空气静压丝杠的发展与高刚性比

本文在介绍近年来国内外空气静压丝杠发展现状的基础上，通过三种空气静压丝杠的实验数据，对三种空气静压丝杠的材料、结构形式及其性能进行了分析讨论。同时通过对比，总结出实现空气静压丝杠高刚性化的几种方法，并比较了各种实现方法的优缺点，为空气静压丝杠的实际设计与应用打下基础。     

空气静压润滑工作台系统的研制

在研究工作中,成功地研制了实现超精密位移的空气静压润滑工作台系统,避免了油液的污染。包括丝杠系统在内,工作台系统所有的相对滑动部件均为空气静压润滑。对工作台系统的静态刚度和工作台平移的精度进行了实验研究。静态刚度测量值在进给方向为8N/μm,垂直方向为160N/μm。工作台系统的定位误差用激光干涉仪测量,其数值小于70nm。因空气润滑各个部件使得摩擦阻力很小,故工作台系统移动完全没有空回现象。总之,所研制的空气静压润滑工作台系统的确是一种运动非常平稳精度很高的超精密机械部件。     

超高刚度自主式空气静压支承发展现状

本文介绍了提高空气静压轴承刚度的方法及国外超高刚度自主式空气静压支承发展状况。     

切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计

径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。     

划片机空气静压电主轴径向轴承的设计

径向轴承是划片机空气静压电主轴的关键零件,径向轴承的结构及尺寸直接影响转轴的高速旋转精度及工作性能。采用表压比法对划片机空气静压电主轴径向轴承进行设计计算,确定径向轴承的结构参数。     

空气静压电主轴过盈联接研究

空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论对空气静压电主轴过盈联接进行了设计和校核,并利用有限元分析软件ANSYS动态模拟了转轴与电机转子压装过程的接触应力,证实了该联接的可靠性。     

基于压电陶瓷作用的气体主轴抑振研究

针对空气静压主轴气膜刚度不高,在工作中易受自身及外部激励的影响,从而产生不平衡振动的现象,设计了一种基于压电陶瓷的可控空气静压径向轴承,研究了压电陶瓷的相关特性。结合气体主轴建立了轴承转子压电陶瓷的耦合模型,并在此基础上建立了基于扩张观测器的滑模控制器,同时将压电陶瓷综合控制器串联其中,在限制条件内利用控制器使压电陶瓷挤压气膜为主轴提供有效的主动控制力,从而抑制空气静压主轴的振动。研究结果表明,利用压电陶瓷对空气静压主轴系统的振动进行抑制取得了良好的效果,对于主要控制点可使其振动位移减小99.17%,对于次要控制点均有不同程度的减振效果,最多可减少94.36%。     

切割机空气静压电主轴止推轴承的设计

止推轴承是切割机空气静压电主轴的关键零件,止推轴承的结构及尺寸直接影响主轴的工作性能和稳定性。采用表压比法对切割机空气静压电主轴止推轴承进行设计计算,确定止推轴承的结构参数。     

划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究

划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。     

空气静压电主轴的稳定性研究

空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一，其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命。从自激振动和转轴涡动两个方面，对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机和划切机上的应用，重点对气浮轴承内部气容比、节流塞形式、进气压力、径向轴承结构参数、径向轴承形状误差以及动平衡等方面提出了合理的优化建议和方法，这些建议和方法在实践中起到了良好作用。     

空气静压电主轴振动模糊控制技术研究

为提高空气静压电主轴运行稳定性,在引入小波阈值降噪方法的基础上,针对其振动面模糊控制技术进行研究。通过空气静压电主轴振动控制信号模糊量化处理、基于小波阈值降噪的电主轴振动信号虚假模态剔除、非模糊化精确控制量转换及控制比例因子输出,提出一种全新的电主轴振动模糊控制技术。实验结果表明,新的控制技术能够将电主轴的振动幅度控制在安全范围内,减少甚至避免了电主轴发生异常振动,提升了空气静压设备整体运行的稳定性。     

划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究

从划片机空气静压电主轴的结构出发,分析了主轴的技术要求,提出了主轴材料选用的基本原则,介绍了划片机主轴的常用材料,重点论述了划片机主轴的加工阶段划分、热处理安排和定位基准选择,给出了划片机主轴的加工工艺路线图,并在实践中进行了验证。     

静压空气轴承和静压气浮导轨

<正> 作为维持机电机器近期迅速发展的主要支柱之一,是高精度支撑旋转轴及滑动部分。导轨轴承的性能都得到了迅速提高。尤其是静压空气润滑方式,从其高精度这一点看,今后,对以超精密加工机械的主轴及导轨为主的各种机电机器来说,将会得到日益广泛的应用。本文就静压空气轴承及导轨的特性和设计原理以及具体应用作简单说明。     

全自动划片机的关键技术研究

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。     

高速空气静压直流电主轴的调速方法

介绍一种高速空气静压直流电主轴在划片机中的应用。以往大量采用交流电主轴切割,但是其在使用中有发热量大,丢转数等缺点,直接影响切割质量。为了克服上述问题,我们采用直流电主轴进行切割,在使用中需要对直流电主轴调速。以往采用变频器面板固定频率调速,但是在使用中比较麻烦。所以我们采用计算机接口直接进行直流高频变频器的调速控制,实时监测变频器的运行状态,使其在整个系统中有很强的实用性。     

关于空气静压导轨的研究——静刚性及稳定性的理论与实验

<正> 1.绪言空气静压导轨有如下特点:①静摩擦和动摩擦非常小。②需要的流体在眼前几乎是无限的。③没有由于渗漏而不适用的场合。④热影响小。⑤导轨部精度永久不会下降等。最近在     

电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制

为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验。     

静压技术在振动试验仪器中的应用

对静压技术作了简单的介绍,针对振动试验仪器的特点,说明静压技术在振动试验仪器中应用的必要性、可行性。并对静压技术的应用场合和方法进行了探讨和研究。     

一种新型飞机全静压检测系统的设计

介绍了以单片机为核心的一种新型飞机全静压检测系统的设计,给出了硬件电路和软件设计流程。     

空气静压丝杠的发展与高刚性化

本文在介绍近年来国内外空气静压丝杠发展现状的基础上,通过三种空气静压丝杠的实验数据,对三种空气静压丝杠的材料、结构形式及其性能进行了分析讨论.同时通过对比,总结出实现空气静压丝杠高刚性化的几种方法,并比较了各种实现方法的优缺点,为空气静压丝杠的实际设计与应用打下基础.