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《半导体光子学与技术》1997,(3)
ElectronMobilityofDopedStrainedSi1-xGexAloysGrownonSi(100)Substrate①②LIBaojun,LIGuozheng,LIUEnke(DepartmentofMicroelectronics... 相似文献
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《半导体光子学与技术》1997,(3)
NovelMultimodeInterferenceOpticalFiltersinGeSi/Siforλ=1.3μmand1.55μm①②LIBaojun,LIGuozheng,LIUEnke(DepartmentofMicroelectronic... 相似文献
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B-implantationandAnnealingforSiGeEpilayers①②JIANGRL,LIUWP,JIANGN,ZHUSM,HULH,ZHENGYD(Dept.ofPhysics,NanjingUniversity,Nanjing2... 相似文献
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本文用透射电镜(XTEM)和二次离子质谱(SIMS)分析了由超高真空化学气相淀积法(UHVCVD)生长的n-Si/i-p+-iSiGe/n-Si结构,发现在硅上外延生长i-p+-iSiGe时,在靠近Si的i/p+SiGe界面处存在一个很薄的层,但在i-p+-iSiGe上外延生长Si时,无此现象产生.此薄层是由在硅上外延生长i-p+-iSiGe时硼原子聚集在靠近Si的i/p+SiGe界面处形成的高掺杂薄层.高掺杂的薄层影响由此结构制备的异质结双极晶体管(HBT)的BC结的正向导通电压. 相似文献
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用GexSi1-x/Si亚稳材料在高温下制作了光波导,它的传输损耗为0.8dB/cm,比低温工艺的0.5dB/cm稍大。并发现GexSi1-x/Si材料的大量失配位错的一些有趣的现象。 相似文献
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用GexSi1-x/Si亚稳材料在高温下制作了光波导,它的传输损耗为0.8dB/cm,比低温工艺的0.5dB/cm稍大。并发现GexSi1-x/Si材料的大量失配位错和一些有趣的现象。 相似文献
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激光制备多层薄膜及铁电性能的研究 总被引:3,自引:2,他引:1
利用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法,在Si基片上制备了BIT/Si〔100〕、PZT/BIT/Si〔100〕和BIT/PZT/BIT/Si〔100〕铁电薄膜。用XRD分析了多层铁电薄膜的晶相结构;用Sawyer-Tower电路研究了这些单层和多层铁电薄膜的铁电性能。结果表明,单层BIT的矫顽场Ec为4kV/cm,剩余极化强度为3.4μC/cm2;PZT/BIT的矫顽场Ec为82kV/cm,剩余极化强度Pr为36μC/cm2;BIT/PZT/BIT夹层铁电薄膜的矫顽场Ec为57kV/cm,剩余极化强度Pr为29μC/cm2。最后讨论了薄膜的铁电性能与多层结构的关系 相似文献
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用GSMBE技术在国内首次研究了应变Si1-x Gex/Si异质结材料的生长,并用X射线双晶线双晶衍射技术对样品进行了测试分析,对于Si0.91Ge0.09和Si0.86Ge0.14单层,其半宽度FWHM分别为100〃和202〃,对于Si0.89Ge0.11/Si多量子阱,其卫星峰多达15个以上,三种样品中的GeSi外延层干涉条纹清晰可见,结果表明,用GSMBE技术生长的Si-xGex/Si异质结 相似文献
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