用磁悬浮真空计校准电离真空计的研究

通过对国际上新颁布的两项ISO标准以及我国检定规程的剖析,利用我院比较法真空标准装置,对磁悬浮真空计校准电离真空计的方法进行了研究,并对不确定度进行了分析.     

数字式电阻真空计

一、引言电阻真空计用作真空测量已有很长的历史了,而它的数字化产品直至1979年以后才相续问世。目前国外主要真空公司都有数字显示的产品。国内起步则稍晚。由于这种仪表传感器的非线性,曾经给数字显示带来一定困难。在计算机技术日益广泛使用的今     

中日合作生产真空计

日本《工业新闻》1983年7月11日以《日中合作的新型真空计》为题,报道了自1983年9月起将在日本出售日中合作生产的真空计。日本真空技术株式会社(社长林主税)采用中国生产的DL-8型高压强电离规管(日本称为郭氏规),生产了一种IG-KUO型真空计。该规管由中国北京真空电子器件研究所提供。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技     

石英真空计的设计

本文提出一种用特性曲线设计石英真空计的方法.实验发现,在一定的条件下,与石英晶振串接的电阻尺上的电压UBC与气体压强P有一定的函数关系.这个电压UBC经过放大、检波与调节后的读数V与气体压强P的关系V-P曲线称特性曲线.实验证明该曲线具有很好的稳定性和重复性.用该曲线可以测量气体压强.     

常用真空计的改制方案

在我国仍采用托、毫米汞柱为单位的真空仪表就有十万余台，按照国家计量法的规定，这些仪表到 一九九○年就不能使用了，为使这些仪表不致报废，本文为常用其空计提出了一个简单易行的改制方 案，并以 ＷＺＫ、ＳＧ—３、ＦＺＨ型真空计为例， 论述了改制方策的可行性和具体措施。与电离规 ＺＪ—２、 热偶规ＺＪ—５１配套的复合真空计，电离计部分通过改变放大器的增益；热偶计部分换上块Ｐａ刻度盘 则可达到改制的目的。建议借改制之机，推广使用稳定型热偶真空规：ＺＪ－５１Ｂ，ＺＪ—５１Ｃ。     

石英晶体真空计简介

引言 一九七七年七月二日至八日,在浙江省瑞安县召开了一机部真空检测仪表与装置第二次行业会议。会议通过的行业十年发展规划中,有一个项目是“新型粗低真空计的研制”,规定要“各种无液、工业大量使用的新型粗低真空量具《包括振膜式、晶体式及其他新方法)的研究和试制”。并且,会议在决定积极开展极高真空测量方法研究的同时,充分肯定了粗低真空测量研究的意义。 在粗低真空测量的领域中,振膜式真空计的出现是一个突出的事件。它是一种比较理想的相对量具,无疑应该大力发展。但是,这种量具的规管很难做,线路亦较复杂,生产成本高,规管成品…     

电离真空计的误差分析

本从影响电离真空计示值误差的7个方面，推导出电离真空计“误差 函数”y=f(x)和其表达式，并着重强调了误差函数的“与门”特性，进一步讨论了电离真空计误差函数f(x)中，自变量因子影响函数的方式和计算思路。     

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100～10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管…     

标准麦氏真空计的改进

一、引言标准麦氏真空计(又称压缩式真空计)有两项主要误差源,即汞蒸汽流效应和毛细管压低波动。汞蒸汽流效应并不是麦氏计本身固有的,而是由于真空系统存在冷阱,汞蒸汽被它不断捕集形成定向流,造成扩散抽气的效应。毛细压低波动则除麦氏计的毛细管和汞的一些内在因素外,很大程度与操作有关。1977年我们新建了一台标准麦氏计,对减小这方面误差做了一些工作,取得了较满意的结果。     

石英真空计的工作原理

本文介绍石英真空计的原理及石英晶振的特性.     

电容式薄膜真空计的研制

本文介绍了这种传感器的特点,测量原理。叙述了所研制的传感器的形式、结构、材料以及使用情况。一、前言在粗、低真空测量中,通常使用水银(或油)的U型管、弹簧管真空表、热偶真空计、电阻式真空计。这些真空计工作原理简单,操作方便,得到广泛的使用。但这些真空计的测     

薄膜电阻真空计的研制

薄膜电阻真空计的测量范围为1托～1000托,线性测量,测量精度优于5％,为全压强测量,测量值受被测气体种类影响较小。一、引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻,组成惠斯登电桥。硅膜片在不受力时,电桥处于平衡状态,电桥没有电压输出。硅膜片受到压力时,由于压阻效应,电桥处     

热阴极电离真空计的误差

电离真空计规管及其控制单元。都有各自的各项误差。本文讨论作为电离计整体的误差与各项误差的关系。 电离计的压强读数可用下述公式表达;式中:i+──为收集极离子流; i──为发射电流; k──为规管系数. 白误差传递公式(1)可得到压强的示值 (相对)误差Ep的表达式: E2=E2H+E2I+E2i-(2)式中Ek、Ei+和Ei-分别为规管系数,离子流和发射电流的相对误差。下面分别讨论这三项误差。 1.规管系数的误差 规管测量的对象往往含有氧气、水蒸汽或其它污染性气体,电极及玻壳往往受到氧化或污染。这样规管系数在寿命过程中会逐渐变化。使用后的规管比…     

便携式真空计校准装置

为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准.为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法.实验结果证实该装置的校准范围可达1×105～4× 10-6 Pa,合成标准不确定度为1.3％ ～4.7％.装置的外形尺寸为450 mm× 400 mm×750 mm,总重量小于40kg.总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点.     

石英真空计及其应用

石英真空计测量范围是10~(-1)Pa-10~5Pa。石英真空计的优点是传感器体积小,耗电功率小,精度较高,量程较宽,因而它将会有广泛的应用。     

SZH系列数字真空计

研制成功了ＳＺＨ系列数字真空计．描述了它们的新颖性和独创性、基本工作原理 和主要实验结果。