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《组合机床与自动化加工技术》2019,(9)
针对光电子基片超精密抛光对抛光机盘面转台的低速稳定运转要求,提出了采用无框直驱电机直接驱动液体静压转台旋转、圆光栅反馈转速、运动控制卡进行闭环控制的解决方案。基于LabVIEW程序和研华API通用运动架构设计人机交互控制系统,通过电流环、速度环和位置环搭建的三闭环控制系统由内而外逐步推导出传递函数,建立了转台运动控制系统的数学模型。使用Matlab内嵌的Simulink模块进行仿真分析,结果表明,所设计的环抛机直驱电机转台系统速度波动范围在1%以下且运行平稳,可满足光电子基片超精密抛光的要求。 相似文献
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目的建立一种新的易碎空心微球抛光机模型,并研制出该样机,用于空心Be微球的精密抛光。方法采用限位孔设计解决微球低应力夹持问题,添加不同数量的配重球,用于调整待抛球的滑动摩擦力大小和防止其飞出限位孔。上下盘偏心放置,实现微球无规运动。采用白光干涉仪分析抛光后Be微球的表面粗糙度。结果抛光机模型计算表明,待抛球一直在做周期性的变速和变加速运动,其周期大小由上盘转动频率决定,变加速运动增加了微球的滑动摩擦成分,有利于提高微球抛光效率。此外,待抛球表面抛光轨迹呈现无规行走,这有利于抛光的均匀性。使用该原理抛光机,在24 h内能够将直径1.2 mm、均方根表面粗糙度510 nm的易碎铍(Be)靶丸抛光至85 nm。结论理论和实验共同验证了易碎微球抛光机模型的合理性和可行性,上下盘放置方式、限位孔大小设计和配重球数量等关系着易碎微球的抛光均匀性和抛光效率。 相似文献
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《组合机床与自动化加工技术》2016,(5)
针对现有抛光机不能纠正晶片厚度偏斜和晶片研磨厚度无法自动控制问题,设计了一种新型抛光机,该设备主要由抛光盘及其驱动装置和工件的固定调节装置部分组成,通过控制载套的上部凸缘与载套座的上表面的距离可以控制研磨晶片的厚度,通过更换砝码有效地控制研磨压力,通过载套与滚针轴承的配合有效地控制晶片的平行度,防止样品磨偏。该设备还可以用于陶瓷,金属,玻璃等材料的研磨抛光。 相似文献
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基于压力和差压传感器的汽车离合器主缸泄漏量检测系统研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出基于压力和差压传感器的离合器主缸密封性检测系统方案,采用混合式步进电机通过滚珠丝杆驱动离合器主缸活塞动作,使活塞移过补偿孔达到主缸密封位置,将离合器主缸的出油孔与密封的平衡测试管路分别通过管路连接在差压传感器两侧.由气压管路分别向离合器主缸及所在管路和平衡测试管路通入压缩空气,利用压力传感器检测反馈系统压力值.当气压达到要求压力时,切断差压传感器两侧的管路,在规定时间内检测离合器主缸端的压力下降值作为主缸泄漏量,与要求数值比较判断合格与否.实验研究表明:系统的差压检测精度为25Pa,并可以长期稳定运行. 相似文献
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为提高液压系统位置控制的响应速度及准确性,研究斜盘控制策略下液压系统位置控制及性能。从液压系统位置控制电路的构造出发,对控制策略进行描述。通过泵速求取电动机的动力学方程,利用电机转子的电动势计算电动机转矩。以滑模控制方法作为两种液压系统的控制核心,并在MATLAB/Simulink下对斜盘控制系统进行建模。在所构建斜盘控制模型的基础上,对比分析斜盘控制策略和变频驱动控制策略液压系统位置控制性能。结果表明:斜盘控制比变频驱动控制具有更好的响应性和控制稳定性;跟踪阶跃、正弦参考位置时,斜盘控制比变频驱动控制的控制精度分别提高47.67%和48.58%,斜盘控制比变频驱动控制的控制准确性更好。分析结果表明斜盘控制策略比变频驱动控制策略更适合液压系统的位置控制。 相似文献
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为了提高电液动力源响应速度、降低能耗,设计变转速驱动恒压泵组成新型的电液动力源。针对不同工况分别采用变频器驱动三相交流电机和伺服电机两种方式驱动恒压泵,通过对构建的电液动力源原理、动态响应理论分析及试验验证,表明变频器驱动交流电机动态响应差,伺服电机驱动动态响应时间不超过0.1 s。进一步对两种变转速驱动进行能耗分析,试验结果表明两种电液动力源能效随着负载压力和转速的升高而增大,当负载压力达到20 MPa、转速提升到1 500 r/min,变频异步电机驱动的液压系统能效为0.74,伺服电机驱动的液压系统能效为0.8。 相似文献
