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真空度是真空热处理过程中的重要技术参数之一,其变化情况直接关系到被处理工 件的质量。如何提高真空测量的精度、控制的可靠性以及真空系统工作过程的自动化程 度,是人们十分关心的问题。本文介绍一个使用数字技术与微型计算机技术的真空测量 与控制装置,它具有真空系统程序控制、多点真空度巡回测量、量程自动切换、充气过 程自动调节、现场数据打印记录、越限报警等功能.文中讨论了该装置的结构、工作原 理、性能及特点,给出了微机系统和充气调节器的电原理方块图、程序设计流程图。 相似文献
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在动态真空系统中,气体状态具有非均匀性及各向异性,此时若仍用压力等平衡态概念来描述气体状态,显然是不准确的。根据视角系数法的基本理论和计算结果,定义了真空系统中抽气性能评价多数,以及空间环模设备模拟宇宙空间分子沉的能力评价参数.通过对同心球系统中分子流场的具体分析,闸述了两个参数的物理意义。并用两个实例对α和β参数的应用作了更进一步的说明。 相似文献
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工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响, 利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验, 从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响, 并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大, 流速越大。当压强、间距越大, 流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强 (p) >进气量 (Q) >温度 (T) >间距 (G) 。 相似文献
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徐国良 《真空科学与技术学报》1981,(1)
在空间科学技术、高能粒子、受控热核反应和高速风洞等尖端科学技术研究中,出现了特殊环境下的真空度测量,尤其对非稳定气流和非均匀气流的压强测量,提出了一些新的要求和探测中的特殊问题。较为关心的问题之一,是真空计的响应速度,一般要求具有快速响应特性。但是,要求真空计具有快速反应只是问题的一个方面,而实际上有些真空计如热丝、热电偶和热电堆等热传导真空计,其本身固有一定的热惯性。由于它们具有结构简单、体积和功耗小等特点,常被用来测量非稳定气流的压强。这就要求不但测 相似文献
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本文简述了封闭真空系统压强升高率的特性。并将它应用于判断大型真空系统出气与漏气的情况上。 1.引言 在一个封闭真空系统中(即抽气泵工作一段时间后,将它与真空系统隔离,这时的系统称为封闭真空系统),其内部压强受到系统漏气和内表面出气的联合作用而不断升高,压强升高率随着真空系统的不同情况而表现出不同的特性。根据这种特性可以区分什么因素是妨碍真空系统真空度进一步提高的关键,在多数情况下,都可以得到系统总漏量或出气量。这对大型真空系统的运行是很有意义的。因为在现代大型真空工程中,全面检漏一次要花许多天。另方面对于大… 相似文献
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空气静压主轴的动态特性对机床加工精度影响很大,需要对主轴气膜的压强分布进行分析计算,从而分析其动态特性.通过对主轴在轴套内不同姿态时气膜压强分布采用无因次化压力膜雷诺润滑方程法进行有限元计算,得出不同姿态对应的坐标系各轴向的轴承反力以及反力矩,并探讨工作区间的主轴刚度以及角刚度的近似值,建立主轴力学方程分析主轴重心运动轨迹;引入旋转欧拉方程研究主轴轴线偏转状态,讨论主轴不同几何参数时轴线稳定性;提出通过提高主轴径向主惯性张量与轴向主惯性张量比值(采用径厚比大的盘形主轴结构)的方法提高机床的加工精度.可以为主轴结构设计提供理论指导,并为求解主轴刀具运动轨迹提供方法. 相似文献
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多级冲击器压强分布计算及实验验证 总被引:2,自引:1,他引:2
本文以SPAL型多级冲击器为例,给出了冲击器各级压强分布的理论计算方法,设计加工了压强测试装置,测量了多级冲击器在不同工作条件各级实际压强,并与理论计算值进行对比分析。 相似文献
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应用真空系统的静态压强与时间的P-T曲线,可以诊断出真空系统存在的问题,漏气,放气和蒸汽源,这为真空设备的调试和运行提供了简便和实用的诊断手段。 相似文献
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首先用化学气相沉积法制备了ZnO纳米线阵列,然后在此基础上制作了真空压强传感器。测试了基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器敏感特性,并与基于ZnO纳米带膜的传感器敏感特性做了比较,发现前者比后者敏感特性更好,相比传统的真空传感器,具有测量范围宽、灵敏度高和功耗低等优点。这主要是由于ZnO纳米线阵列具有较大的比表面积及氧吸附与解吸附等原因引起。 相似文献
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真空蒸镀时镀膜室内的环境压强如何选择才合适,这是获得优良薄膜的重要前提。本文简要论述压强Pr与工件相对蒸发源距离L间的关系,从而确定蒸发镀膜时所需的起始压强大小。 相似文献
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对风洞中弹性圆柱腔壳的流激振动及声进行了研究。对腔口流体自持振荡和腔内声振荡的压力及壳的振动加速度作了测量和谱分析,并对三者之间的相互影响进行了综合研究。研究结果表明,一般情况下,流体自持振荡对腔壳振动影响不大,但是,当自持振荡与腔内驻声发生耦合并形成共振时,对壳体的振动可产生重要的影响。此外,文中还给出了流激壳体各阶模振动的加速度均方根随流速的变化曲线。均方根值随流速大约是2.4次方线性关系。但 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(10)
上海光源软X射线自由电子激光器光束线主要用于X射线的传输与诊断,为了减少光子吸收,其传输环境须为无窗洁净的超高真空系统。气体通量衰减器和气体探测器是光束线诊断区域的关键设备,二者均需要充入一定量的气体,且工作精度依赖于气体压强的稳定度。文中介绍了一种具有压强反馈调节功能的多级真空差分系统直接过渡至其他超高真空设备,可在2.5 m内实现7个量级以上的差分比。 相似文献