高稳定性不锈钢压力传感器

ＭＳＩ精量电子（美国纳斯达克上市名称 :ＭＳＳ）Ｓｃｈａｅｖｉｔｚ分部向工业传感器用户推出超高稳定性 ,温度范围广和高精度的全新ＵｔｒａＳｔａｂｌｅ６００传感器。ＵｌｔｒａＳｔａｂｌｅ６００的特点在于 :高精度 ,０ １ %ＦＳＯ ,工作温度范围达到 -４０℃～１２５℃     

新型不锈钢隔离膜压力传感器

世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商——美国EG&G IC Sensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。     

新型集成压力传感器的研究

本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作触发器型集成压力传感器．文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论．重点分析了噪声对传感器特性的影响，在测试电路中加入调控三角波电压，可以改善传感器的特性．     

管座电镀技术

介绍了管座电镀溶液配方及出现技术问题的预防措施和解决方法。     

硅压力传感器研究现状

论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景。     

压力传感器用不锈钢外壳的研制

本文介绍了适合氩弧焊封接的不锈钢外壳研制过程，解决了不锈钢外壳小孔加工、引线镀金等关键技术问题，满足了使用要求。     

压力开关传感器

为了满足我国相关行业配套组件的迫切需要,研制了一种新型压力开关传感器.该传感器采用一体化结构设计,将小型压力传感器与机械式压力开关安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口和信号接插件,能够同时提供阶跃量信号和连续量电信号.该压力开关传感器整机结构紧凑、精度、过载倍数和可靠性高,触点动作误差和温度系数小,整体性能均高于单一功能类的产品.     

半导体压力传感器放大器

本文介绍分析了一般的仪器放大器、传感器放大器及简化传感器放大器的工作原理，叙述了尤其适用于压力传感器的放大器电路。     

Presure Sensor of Fiber Optics Coupling Type

ＰｒｅｓｕｒｅＳｅｎｓｏｒｏｆＦｉｂｅｒＯｐｔｉｃｓＣｏｕｐｌｉｎｇＴｙｐｅ①ＷＡＮＧＺｈｅｎｃｈｅｎ（ＹａｎｓｈａｎＵｕｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｑｉｎｈｕａｎｇｄａｏ０６６００４，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｆｉｂｅｒｏｐｔｉｃ...     

Pressure Sensor of Fiber Optics Coupling Type

The principle of fiber optics coupling pressure sensor with micro-power dissipation is introduced as well as the use of two-way signal single fiber transfer(measure signal and reference signal)to conduct a proportional measure.It also discusses the adopted ways for improving the stability temperature drift and the noise of the mea-suring system.     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的。     

MOS触发器型集成压力传感器

触发器型压力传感器具有灵敏度高，压力测量线性范围可调和能输出数字量等特点，论述了这类新型传感器的工作原理和特性，并重点分析了噪声对传感器特性的影响。为了改善传感器的特性，实验采用三角波调控电压，可以有效地调节传感器的测量灵敏度度和线性范围。     

Optically—powered Optical Fiber Pressure Sensor of Diffused Silicon

In this paper an optically-powered optical fiber sensor for pressure mea-surement is introduced.Differential strain gauges of diffused silicon are emploped as sensing elements and a micro-consumption circuit is used in the probe.Pulse width modulation and pulse position modulation are adopted for signal processing.     

横向电压型压力传感器的磁敏性及其消除法

横向电压型压力传感器的几何形状与霍尔器件相同因此也存在有磁敏性.本文用弱场近似的统计理论导出了非均匀掺杂薄层的霍尔电势表式,理论计算与实验结果相当一致.最后,介绍了一种实际上能完全消除磁场对压力传感器影响的方法,得到了很好的结果.     

一种多晶硅高温压力传感器

制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好，精度高等特点，电路工作范围为０－２５０℃，且具有良好的温度稳定性。     

Stabilization of Intensity—based Optical Fiber Pressure Sensor

A practical optical fiber differential pressure sensor is presented at first Then the techniques of light source feedback,set up of reference channel,proportional measurement and other methods to improve the stability of the system as well as to reduce the interference with same nature are emphatically discussed.Finally,the experiment results of the developed instrument are given.     

集成pH－ISFET／压力传感器的研究

基于ＳＤＢ／ＳＯＩ材料和硅微机械加工技术，提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ／压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统，以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离，又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。