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本文建立了金刚石膜抛光装置的实体模型,采用接触分析法计算抛光装置高速旋转时,抛光盘厚度和转速对抛光装置的强度、刚度的影响规律。结果表明:随着金刚石膜抛光盘厚度的增加,同一转速下,vonMises等效应力与径向位移的变化很小,而轴向位移在抛光盘厚度较小时呈直线上升趋势,当抛光盘厚度大于等于8mm时,轴向位移的变化逐渐趋于平稳。同时,对于同一厚度的金刚石膜抛光装置,随着转速的提高,vonMises等效应力和径向位移呈现相似的上升趋势,轴向位移却先上升后下降。文中得出的结论为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作,提供了可靠的理论依据。 相似文献
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酸轧联机压下油缸压力传感器外置安装时,延伸管路可能会造成压力损失和数据检测时滞问题。基于设计的酸轧联机压下油缸压力传感器数据采集系统,模拟实际压下油缸轧制状态,对压下油缸压力传感器的外置安装方式进行了高压实验研究。实验结果表明:在25 MPa左右的液压环境下,采用总长为5 m的直线型油管延伸压力传感器安装时,管路中最大相对压力损失为0.719%;采用总长为5 m、弯头数为3个的弯折型油管延伸时,最大相对压力损失为0.998%;时滞均在误差范围内。根据实验数据提出了压力传感器外置安装策略并进行了应用验证,现场调试结果表明,安装方案完全符合生产要求。 相似文献
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现在,随着变频器的日臻成熟,交流变频调速技术也被越来越多地采用了。但我们在实践中也发现:普通鼠箱式交流电机在高频(f>30Hz)下工作尚可,一但长期处于低频(f<30Hz)状态,则发热严重,甚至不能运行。经多次实验及测量,我们认为,电机发热是由以下原因所造成:1.变频器在低频状态下,输出交流电压波形畸变严重;2.电机附设降温风叶随电机转速降低而失效;3.变频器输出转矩补偿过量。其中,第2、第3两个原因比较关键。解决办法是:1.取下电机风罩、选购与风罩后平面面积相当的轴流风机(单相、三相均可),并在风罩平面上打… 相似文献
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液体静压导轨是精密超精密加工机床的重要功能单元,液压站是液体静压导轨正常工作的必要辅助单元。液体静压导轨要保持高的精度,液压站必须能够为静压导轨提供压力非常稳定的润滑油输入。设计一种用于液体静压导轨的高精密液压站,该液压站利用变频电机驱动精密齿轮泵供给润滑油,利用全闭环反馈调节装置控制润滑油的稳压输出。实际测量证明:该液压站的输出压力稳定精度可达±0.05%,应用于超精密机床上的液体静压导轨取得了良好的效果。 相似文献
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闸述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台,在实验平台上安装了微动机构,其位移通过高精密的传感器进行检测。通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点,分析了预压力和激振频率对其性能的影响。提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法。 相似文献
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一、磨床工作特点可编程序控制器PLC在设备控制系统中的应用越来越广泛 ,特别是在一些只有开关量控制的设备系统中 ,由于其程序直观 ,稳定性好 ,维护方便 ,深得设备技术人员的欢迎 ,PLC同样也适用于带有模拟信号控制的设备中。在我们公司立式磨床中 ,就是利用PLC对其进行控制 ,控制过程除开关量I/O外 ,也包含模拟量I/O。立式磨床的工作原理如下 :1 上磨轮由“西门子”变频电机驱动快速向下。2 由上磨轮位置传感器检测下降距离 ,当达到设置慢速接近位置时 ,上磨轮慢速接近工件。3 由压力传感器检测上磨轮对工件的压力 ,当达到… 相似文献