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本文叙述了 Ar 气或 Ar+O_2混合气中直流辉光放电清洗不锈钢表面。四极质谱计分析表明,去除了表面上的碳氢化合物和其它杂质气体,同时经过溅射刻蚀减少了表面粗糙度,也减小了解吸面积;同时用 X 射线微探针分析证明,基体合金组分没有发生变化。 相似文献
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实验证实了氢中直流辉光放电与室壁中等温度烘烤对清除真空容器表面碳的良好效果,对除去表面氧也有一定效果。探索了放电电流、气压、表面状况等各种因素对结果的影响。讨论了辉光放电时表面发生的解吸(物理的、化学的)与吸附等过程。 相似文献
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辉光放电清洗技术是一种用来改善膜层附着力的物理清洗方法。它是将基片浸没在含有化学活性气体辉光放电的等离子体中,使基片表面受到电子、离子和光子以及活性粒子的轰击、活化,从而达到清洗的目的。对于光学镀膜来说,目前大部分真空镀膜设备上的放电电极的安排是很不合理的。为此,重新设计并改进了辉光放电装置,通过放电清洗参数对清洗效果的实验研究,获得了最佳清洗工艺。经此工艺处理过的基片制备的光学太阳反射镜用胶带纸剥离法来检验膜层的附着力,结果表明,这种方法大大提高了膜层的附着力,其性能已完全能满足光学太阳反射镜在空间的使用要求。采用辉光放电清洗基片的光学太阳反射镜,其光学性能会受到少许影响。实验表明,它可使光学太阳反射镜的太阳吸收率增大0.002(石英玻璃型)和0.004(掺铈玻璃型)。为此,我们对因光学太阳反射镜光学性能改变而引起的卫星热控温升作了估算,对于石英玻璃型和掺铈玻璃型光学太阳反射镜这一温升仅分别为1.0℃～1.5℃和1.7℃～2.7℃。 相似文献
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为研究壁表面离子流分布均匀性,设计高效率中国聚变工程实验堆辉光放电清洗(GDC)装置,采用流体模型对氦气辉光放电清洗进行等效二维模拟。阳极区域存在较强的局部电离,使得靠近阳极的第一壁受到更强烈的离子轰击;增加阳极电流该区域离子流密度显著增加,而放电清洗的均匀性并无提高;适当降低放电气压放电不均匀性得到较大改善;内壁电流密度略大于外壁电流密度,而电极径向位置对内外壁电流密度分布影响甚微。分析了阳极电流与电极数目的合理取值,给出了合适的放电气压范围。 相似文献
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