超精密微机械制造技术研究进展

随着社会经济的不断发展，国防领域、微电子工业领域、生物工程以及太空机械领域也是步入了空前的发展阶段，对设备的的精密多维细微零件的要求也是日渐苛刻。三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感也是成为了三维细微零件和微型设备的装置最为标志性性的特征，在材料使用、功能鉴定、使用年限、可靠性等方面要求也是非常之高，笔者从超精密微机械制造技术的含义、国内研究成果、发展现状、动态对超精密生产技术进行整理和归纳，对超精密微机械制造技术做出大胆的未来趋势走向，为以后国家的超精密技术研究和生产提供一定的参考依据。     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。     

微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述

回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning, SPDT),快刀伺服加工(Fast tool servo, FTS),金刚石微凿切(Diamond micro chiseling, DMC),光栅铣削等技术。指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题,包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明;最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况,展望了超精密切削技术未来发展趋势。     

功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展

介绍了功能陶瓷超精密加工技术，尤其是超精密抛光的技术概要，对各种先进的超精密抛光原理与方法进行了简单描述与评价。阐述了功能陶瓷超精密抛光技术的国内外研究现状与发展趋势，归纳了技术发展的特点，提出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展前景。     

超精密加工领域科学技术发展研究

超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段.随着对产品质量和多样化的要求日益提高,对超精密加工提出更多、更高的要求.超精密加工技术已成为包含当代最新科技成果的一个复杂系统工程.介绍各种超精密加工技术的内涵、应用范围、国内外研究现状、发展过程与趋势以及未来应研究开发的重要科学技术问题.从加工精度、加工质量和加工效率角度对先进的具有代表性的超精密加工机床、超精密切削、超精密磨削和超精密抛光技术进行重点评述和比较.分析我国在超精密加工领域中存在的主要问题以及与国外先进技术的差距,对超精密加工的技术发展趋势进行预测,提出我国本领域基础研究、技术及产业发展策略与对策.     

精密与超精密磨削关键技术探讨

目前普通磨削正在向着精密与超精密磨削方向发展。探讨了精密与超精密磨削的关键技术,提出其未来发展趋势与研究方向。     

金属加工机械制造业关键技术分析——超精密加工技术

１．技术概要机械制造技术在提高精度方面，从精密加工发展到超精密加工，其精度从微米级提高到亚微米级，乃至纳米级。就目前的加工技术而言，超精密加工技术是为了获得零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙度均优于亚微米级的综合技术措施，并向纳米级加工发展。纳米级加工是指零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙均为纳米级（＜１０nm，即＜０．０１μm）。超精密加工主要包括超精密切削（车、铣）、超精密磨削、超精密研磨（机械研磨、机械化学研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射加工等）以及超精密特种加工（电子束、离子…     

超精密加工技术研究现状及发展趋势

超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。根据当前国内外超精密加工技术的发展状况,对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复合加工技术进行综述,简单地对超精密加工的发展趋势进行预测。     

精密和超精密加工技术的新进展

精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展。世界各国都极为重视,投入很大力量进行开发研究,故近年来发展迅速。本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展:精密和超精密机床的新发展,超精密切削机理和金刚石刀具的研究,精密镜面磨削和研磨技术的新发展,非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展;提出我国应重视精密加工的研究,加大投入,加速提高我国精密和超精密加工技术水平。     

微机器人技术在超精密加工中的应用研究

文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法，通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用，论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值。     

大尺寸硅片的高效超精密加工技术

本文根据下一代IC对大尺寸硅片（≥300mm)面型精度和表面完整性的要求，分析了大尺寸硅片超精密加工的关键问题，介绍了工业发达国家在硅片超精密加工技术和设备方面的研究现状和最新进展，指出了大尺寸硅片高效超精密加工技术的发展趋势,通过对国内技术现状的分析，强调了针对大尺寸硅片超精密加工理论和关键技术开展基础研究的必要性。     

精密超精密加工及现代精密测量技术

论述精密超精密加工的技术内涵和范畴，分析影响精密超精密加工的主要因索．并指出当前国内外精密超精密加工技术研究中的一些关键技术和重点．此外对精密超精密加工中的微／纳米级精密测量技术、误差建模和补偿技术进行介绍。     

超精密加工精度分析

介绍超精密加工技术概要;从加工精度角度出发分析超精密加工技术国内外动态及今后发展的目标;探讨进一步提高主轴和导轨运动精度以及微进给和超精密测量精度等的可能性和关键技术问题;展望超精密加工技术在微细加工领域的发展前景。     

《精密加工技术实用手册》王先逵 主编／2001

精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。     

机械制造工艺与精密加工技术研究

经济的高质量发展、科学信息水平的不断提升,使得人们对产品技术有了更高的要求,若要促进汽车制造业的健康发展,需要重视机械制造工艺与精密加工技术的应用。本文从汽车机械制造技术与加工工艺应用特点出发,研究了精密加工技术与机械设计制造工艺关系的同时,对机械制造工艺和机械精密加工技术进行了深入的分析,旨在为提高现代机械制造水平提供参考依据。     

超精密加工的关键技术及发展趋势

论述了超精密加工技术的范畴,进一步探讨了提高超精密加工精度的关键技术问题。最后对超精密加工发展趋势作了展望。     

浅析现代机械制造工艺及精密加工技术

科学技术的快速发展对我国现代机械制造业形成巨大的挑战,要求其必须不断进行改革以适应科技的进步,从而使我国现代机械制造业能够向更高的技术方向发展。改革开放以后,我国现代机械制造业发展受到人员和技术的限制,其发展面临严峻的挑战,为了保持现代机械制造业的良好发展趋势,企业必须要重视人才的培养和技术的进步。本文总结了我国现代机械制造工艺及精密加工技术的分类和应用,并阐释了现代机械制造工艺和精密加工技术的关系。     

现代机械制造工艺与精密加工技术探析

随着社会的发展和科学技术水平的提高,人们的生活水平也在不断提高,人们对科技产品的需求也越来越大。为了满足人们在日常生活中对电子产品的需求,我们必须要不断改进我们的机械制造工艺和精密加工技术,因为传统的机械制造工艺已经完全不能适应时代的发展需求。本文我们将主要研究现代的机械制造工艺和精密加工技术。     

现代机械制造工艺及精密加工技术探讨

随着我国工业事业的不断发展,机械制造工艺和精密加工技术已经得到了极大的推广应用。本文概述了现代机械制造工艺和精密加工技术的基本内涵,对现代机械制造工艺和精密加工技术进行了详细分析,最后提出了两者相结合形成的关联性和全球性特点,对提高我国工业事业的发展提供更多的技术理论依据。     

精密加工发展与供需合作新理念

一、关于精密加工的认识我们知道,加工技术伴随着机械制造方面的发明、创造和设计技术的进步,其所能达到的精度也在不断进步,在这样的进步过程中,呈现出一些鲜明的特征。1."精度"是伴随精密制造发展的永恒主题通常,人们按加工精度不同,把机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工等三个阶段。但随着新技术、新工艺、新设备,以及新的测试技术和仪器的采用,使加工工件时材料的分割水平呈现不断由宏观进人微观世界的发展趋势,其加