压电油料调节阀

一、前言 高性能压电陶瓷的使用价值促进了压电致动器的发展。本文将介绍这种压电陶瓷在油料调节阀方面的应用。这里压电陶瓷简写为PXE,它与绝缘陶瓷有相似的特性,而且可以制成各种形状。在PXE致动器的结构中,把PXE薄园片叠在一起形成一个PXE棒,加上几百伏电压就产生10微米级的轴向伸长,这可以用来驱动一个流量调节阀。这种阀的优点是:响应快,一般小于100微秒,而且机械强度高。在其他文献中已经介绍了PXE早期工作。此后研制出了要求流量温度变化小及低油压的流量阀。这种新型阀还采用了伸长量大的材料PXE52做PXE棒。     

微小型高压力流体电磁控制阀

用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理 ,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成 ,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化 ,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为 0～5atm ,阀的驱动响应时间小于 5ms,流量控制分辨率达到 9μL/ pulse ,无泄露     

微小型高压力流体电磁控制阀

用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为0～5atm,阀的驱动响应时间小于5ms,流量控制分辨率达到9μL／pulse,无泄露。     

微小型高压力流体电磁控制阀

用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能.本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件.该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化,外置致动器的设计具有较大灵活性.初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性.实验测试其工作压力范围为 0～5atm,阀的驱动响应时间小于5ms,流量控制分辨率达到 9μL/pulse,无泄露.     

基于MEMS工艺的电热致动器研究进展

基于MEMS工艺的电热致动器具有与集成电路兼容的驱动电压、大的致动位移和致动力,比静电致动器、压电致动器和磁致动器有更大的优势,是现阶段致动方式的研究热点.高精度、高可靠度、可控和稳定性好的电热致动器是未来研究的新方向.针对MEMS微加工工艺制作的固体材料电热致动器,综述了电热致动器的结构形式、典型应用、模型建立以及测试方法的研究现状和主要研究成果.对电热致动器的结构设计、建模分析和测试技术方面的关键技术和存在的主要问题进行了分析和展望,以期为基于MEMS工艺的电热致动器的设计、分析和测试提供借鉴和参考.     

磁致伸缩棒驱动的双向电静液作动器

该文设计了一种由磁致伸缩材料驱动的电静液作动器,通过主动配流阀的整流作用,实现了作动器内部油液的单向流动,并通过改变驱动电流的相位角,实现了作动器的双向运动及连续可控流量的输出。通过MATLAB/Simulilnk对作动器系统进行数学建模,分析了相位角与作动器输出流量的关系。最后搭建作动器性能测试平台,通过改变驱动电流的相位角,测量作动器的双向输出位移,并得到不同驱动频率下的作动器输出流量,实验结果表明,在系统偏压为0.6 MPa,驱动频率为120 Hz时作动器的最大无负载输出流量为1.28 L/min。     

新致动器在实践中的应用

新致动器在今天的微系统工程中占有中坚的地位,它被当作“微电子学系统的肌肉”,它将电能转化为机械能,并对技术处理过程起到开关、控制或调节的作用。传感器技术由于采用了现代化的半导体工艺而显得功能稳定,价格便宜;而致动器则不同,它还没有充分利用系统集成的优点。为使中小     

各种新工艺将进行比较

各种新工艺将进行比较 1994年6月15日至17日在德国的不来梅台开ACTUATOR94会议(第四届国际新致动器会议)。 致动器—形象地被称为“微电子学系统的肌肉”—能够控制、开关的调节技术过程,为此,它将电能转换为机械功。除了一般以电磁方式发挥功能的致动器外,目前提供使用的还有新式用新材料制     

电致伸缩陶瓷致动器及其应用

本文叙述了电致伸缩效应、材料及器件结构原理.重点介绍了致动器近年来在精密机械、大规模集成电路设备、光通讯控制等方面越精定位技术上的应用.预计在今后的微电机时代,电致伸缩致动器将是亚微米超精定位技术的关键部件.     

基于1×2阵列压电悬臂梁的AFM并行扫描

分析了阵列悬臂探针并行扫描的工作方式,以非接触磁力模拟样品与悬臂梁间的范德华力,研究了1×2阵列压电悬臂梁的并行扫描和驱动控制方法。每一压电梁均集成了微位移致动器和力传感器,在320Hz一阶共振频率下振动。实验表明:在0.2～1.0mm力作用区内,压电梁自由端每接近模拟样品0.1mm,表征悬臂梁振幅的锁相放大器输出电压减小1.7mV,但微力传感在扫描的升回程存在迟滞;致动器的控制电压每增加10V使锁相放大器输出减小约3mV,表明集成的致动器可调节压电梁与样品间的间距。两压电梁的电荷-位移响应曲线、间距调节灵敏度均不完全一致,讨论了阵列悬臂梁一致性问题和阵列规模大小问题。     

基于压电致动的微流体主动控制阀的研究

介绍了一种采用圆盘形压电振子作为致动元件的微流体主动控制阀。通过圆盘形压电振子的变形改变其与圆环面边界间的过流间隙以实现微流体主动控制阀的开启、关闭及其程度,并建立了微流体主动控制阀的流量控制模型。在此基础上,对作用于圆盘形压电振子上的控制电压和进出口压差对微流体主动控制阀流量的控制特性进行了仿真与分析。研究结果表明,通过改变作用于压电振子上的控制电压可实现阀流量的连续控制,通过改变微流体主动控制阀的进出口压差也可在一定程度上控制阀流量。     

