关于直拉硅单晶中微缺陷及其检测的一些看法

文章通过对直拉单晶硅片热处理前后缺陷显示、红外吸收光谱等变化的分析,指出直拉硅单晶中起主导作用的微缺陷是“氧旋涡”,它是硅中氧沉淀的产物。其主要控制因素为氧含量、碳含量和晶体冷却速度。据此,作者认为热氧化化学腐蚀法模拟,接近于器件工艺,较其它微缺陷检测方法更具实际意义。文中就目前该法在实施中尚存在争议的“深腐蚀和浅腐蚀”,“表面雾状缺陷干扰”,“与常规化学腐蚀法对应”,“热氧化温度选择”等问题提出了解释和看法。还展望了缺陷工程的新形势。     

硅中微缺陷的研究进展

微缺陷,又有人称为旋涡缺陷,主要是指蚀坑呈旋涡分布的微缺陷。现已知道,旋涡缺陷只不过是微缺陷的一种。呈旋涡分布的缺陷并非都是微缺陷,如杂质条纹,经850℃以上氧化直拉单晶择优腐蚀后观察到的“氧旋涡”,富碳区熔单晶中更特殊“旋涡”,它只在高温磷扩散后才能观察到,这三种都不是微缺陷。许多不呈旋涡分布的则是微缺,如生长微缺陷中的C、D,许多热诱生微缺     

大规模集成电路用硅单晶的研究

进一步研究了提高硅单晶的质量,取得了良好的结果。采用减压拉晶工艺,研究炉室内气体运动状态,调节氩气流量,及时有效地排除反应产物,碳的含量得到了显著的降低,多数单晶样品的碳含量≤5×0~(16)/厘米~3。系统地研究了消除旋涡缺陷的途径。设计出一个梯度适宜、热对称性良好的温度场,合理选择晶体生长参数,获得近似平坦而微凹的结晶前沿,注意氧含量的控制,能够做到90%以上的 P 型〈111〉,〈100〉单晶为无旋涡缺陷。无旋涡缺陷单晶生长工艺有助于单晶径向电阻率均匀性的改善,径向电阻率不均匀度一般均可≤8%。     

降低连铸坯内部缺陷技术的研究与应用

连铸坯检验一般采用低倍组织检验方法,目前连铸坯低倍组织检验方法有硫印检验、热酸蚀、冷酸蚀、电解腐蚀和枝晶腐蚀等。采用热酸蚀法对连铸坯低倍组织缺陷进行检测分析,确定了宣钢连铸坯缺陷的主要类别和产生原因,通过实施调整设备、改善水质、优化炼钢工序工艺参数等措施,有效降低了各类缺陷级别,提高了连铸坯质量。     

油气输送管道腐蚀缺陷检测与识别研究

应用漏磁检测仪进行埋地油气管道腐蚀检测和识别,叙述了检测仪的硬件采集和信号处理过程.在直径273 mm的管道表面上加工人工缺陷,采集缺陷漏磁场信号,进行处理和转化为漏磁场云图,从信号和云图两者来分析漏磁场,提出了缺陷漏磁场的干扰消除方法、影响因素补偿技术和缺陷漏磁场图像的截取,并分别获得较好的效果,分析了缺陷定性和定量识别的方法,研究了缺陷外形参数量化的方法,得出了缺陷外形量化的数学模型,试验验证缺陷识别的效果,证明整个过程和方法有效可行,大大提高了管道缺陷检测和量化的精度.     

300 mm双面磨削硅片损伤层厚度检测

测量300 mm双面磨削硅片损伤层厚度,不仅可以为优化双面磨削工艺提供科学依据,并最终可以减少双面磨削损伤层厚度,而且可以有助于减少抛光时间,改善抛光硅片的几何参数.本文应用恒定腐蚀法和双晶衍射法测量了300 mm硅片双面磨削工艺后的损伤层厚度,对恒定腐蚀法进行了较深入的研究,并结合恒定腐蚀法的结果对硅片进行双晶衍射.得出以下结论杨氏腐蚀液因为对缺陷具有良好的择优性能,可以用以损伤层厚度检测.而硝酸腐蚀液因为对缺陷不具有良好的择优性能,因而不能用以损伤层厚度检测;恒定腐蚀法可以粗略测定磨削硅片损伤层厚度,而双晶衍射法可以精确测定磨削硅片损伤层厚度;根据恒定腐蚀法的测试结果来进行双晶衍射,可以减少测试样品的数量,节省试验经费;300 mm直拉P型＜100＞硅片经2000#砂轮双面磨削后的损伤层厚度为12.5μm.     

沉没辊WC-12Co涂层爆点缺陷原因分析

利用金相显微镜、扫描电镜和能谱等检测设备,对沉没辊WC-12Co涂层原料、涂层结构和涂层性能进行了检测分析,研究了涂层产生爆点缺陷的原因。结果表明:WC-12Co涂层的孔隙率、涂层硬度、表面粗糙度等指标均在规定范围内,爆点缺陷产生的原因是由于锌液腐蚀使涂层逐渐剥落减薄,爆点缺陷的出现表示涂层即将失效。为避免产生爆点缺陷,可选择的方法是优化封孔工艺,增强封孔剂对涂层的保护效果。     

提高耐硫酸腐蚀圆钢表面质量控制方法研究

针对耐硫酸腐蚀圆钢09CrCuSb表面划伤、褶皱、龟裂纹等缺陷,通过改进冶炼工艺、加热工艺、轧制工艺,优化孔型设计、加强细节过程控制等措施,有效控制了该钢种的表面质量缺陷,提高了圆钢表面质量。     

