晶体结构对压电陶瓷微位移驱动器特性的影响

对钙钛矿结构的ＰＺＴ－５和钨青铜结构的ＰＢＮＮ二种压电陶瓷制成的压电微位移器进行了电压－位移特性的比较和分析，发现我们所研制的ＰＢＮＮ压电微位移器具有线性好、回零好、等优点。     

PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究

采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜／金属内电极共烧技术,制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器．该器件具有体积小、工作电压低、位移量大（38V,1.05μm）的特点．本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性,从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究．     

一种新型三维微位移工作台的设计和分析

为了解决微位移工作台的三维耦合问题,设计了一种驱动器固定的三维无耦合微位移工作台.本文介绍了它的结构和工作原理,通过有限元分析计算和样机实测验证,分别在X方向,X、Y方向和X、Y、Z方向施加载荷时,三维微位移工作台在X方向的位移不变,解决了三维空间运动耦合问题;分别在X、Y、Z方向施加不同载荷时,得到了工作台X、Y、Z方向的刚度,验证了工作台的位移、最大等效应力与载荷成正比.样机实测结果与有限元计算结果相吻合,工作台符合设计要求.     

改善PZT微位移器线性的一种方法

根据锆钛酸铅压电陶瓷的逆压电效应。设计了以８０３１单片机为核心的压电陶瓷堆微位移器提高了ＰＺＴ的线性，从而满足了在天文自适应系统中所要求的精确微位的应用。     

高控位精度横向模压电微位移器的研究

介绍了d31横向伸缩模式压电徽位移驱动器的制作过程,应用高稳定的填满钨青铜型压电陶瓷作为该器件制备的基料,利用P-F干涉仪原理测量了电场-位移特性曲线,由此计算了压电常数d31并进行了讨论。该器件具有电控应变(位移)线性度高、滞后量小以及结构简单、制作工艺方便等特点,它在精密光学等技术领域有一定应用价值。     

微位移高精度测量控制设计

微机械研究是近年来世界各国科技界研究的一大热点，其中的微测量、控制成为微机技术群的一个重要课题。本文介绍一个为配合压电型微驱动器的研制而设计的高精度的微位移测量、控制系统，它由显微镜ＣＣＤ视觉系统、Ｄ／Ａ及精密直流电压放大电路等环节组成，控制精度达到了０．７μ     

逆压电效应的压电常数和压电陶瓷微位移驱动器

本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d₃₃、d₃₁．测量发现S～E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b,用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论．该方法与以往常用的正压电效应的压电常数测试相比,方便、简单,尤其对过压电效应的压电微位移驱动器应用更具有实际意义．     

一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器。光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点。根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力。通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上。运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求。     

一种微小角位移测试系统

本文利用几何光学原理设计了一种利用ＣＣＤ测量微小角位移的装置可监控、测量秒级角位移。     

PZT微位移装置控制系统的设计

本文提出了以ＰＣ机作为锆钛酸铅压电陶瓷堆（ＰＺＴ）微位移装置控制系统主机的方案，从而高效，高速地控制ＰＺＴ微位移装置、使其能实现变速，线性微位移的功能。     

新型光电二维位移传感器

介绍一种新型光电二维位移传感器的结构和工作原理，分析了该传感器的使用方法。     

反射式光纤微位移传感器

本文主要介绍了反射式光纤微位移传感器,并搭建测试光路,完成了实验测量,确定了测试范围和测量精度。实验表明,对单模光纤,在0～62μm位移范围内,光功率变化较大;当超出该范围,光功率变化较小。对多模光纤,在0～224μm位移范围内,光功率变化比较大;当超出该范围,光功率变化缓慢。二者最小位移测量精度均可达到0．05μm。     

微位移驱动器

本文报导了微位移驱动器的工作原理和用途以及我们研制这种驱动器的结果。     

直热后置式石蜡驱动器的位移输出特性研究

为研究直热后置式石蜡驱动器的位移输出特性,以石蜡的热力学特性为理论基础,建立了以正二十烷烃为相变驱动材料的直热后置式石蜡驱动器位移输出理论模型。制作直热后置式石蜡驱动器样机,搭建专用试验台,在不同温度负载和石蜡量下对样机的位移输出特性进行了试验。试验结果表明：在一定范围内,石蜡驱动器的输出位移随石蜡受热温度的升高和石蜡填充量的增大而增大,随负载的增大而减小;理论计算与试验的结果吻合良好。     

双压电薄膜微机器人驱动器的模态分析

讨论了一种双压电薄膜驱动的微机器人,它适用于φ20mm管径的管道检测。本文利用有限元分析的方法研究了双压电薄膜不同边界条件对微机器人驱动器固有频率的影响,对样机的实验结果表明理论计算和实验基本符合结论揭示了双压电薄膜微机器人依靠惯性冲击振动获得驱动的机理,可作为该类微机器人优化设计的理论依据。     

新型纳米级微位移致动器的设计

磁致伸缩型微位移致动器通常采用多晶或孪晶结构材料作为驱动单元 ,由于晶界和孪晶界对畴壁的移动具有阻碍作用 ,其低场下的位移输出较小 ,调控精度受到较大影响。采用Tb Dy Fe单晶材料可以有效解决这一问题 ,本文介绍了采用这一单晶材料设计的新型高精度微位移致动器以及致动器的结构和数控电源     

亚微米级液压式微驱动器工作机理及其特性

为了提高精密机床的加工精度,研究了一种新型的液压式微位移驱动器.用有限元方法分析了缸体内部径向压力对液压式微驱动器输出微位移的影响,得到了驱动器结构设计公式,并讨论了其适用范围.建立了液压式微位移驱动器性能测试系统,对其主要性能进行了研究.研究结果表明,该微驱动器具有输出与输入线性度好(相关系数达到0.999 97)、刚度高(1.0×109N/m)、稳定性好和无滞后等优点.该微驱动器分辨力达到0.01μm,能够实现亚微米级进给,在精密加工和精密测量中具有广阔的应用前景.     

亚微压入位移的标定

介绍了一种亚微压入移标定的简易方法，该方法采用球形压头，在弹性变形范围内加载，通过对９组标准块厚度差的测量，对亚微压入仪的电测位移值进行校正，实验精度为１９ｎｍ，不确定度为７ｎｍ，其特点是检测方便，实验精度高，与光干涉法相当。     

评杨宜民的微驱动器研究成果

评杨宜民的微驱动器研究成果李伯天（华南理工大学广州５１０６４１）精密工程、精细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿，也是明天技术的基础。超精密机械的加工及现代光学仪器、大规模集成电路和计算机的制造都离不开高精度的微装置设备，而且现代生物工程、遗传工程和...