非晶型金属在微技术中的应用

非晶型金属有很好的软磁特性,有高的硬度和强度.主要用作50kHz频率的磁心,或用作磁头材料.由于这种材料有较高的强 度和良好的磁弹性特点,也可应用在传感器技术和致动器技术方面.下面介绍一种非晶金属制成的用于微米范围的磁致伸缩的致动     

压电陶瓷超声波电机

一、前言 FA(工厂自动化)、机器人和精密定位等自动化系统的发展,除了由于计算机、传感器和信息传输手段的开发之外,还与致动器性能的提高有很大关系。 产业用的致动器一般是使用电磁式电机和油压空压致动器。1962年最早开发的产业机器人用致动器是一种电气油压伺服方式。但在油压伺服系统中不仅要有很多昂贵的油压动力装置用作油压源,而且会因漏油而造成污染。加之,自1973年发生石油冲击之后,产业界出现了采用不用油的伺服系统的倾向,伺服电动机已成为机器人致动器的主     

科技简讯

柴油发动机有较高的热效率,而且耗油量较低.装有直接喷油系统的柴油发动机耗油量特别低.一般的喷油系统用弹力存储器作为驱动机构,或用阀门系统作驱动.但在这种情况,阀针上的开孔截面以及喷油量不能直接控制,也不能即时地从外部控制.这时,利用有效的柴油机喷油技术,即以压电或磁致伸缩的固体致动器为基础的装置,可明显改善.     

压电叠堆电静液作动器Simscape模型与实验研究

将海德福斯螺纹插装换向阀集成到压电叠堆电静液作动器中,形成一体化集成式双向运动的压电叠堆电静液作动器。基于压电叠堆电静液作动器的物理系统,采用Simscape搭建压电叠堆电静液作动器系统模型。对比了在不同蓄能器偏压、不同电压峰值条件作用下,压电叠堆电静液作动器的实验输出流量与仿真输出流量;以及换向阀换向周期为4s时,压电叠堆电静液作动器的实验输出位移与仿真输出位移,验证了搭建的Simscape模型的准确性。在系统模型得到验证的基础上,分析发现阀片的回流现象是造成压电叠堆电静液作动器在高频驱动时输出流量衰减的原因。     

老年人健康信息管理系统的开发与应用

从电路模型上分析多路复用技术在压电微变形镜控制中的驱动特性,设计了基于双MOSFET开关的驱动电路,并对致动器的电压保持能力和抗干扰能力做了测试.实验和分析表明,一个高压运放驱动25个压电陶瓷(PZT)致动器时,工作频率可达400 Hz,致动器的变形控制精度在2%左右.与传统控制方法相比,该方法具有低功耗、低成本的优点,适用于自适应光学系统中多通道压电微变形镜的控制.     

扭转微镜光学致动器研究

应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术研制了新型扭转微镜光学致动器 ,实现了致动器结构与具有光纤自固定、自对准功能的新型光纤定位保持结构的单片集成。新型扭转微镜光学致动器的机电和光学特性研究表明 ,其工作寿命超过 10 8次动作 ,最小动作时间估计可低于2ms ,存在驱动微镜自然地翻转 90°角的静电阈值电压和维持微镜处于已翻转 90°角状态的静电最低保持电压 ;其微镜的表面粗糙度及其分布基本满足光的波分复用技术等的应用要求。新型扭转微镜光学致动器可在光纤网络中作为光开关或可变光衰减器使用。设计、制作及研究了由新型扭转微镜光学致动器组成的 2× 2光开关阵列     

超声乳化联合人工晶体植入术治疗外伤性白内障

针对传统压电致动器具有制造困难、易碎、效率低等缺点,该文结合压电智能材料发展的最新趋势,使用由美国航空航天局兰利研究中心(LaRC)研发的新型压电智能材料--条状压电复合纤维(MFC)作为致动器,以柔性悬臂梁为控制对象,研究了振动主动控制问题.结合LaRC-MFC致动器的研究现状,该文以实验测量所设定的驱动电压对应的压电智能梁的位移数据作为基础,通过数值插值算法分析了致动器与悬臂梁的耦合关系;并采用正位反馈控制(PPF)策略对这种新型的控制结构进行了试验研究.实验结果表明,条状压电复合纤维具有良好的致动效能;采用提出的振动主动控制结构,抑振效果明显.     

扭转微镜光学致动器研究

应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术研制了新型扭转微镜光学致动器,实现了致动器结构与具有光纤自固定、自对准功能的新型光纤定位保持结构的单片集成.新型扭转微镜光学致动器的机电和光学特性研究表明,其工作寿命超过108次动作,最小动作时间估计可低于2ms,存在驱动微镜自然地翻转90°角的静电阈值电压和维持微镜处于已翻转90°角状态的静电最低保持电压;其微镜的表面粗糙度及其分布基本满足光的波分复用技术等的应用要求.新型扭转微镜光学致动器可在光纤网络中作为光开关或可变光衰减器使用.设计、制作及研究了由新型扭转微镜光学致动器组成的2×2光开关阵列.     

微特电机

Y2000-62004-657 0007353超声悬浮、致动器与电机=Ultrasonic levitation,actua-tors and motors[会,英]//Proceedings of 1998 IEEE Ul-trasonics Symposium,Vol.1.—657～706(Z)本部分共收入有关超声悬浮理论、致动器与电动机方面的论文共12篇主要讨论了采用交叉声束产生的驻波场对粒子位置的控制,采用近场声悬浮的超声致动器,超声微电机的制造,超声线性电机,声表面波线性电机,复合压电电机,电机转子与定子,电机材料以及混合换能器超声电机的最佳设计等内容。