 ,但由于膜中晶粒结构和Sn/O比不合适使得它的气敏响应特性很差 ;室温混合气氛 (Ar/O2 比为 8∶2 )下射频溅射SnO2 靶然后退火制备的SnO2 薄膜 ,不仅对有机分子十分灵敏 ,而且与微电子工艺相容。室温射频溅射是制备微结构气敏传感器敏感薄膜较理想的方法 相似文献
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在320℃时,如氧化铟锡(ITO)薄膜暴露在乙醇气氛中则其电阻急剧下降。利用直流平面磁控反应溅射的方法在约1Pa的氧与氩的混合气体中溅射铟锡合金制备了ITO薄膜。如果在ITO薄膜表面沉积一层不连续的Rt膜,薄膜对乙醇蒸汽的检测灵敏度大大提高,而且工作温度下降。本文就制备工艺对薄膜检测灵敏度的影响做了一些探讨,并且对Rt膜的作用进行了讨论。 相似文献
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铁氧化物薄膜气敏材料的制备及性能研究评述 总被引:4,自引:0,他引:4
本文综合介绍近年来在铁氧化物薄膜所敏材料制备方法、性能方面的研究新进展,探讨了各种方法的特点。提出了今后铁氧化物气敏传感器的研究及改进方向。 相似文献
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溶胶—凝胶法制备薄膜湿敏元件的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
用溶胶-凝胶法制备了R2O-Al2O3-SiO2系(R=Li,Na,K)薄膜湿敏元件,研究了它们的感湿特性,对薄膜的结构、导电机理进行了讨论,获得的湿敏元件具有响应快、滞后小和灵敏度等优点。 相似文献
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制备了SnO3/ZnO及ZnO/SnO3多层结构的气敏薄膜,用能谱结合氩离子刻蚀的方法及X射线衍射法,对薄膜的表面吸附。膜间的相互与组成等进行了研究,结果表明:薄膜表面存在少量的吸附多层膜中锌的扩散远比锡一个模型,对吸附现象作了初步的解释,讨论了造成锌锡扩散的原因。 相似文献
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本文综合介绍近年来在铁氧化物薄膜气敏材料制备方法、性能方面的研究新进展 ,探讨了各种方法的特点。提出了今后铁氧化物气敏传感器的研究及改进方向 相似文献
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采用溶胶-凝胶法制备了纳米SnO2粉末,利用X射线衍射仪(XRD)以及原子力显微镜(AFM)对材料的晶体结构及晶粒尺寸进行了表征.采用制备的纳米SnO2作为基底材料,掺杂纳米TiO2粉末(SnO2与TiO2的物质的量之比为9:1)以及少量的Ag+(物质的量百分比为0.2%~0.4%),以此材料制成气敏元件,检测了元件的甲醛气敏性能.结果表明:该元件在工作温度为300℃时,对200×10-6的甲醛具有较好的敏感性,在不同的工作温度下,元件表现出良好的气敏选择性.理论计算表明,气体分子轨道能量的差异是元件气敏选择性的定性因素. 相似文献
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