共查询到20条相似文献,搜索用时 296 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
6.
PTCR热敏电阻器电极浆料烧成工艺 总被引:2,自引:2,他引:0
对SD1140型欧姆银浆、SD1141型表层银浆、SD1142型铝电极浆料进行了工艺实验,确定了烧成工艺的最佳参数,如:烧成膜厚、升温时间、保温时间、烧成温度。 相似文献
7.
8.
使用不添加任何助焊剂的铜膏,获得了高烧结性能的Cu-Cu互连接头。使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和热重分析仪对粒径分别为(20±10) nm、(80±20) nm和(100±20) nm的纳米铜颗粒进行分析表征。选择粒径为(80±20) nm的纳米铜颗粒和松油醇混合配成纳米铜膏,用于互连接头的烧结性能研究。探究了不同的烧结温度、保温时间、升温速率和烧结压力对互连接头的剪切强度和失效面微观形貌的影响,得出了最佳的工艺参数。在升温速率为0.1℃/s、保温时间为30 min、烧结温度为260℃和无压条件下烧结,互连接头的剪切强度达到了5.0 MPa。在同样的升温速率和保温时间、烧结温度为300℃、压力为5 MPa的条件下烧结,互连接头的剪切强度达到了33.3 MPa。Cu-Cu互连接头能够满足功率半导体器件的互连应用要求。 相似文献
9.
10.
11.
Ni/Ag/Ti/Au金属系反射镜电极广泛用于GaN基垂直结构发光二极管(LED)的传统制造工艺.这种电极需要进行高温长时间整体退火才能获得高质量的欧姆接触,但对电极的反射率和器件性能影响较大.介绍了一种新工艺方法,该方法将电极分解为接触层和反射层,降低反射层经历的退火温度和时间,获得了拥有良好的欧姆接触特性和高反射率的反射镜电极,解决了传统电极光学性能和电学性能相互制约的问题.首先生长极薄的Ni/Ag作为接触层,对接触层进行高温长时间退火后再生长厚层Ag作为反射层,之后再进行一次低温退火.使得对反射起主要作用的反射层免于高温长时间退火,相较于传统Ni/Ag/Ti/Au电极,该方法在获得更优良的欧姆接触的同时,提升了电极的反射率.在氧气氛围下进行500℃接触层退火3 min,400℃整体退火1 min后,电极的比接触电阻率为1.7×l0-3Ω·cm2,同时在450 nm处反射率为93%. 相似文献
12.
采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获得了较低的比接触电阻率(5.67×10-5Ω.cm2)。研究证实,Ti接触层厚度对欧姆接触特性有着重要影响,同时发现,高低温两步退火方式之所以能够改善欧姆接触特性的本质是与Al3Ti及TiN各自的生成条件直接相关,即低温利于生成Al3Ti,高温利于生成TiN,而这对n型欧姆接触的有效形成至关重要。 相似文献
13.
研究了p型GaN上Pd/NiO/Al/Ni反射电极欧姆接触的比接触电阻率、热稳定性,以及光学反射率。与传统Pd/Al/Ni电极相比,Pd/NiO/Al/Ni电极的欧姆接触在氮气环境中经300℃下热处理10min后,仍保持低比接触电阻率(小于5×10-4Ω·cm2)和高反射率(大于80%@365nm)。研究获得的优化Pd/NiO层厚度为1nm/2nm,此时的Pd/NiO/Al/Ni反射电极既能形成良好的欧姆接触,拥有低比接触电阻率,又能减少对紫外光的吸收,保持高反射率。研究表明适当的NiO层厚度能够有效地防止热处理过程中上层Al金属向p-GaN表面层的渗入,对于制备高质量的Al基反射电极至关重要。 相似文献
14.
研究了电极的烧结温度、保温时间对其性能的影响。对电极的焊接性能做了大量实验研究,指出了铜、银电极在焊接方面表现出性能差异的主要原因在于银电极与基片之间形成的是非欧姆接触,而铜电极则形成了欧姆接触。同时分析了银电极形成非欧姆接触的原因,并提出了解决办法。 相似文献
15.
16.
