共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
10.
11.
本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成。在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通过测量传感元件两端的差压,计算质量流量,可以得到真空腔体的整体漏率。实验中对多个真空腔体漏率的测量结果表明,该方法可以实现对10-5-10-3 Pa·m3/s量级真空腔体漏率的准确测量。除去本底漏率之后,测量结果与理论结果高度拟合,测量结果显示最小偏差为0.05%,最大仅为0.62%。且通过改变分子流传感元件流导值和差压变送器量程可以进一步扩展该方法可测真空腔体整体漏率范围。 相似文献
12.
兰州空间技术物理研究所副所长李得天研究员所著的《真空计量新技术》一书由机械工业出版社出版发行。李得天研究员长期从事真空计量技术的研究,是国内知名的真空计量专家,先后发表学术论文140余篇,编著及合作出版著作4部,获国家发明专利20余项,其中2项发明专利获中国专利优秀奖,获省部级以 相似文献
13.
14.
由兰州空间技术物理研究所副所长李得天研究员所著的《真空计量新技术》一书即将由机械工业出版社出版发行。李得天研究员长期从事真空计量技术的研究,是国内知名的真空计量专家,先后发表学术论文140余篇,编著及合作出版著作4部,获国家发明专利20余项,其中2项发明专利获中国专利优秀奖,获省 相似文献
15.
16.
目的 对新型流体储运装备真空测量装置的设计和试验进行系统研究,解决传统装置存在的量程不足、残留气体内漏等问题,验证装置漏率在环境试验中的变化,同时开展批量安装及真空测量应用。方法 运用FEM对新型真空测量装置的受力进行分析;采用氦质谱仪泄漏检测技术对环境试验前后的新型真空测量装置以及传统样品的漏率进行对比测试。结果 新型真空测量装置的初始漏率达到10-10Pa·m3/s;经过环境试验后新型真空测量装置的漏率未发生明显变化,传统装置的漏率在环境试验后明显上升。结论 新型真空测量装置所采用的热电偶&热阴极复合真空规,实现了流体储运装备夹层的真空度全量程测量,并满足易燃介质储运过程中的电气防爆要求。所增加的补抽真空结构可以有效防止真空测量装置的残留气体内漏。所采用的“CF法兰+无氧铜”密封结构具有很好环境适应性和较低的真空泄漏风险,同时也首次通过试验验证了真空测量装置的漏率在环境试验过程中的变化。 相似文献
17.
18.
正2018年5月11日-5月13日,ISO 21360-1标准转化工作组第一次工作会议在浙江台州召开。本次会议由全国真空技术标准化技术委员会(简称真空标委会)主办,浙江真空设备集团有限公司(项目牵头单位)承办。来自与真空技术制造、测量、检测领域相关的科研院所、企业、高校的30余位专家和代表参加了会议。会议由真空标委会副主任委员工作组组长中国航天科技集团第五研究院第五一誘研究所研究员李得天主持。 相似文献
19.
20.
固定流导法真空漏孔校准装置 总被引:2,自引:2,他引:2
为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s~10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。 相似文献