动态微压力传感器可靠性验证

对动态微压力传感器可靠性验证试验方案进行了实用设计，用寿命试验的观察结果对可靠性指标进行计算，以验证其可靠性指标ＭＴＢＦ达到的水平。     

硅压力传感器振动可靠性试验与评估分析

以硅压力传感器为研究对象,文中在对该压力传感器失效模式和失效机理调研的基础上,建立了压力传感器在振动应力作用下的失效物理方程,进行了以振动应力为加速因子的恒定应力加速寿命试验;结果表明,在振动应力作用下,传感器的失效物理方程为逆幂律模型;经对试验数据进行统计分析,求得了传感器在振动应力作用下的可靠性参数估计值及加速寿命方程lnη=-6.46034-4.73856lnS;通过对传感器进行可靠性评估,得出了传感器的平均寿命和可靠寿命分别为53246小时和23248小时。     

矩形硅杯绝对压力传感器的研制

绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低、通用     

硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应的改进措施。     

簧片式硅压力传感器的研制

介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器，利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。     

高性能多晶硅压力传感器的研制

本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10~(-6)FS/℃,可实现近乎理想的灵敏度温度补偿.     

压力传感器检测系统的研制

在 - 6 0～ 85℃的温度范围内 ,压力传感器检测系统可以满足压力传感器静态特性参数的检测 ,它采用了液体传压原理、温度控制技术和计算机应用技术。解决了压力传感器的热零点漂移、热灵敏度漂移、非线性、迟滞和重复性在不同温度环境条件下难以精确检测的问题 ,为压力传感器的研究和使用提供依据 ,在压力传感器研制和生产中有着重要的应用价值。     

压阻式绝对压力传感器的研制

<正> 压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应,在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺,在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路,最后通过静电封接技术形成真空腔制成。     

小型化电容式压力传感器及变换器

介绍了一种新型结构的电容式压力敏感元件及其信号变换器,给出了敏感元件与变换器联合测试结果,并对变换器的工作原理作了较详尽的分析.非线性误差大是电容式压力传感器的主要误差,通过在变换电路上采用一种方法可以很好地解决这一问题.此方法具有非线性纠正能力强、调试方便的特点.该电路特点是精度高、分辨率高、动态响应快、低功耗.整机表现出很高的时间稳定性.     

油井压力测试系统可靠性框图分析

目前用于测试射孔压裂时动态压力数据的石油井下压力测试系统得到了广泛的应用,但对其可靠性的分析研究还是空白.针对这一问题,采用可靠性框图分析技术对测试系统的可靠性进行分析.通过深入分析系统的组成结构和逻辑功能关系,建立测试系统的可靠性框图模型.在此基础上,依据元器件应力分析方法对可能引起系统故障的元器件的失效率进行逐个分析和计算,最后得到测试系统的失效率和平均无故障工作时间.研究结果为测试系统的可靠性评估提供了理论依据.     

变频调速器在流量计检定装置的应用

本文介绍了利用变频调速器进行流量控制的原理和工作过程,既大量节能,又提高检验精度,值得计量企业借鉴。     

保护用电流互感器磁特性测试仪的研制

研制的测试仪主要用于测量互感器的二次侧时间常数和剩磁系数。该测试仪采用直流饱和法测量原理,是以工业控制计算机为核心,包括传感器和数据采集卡的通用测试平台。采用LabWindows/CVI编写了系统的主程序、测试界面和各功能模块程序。实验结果表明,该测试仪能够满足工业生产的需要。     

压电传感器在动平衡测量系统中的设计与应用

传感器是动平衡测量系统中的重要元件之一,是一种将不平衡量产生的振动信号不失真地转变成电信号的装置.利用压电式力传感器作为动平衡测量系统中的敏感元件来测量不平衡质量引起的振动.重点阐述了该压电式力传感器的结构设计、安装位置设计及振动信号检测中的关键问题.同时,详细分析了该传感器的信号调理电路特点.现场实验结果表明,设计的压电式力传感器在动平衡测量中的性能良好.     

汽车压力传感器的现状和发展

介绍了实用化汽车压力传感器的功能、原理、结构、特点和技术指标。评述和预测了其发展动向。     

MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究

为解决特种压力传感器结构的封装难题,提出了三种能够适用于200°C高温条件下的先进封装技术.通过有限元模拟,确定了采用低温玻璃键合技术对多种压力传感器进行封装,分析得出了适合的中间键合层厚度.选定了高强度低膨胀基底合金材料,制定了低温玻璃键合的工艺流程,采用先进的丝网印刷工艺确保中间键合层厚度.实验表明经过该工艺封装的压力传感器在高温下具有可靠的性能,能满足现代工业测量需求.     

几种超声位移检测用电容换能器的设计

介绍了3种用于检测超声波与声振动位移信号的电容换能器,可较灵敏地测试宽声带发射瞬态信号,具有简易的结构,尤其适合在实验室条件下对试样作测试。