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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构,温度传感器采用半导体氧化物NTC材料的厚膜顺采用高分子电阻型结构,从而实现了温湿一体化,这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便,而且独湿敏元件的温度补偿更为准确,并且具有体积小、价格廉、晚皇集成、使用方便等特点。 相似文献
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梁锦 《自动化与仪器仪表》1999,(6):52-53
0 前 言由各种材料制成的阻抗式湿敏元件,虽然其灵敏度高,但温度系数也大,其阻抗对温度的函数关系复杂。这给湿度传感器带来温度补偿的困难。实践证明,采用阻抗式传感器来检测湿度,检测误差大,动态特性与静态特性都不太理想。对湿度控制系统来说,湿度检测是个难点,也是关键。笔者采用新型电容式湿度传感器与逻辑鉴宽器结合,能方便而可靠地调节湿度。1 电容式湿敏元件几何结构一定的电容器,其电容量与两极间介质的介电常数成正比。而介电常数又随空气湿度变化而变化。依此原理可制成电容式湿敏元件。专门用于检测湿度的电容介… 相似文献
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MgCr_2O_4—SnO_2烧结体湿敏半导体陶瓷具有微孔结构。合理地选取配方,可使温度系数α_T极小。由这种湿敏元件组成的湿度传感器采用微孔结构的RuO_2电极和加热清洗装置,底座上还设置了导电环。解决了空气中油蒸气、尘埃等侵入引起的污染问题,延长了传感器使用寿命,保证了测湿精度。这种湿度传感器配用数字式湿度测控仪,可实现数字测湿。为高温环境中测湿控湿提供了新的测试手段。文中引用了计量部门的测试标定报告,说明这种湿度传感器及数字式湿度测控仪的性能和技术数据。 相似文献
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一种新的高分子湿敏传感特性的计算方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对高分子湿敏元件的湿度温度系数具有一定分布范围,在不同的相对湿度下其温度湿度系数又有所区别的问题,提出了一种基于插值法任意温度下高分子湿敏传感特性的计算方法,该方法可以推广应用到存在相似问题的其他类型传感器。 相似文献
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国外湿度传感器发展动态 总被引:7,自引:0,他引:7
综述了近年来国外湿敏元件及其传感器的发展动态,重点介绍了电容式、电阻式等湿度传感器所采用的新材料、新结构以及新工艺.文中指出,对发展高分子电阻式湿度传感器这一技术动向应予以重视. 相似文献
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采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%~95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决. 相似文献
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国外温度传感器发展动态 总被引:2,自引:0,他引:2
综述了近年来国外湿敏元件及其传感器的发展动态,重点介绍了电容式、电阻式等温度传感器所采用的新材料、新结构以及新工艺。文中指出,对发展高分子电阻式湿度传感器这一技术动向应予以重视。 相似文献
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陶瓷传感器的现状与发展趋势 总被引:2,自引:0,他引:2
4.湿度传感器多孔陶瓷湿敏元件的测湿范围宽(1~100%RH)、工作温区宽(1~400℃)、响应时间短(5~30s),因而成为主要的湿度传感器.按导电机制分有离子型、电子型和介电型[50],按温度分有常温类和高温类,还有相对湿度类和绝对湿度类之分.本文则按材料的结构类型,分述尖晶石型、钙钛矿型和其它结构多孔陶瓷. 相似文献
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采用水热腐蚀铁钝化法在单晶硅片上生长铁钝化多孔硅(IPS)薄膜,以IPS为感湿介质制成湿敏元件。在不同湿度环境以及测试频率下,测出其电容值,得到了IPS的湿敏特性曲线。研究发现,当相对湿度从11%RH逐渐增加到95%RH的过程中,在测试频率为100Hz时,IPS湿敏元件的电容值增大幅度达1500%,电容响应时间在升湿过程和脱湿过程分别为15s和5s,并且IPS湿敏元件的温度系数在15℃到35℃的范围内较小。结果表明:IPS湿敏元件的特性包括灵敏度、响应时间以及温度系数等均优于多孔硅(PS)湿敏元件的特性。 相似文献
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一、概述: 湿度的测量与控制在国民经济的各个部门例如:工业、农业,纺织、气象、军事、科研等都有非常重要的意义,空气中的含水量大小甚至和整个生物界的生长发育都息息相关。因此,研制湿敏元件及品质优良的湿度传感器非常必要。 我们知道,一个理想的湿敏元件应具 相似文献
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多孔陶瓷湿度传感器最新研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
本文以金属氧化物烧结体为中心,论述多孔陶瓷湿度传感器几何学因素,细孔表面状态和感湿特性之间的有关系及其最新研究成果,湿敏元件是根据大气湿度极大地影响着多孔陶瓷元件电阻的特性。利用陶瓷工艺技术制成,其灵敏度是由细孔结构、表面积以及化学成份决定的。当酸离子占有的表面积远大于0.1nm^2时,在90%RH湿度以下,有效电阻由表面积和细孔的结构决定。当酸离子占有的表面积小于0.1nm^2时,湿度大于40%RH,电阻随酸离子在表面上相互集中的比率增大而减小,采用碱离子来替换细孔表面的酸离子是一种很好的改善湿敏元件灵敏度和稳定性的方法,在较低的湿度领域下,可用超离子导体和铁电体替换金属氧化物陶瓷的方法,来降低电阻。 相似文献
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<正> 一、前言 响应时间是湿敏元件重要参数之一,评价一种湿敏元件,总是比较关心这种湿敏元件的响应时间。 测定响应时间必须规定湿度变化率及选择合适的湿度源。对陶瓷等电阻式湿敏元件,常规定达到63%湿度变化量所需的时间为响应时间。对电容式高分子湿敏元件,常规定达到湿度变化量的90%时所用的时间为响应时间。至于测定响应时间时所选择的标准湿度源,没有统一规定,通常 相似文献
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