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应用微机械加工技术制作微型模具,再通过微型模具成形微型制件,具有简单、经济、制件质量好及生产效率高等优点.基于制造微模具的微机械加工技术,从加工特点、表面精度和应用场合等方面重点分析了能够制作型腔带有拔模斜度的金属微模具的加工技术——微细特种加工技术和微铣削技术,探讨了微模具制造进一步发展的方向和手段. 相似文献
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微能源的研究现状及发展趋势 总被引:5,自引:0,他引:5
电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性能,同时微能源以某种方式集成于MEMS中,使MEMS具有更加强大和完备的功能.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.介绍了微能源技术的研究现状和发展趋势,介绍了国际上微型锌镍电池、微型内燃机系统、微型锂电池、微型太阳电池、微型燃料电池和微型同位素电池研究工作的最新进展.简单分析了微能源的发展方向和应用前景. 相似文献
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微型光谱仪的发展现状 总被引:20,自引:5,他引:15
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍.光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向. 相似文献
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随着微型机械的发展,尤其是微摩擦学研究的进展,微摩擦测试技术显得极为重要。综述了国内外微摩擦测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变仪、压力传感器、电磁微型马达、硅微机械结构、浮力、光学检测等原理的微摩擦测试仪,分析了它们的工作原理和特点。 相似文献
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微型泵是微流体系统中的重要执行元件,标志着微流体系统的发展水平。详细介绍了微型泵的种类、加工技术、应用前景以及国内在该领域的研究状况。 相似文献
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微系统集成技术研究的动向 总被引:6,自引:2,他引:4
在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。 相似文献
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本文的主要内容包括(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术. 相似文献
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李科杰 《仪表技术与传感器》2003,(1):4-7
阐述了微小型无人系统技术发展动向,详细介绍了微型飞行器、微小型卫星、微小型机器人技术、微小型水下无人航行器技术等的现状及发展,阐明了微小型无人系统对测试技术的新挑战。 相似文献
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微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统.MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术.文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了M... 相似文献
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国外微型机械及微执行器的研究 总被引:2,自引:1,他引:2
由于高新技术的迅速发展,微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国际科技界的重视。微型机械多种多样。如可在狭小的空间和危险场所进行维护检查的自行式微型机械、可进入管道、人体腔体甚至血管进行检查和手术的微型机械、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜上的分辨力以纳米计的微动机构、半导体领域和分子机械领域都出现了很精密的微型机械。国外为了提高微型机械的研究水平,最近还定期举办微型机构和微型机器人的比赛,包括爬山、爬崖和自我表演等项目,由于微型机械都必须有所动作,因此其中的微执行器(micro-actuator)最为重要,其工作原理多种多样。本文将就微型机械、微执行器的原理和国外的微型机构比赛作一综述。 相似文献