研究了源漏整体刻蚀欧姆接触结构对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的欧姆接触电阻和金属电极表面形貌的影响.利用传输线模型(TLM)对样品的电学性能进行测试,使用原子力显微镜(AFM)对样品的表面形貌进行表征,通过透射电子显微镜(TEM)和X射线能谱仪(EDS)对样品的剖面微结构和界面反应进行表征与分析.实验结果显示,采用Ti/Al/Ni/Au(20 nm/120 nm/45 nm/55 nm)金属和源漏整体刻蚀欧姆接触结构,在合金温度870 c℃,升温20 s,退火50 s条件下,欧姆接触电阻最低为0.13 Ω·mm,方块电阻为363.14 Ω/□,比接触电阻率为4.54×10-7Ω·cm2,形成了良好的欧姆接触,降低了器件的导通电阻. 相似文献
17.
Xin Gu Xuegong Yu Jinglin Xu Ruixin Fan Deren Yang 《Progress in Photovoltaics: Research and Applications》2013,21(4):456-461
Using thinner wafers can largely reduce the cost of silicon solar cells. One obstacle of using thinner wafers is that few methods can provide good dopant concentration for the back surface field (BSF) and good ohmic contact while generated only in low bowing. In this paper, we have demonstrated the screening–printing B and Al (B/Al) mixture metallization film technique, making use of the screen‐printing technique and the higher solubility of B in silicon to form a B/Al‐BSF. This technique can raise the carrier concentration in the BSF by more than one order of magnitude and reduce the back surface recombination at a low firing temperature (≤800 °C). We have also shown that through the new technique, the metallization paste thickness at the rear could be reduced largely, which however did not degrade the solar cell efficiency. All these efforts are aiming for pushing forward the application of thinner wafers. Copyright © 2011 John Wiley & Sons, Ltd. 相似文献
18.
《Electron Devices, IEEE Transactions on》1984,31(5):602-609
The use of an integral printing technique for the fabrication of silicon solar cells is attractive due to its throughput rate, materials utilization, and modular, automatable design. The transfer of this technology from single crystal to semicrystalline silicon requires a significant amount of process optimization. Processing parameters found to be critical include the optimum glass frit content in the silver-based inks, the silver ink firing temperature, and the formation of the back-surface field using screen-printed aluminum layers. Open-circuit voltages as high as 617 mV have been achieved using a novel BSF approach on 4-in wafers. Important mechanisms controlling ink contact resistance, ink sheet resistivity, and ohmic contact on and silicon materials are discussed in this paper. The solar cell stability is a function of the glass frit and the firing temperature of the silver-based inks. Finally, a simple economic analysis, based on the IPEG technique, indicates that screen printing is a cost-effective option when the cell manufacturing is done on a large scale. 相似文献
19.
银铝锡欧姆接触易焊电极浆料的研制 总被引:2,自引:0,他引:2
采用还原性强的贱金属铝和锡与贵金属银按一定的配比组合,选乙基纤维素-松油醇体系有机载体,硼硅铅易熔玻璃体及微量氧化物组成混合电极。在480~700℃温度范围,能与PTCR钛酸钡陶瓷形成良好的欧姆接触,最佳烧成温度为520~550℃,电极与瓷体附着良好,容易焊接,可实现PTCR陶瓷电极一次涂覆,克服了复合电极成本高,工艺复杂等缺点。 相似文献
20.
为开发大尺寸场发射显示器需要的能承受高温热处理的薄膜电极,以Al作为Ag层的保护层和与玻璃衬底的粘附层,采用直流磁控溅射制备了Al/Ag/Al复合薄膜及其电极.采用XRD、AFM、光学显微镜和电性能测试系统,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响.由于表面致密的Al2O3膜的保护,使得加热退火(<600℃)不会对Al/Ag/Al薄膜和电极造成明显的氧化,然而Al层与Ag层发生的界面扩散和固相反应增大了电极的电阻率(从5.0×10~(-8) Ω·m 上升至23.6×10~(-8) Ω·m).另外热处理温度足够高时(500℃、600℃),Ag原子向表面的扩散一定程度上降低了电极的化学稳定性.尽管如此,与Cr/Cu/Cr薄膜电极相比Al/Ag/Al薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极. 相似文献