316L不锈钢饱和器焊接性探讨

焦化厂的硫酸铵饱和器,常常由于检修焊接不当加之强腐蚀工艺介质剧烈腐蚀之下,造成焊接接头的腐蚀破坏,形成晶间腐蚀、裂纹、穿孔等焊接接头缺陷和危害。因而,本文从316L不锈钢的焊接性入手,分析其晶间腐蚀,焊接热裂纹,应力腐蚀开裂,接头的σ相脆化等该材质的焊接特点,并详述了其防止的具体措施。结合实际有针对性的阐述了其该母材的焊接工艺及要点,有效的降低316L不锈钢的晶间腐蚀及其他焊接缺陷,提高了其焊接性。     

基于小波神经网络的管道腐蚀缺陷定量识别研究

漏磁检测是目前广泛采用的油气管道检测方法,通过漏磁检测仪获得腐蚀缺陷漏磁场切向分量的漏磁场信号,提取与腐蚀缺陷外形长、宽、深有关的漏磁场信号波形特征量,结合小波分析和神经网络的优势形成小波神经网络,分析设计了小波神经网络的结卡句,给出了网络训练算法,利用网络的非线性逼近性能,对腐蚀缺陷外形进行定量评价,给出预测评价曲线,试验验证方法有效可行。     

硅单晶化学腐蚀检测工艺研究

本文对硅单晶化学腐蚀检测工艺进行了研究，结合生产实际分析了传统工艺的不足并提出改进方向，通过实验，获得了一套简洁准确、高效的腐蚀检测工艺并成功地用于实际检测。     

不锈钢带钢光亮退火马弗炉缺陷分析及修复

分析得到了不锈钢光亮退火机组马弗管在高温自重长期服役条件下缺陷的形式及相应的原因。马弗管在高温自重作用下易产生缩颈、厚度减薄、截面变形、龟裂、橡胶状弯曲、鼓包、烧穿、焊缝开裂、渣滓、高温腐蚀坑等缺陷。高温蠕变是除焊缝开裂、渣滓、高温腐蚀坑外多种缺陷产生的直接或间接原因,设计、制造、使用工艺不当是引起诸如焊缝开裂、烧穿缺陷等的重要原因。针对各种缺陷特点,制定了合理修复技术方案,现场应用表明修复工艺方案是切实可行的,从而保证了马弗炉的正常使用。     

炼铜方法的比较及选择

着重阐述了旋涡炉顶吹炼铜工艺技术特点 ,并与白银炉工艺指标进行对比。指出旋涡炉顶吹炼铜法应作为葫芦岛锌厂粗铜冶炼技改项目的首选工艺。     

旋涡柱连续炼铅工艺的特点及产业化应用

介绍了旋涡柱连续炼铅工艺及设备的主要特点,分析了该工艺的技术基础以及产业化应用的可行性,论述了原料的适应性,阐明了旋涡柱连续炼铅工艺的优势和良好的应用前景。     

45钢镀铬活塞杆盐雾腐蚀缺陷分析及对策

本文针对45钢镀铬活塞杆盐雾腐蚀气泡锈蚀等缺陷做出了系统分析,通过对化学成分、塔形实验、夹杂物检测分析,表明原材料总体质量控制良好,用户生产过程中机械加工、防护措施和盐雾腐蚀试验不当是造成盐雾腐蚀缺陷的问题所在。在对应提出解决对策后,取得良好的效果。     

旋涡柱连续炼铅工艺特点及产业化应用

介绍了旋涡柱连续炼铅工艺设备的主要特点,分析了该工艺的技术基础以及产业化应用的可行性,论述了该工艺对原料有很强的适应性,阐明了旋涡柱连续炼铅工艺的优势和良好的应用前景。     

YQ450NQR1乙字钢拉裂缺陷成因分析

对于产生拉裂缺陷的YQ450NQR1高强度耐大气腐蚀乙字钢,通过表面缺陷行貌观察、金相检验和相关工艺调查分析,找出拉裂缺陷产生原因并提出治理方法和预防措施。     

HR-1低倍试验浸蚀方法研究

通过对HR－1低倍检验试验方法的深入研究，找到了腐蚀试剂、腐蚀时间、腐蚀温度对该钢酸浸腐蚀的规律，选择最佳的酸浸腐蚀方案，把试样的组织特征和缺陷清晰、正确显示出来，以保证检测结果的真实性及准确性。     

中间包控制汇流旋涡的水模研究

 为了减小中间包汇流旋涡所造成的卷渣对钢质量的危害,就某钢厂现有中间包的各工艺参数对汇流旋涡形成的影响进行了水模实验研究,结果表明：小塞棒高度、小拉速和小中间包水口口径对防止汇流旋涡有利,渣在一定程度上可以抑制旋涡的产生和发展,但渣层的厚度对旋涡没有明显影响;塞棒高度为60 mm、拉速为068 m/min、中间包水口内径为56 mm和有渣是本实验所得的该钢厂实际中间包最佳防止汇流旋涡工艺条件。     

基于图像预处理的神经网络带钢缺陷检测

针对带钢表面缺陷的特点,提出了1种基于图像预处理消除光照不均等的干扰且用神经网络进行缺陷识别的检测方法.带钢缺陷的检测分为3步:首先,对采集的图像进行预处理,通过图像零均值化以消除光照对检测的影响,分别利用维纳滤波和sobel算子对图像进行滤波除噪和锐化处理;其次,通过最大类间方差法进行图像分割以及计算面积来判断是否存在缺陷;最后,在提取图像特征的基础上,通过设计人工神经网络识别带钢缺陷类型.实验表明,采用的方法能够有效抑制图像背景干扰,能够有效地实现带钢缺陷的快速检测.