亚微米微球三维有序阵列的组装技术研究

以硅酸乙酯为原料在乙醇 氨介质中制备了单分散性良好的亚微米级二氧化硅微球 ,采用电泳辅助沉降技术实现了二氧化硅微球三维有序阵列的组装 ,获得了规整度较高的二氧化硅微球面心立方阵列 ,并与其他组装方法的特点和适用范围进行了比较 ,为不同粒径 (从微米至亚微米范围 )胶体微球的有序结构的严格控制奠定了实验基础     

亚微米微球三维有序阵列的组装技术研究

以硅酸乙酯为原料在乙醇-氨介质中制备了单分散性良好的亚微米级二氧化硅微球,采用电泳辅助沉降技术实现了二氧化硅微球三维有序阵列的组装,获得了规整度较高的二氧化硅微球面心立方阵列,并与其他组装方法的特点和适用范围进行了比较,为不同粒径(从微米至亚微米范围)胶体微球的有序结构的严格控制奠定了实验基础.     

亚微米微球三维有序阵列的组装技术研究

以硅酸乙酯为原料在乙醇一氨介质中制备了单分散性良好的亚微米级二氧化硅微球，采用电泳辅助沉降技术实现了二氧化硅微球三维有序阵列的组装，获得了规整度较高的二氧化硅微球面心立方阵列，并与其他组装方法的特点和适用范围进行了比较，为不同粒径(从微米至亚微米范围)胶体微球的有序结构的严格控制奠定了实验基础。     

FINEIECH发布灵活的FINEPLACER激光条封装平台

全球领先的返修和微组装设备供应商FINETECH日前宣布推出具有高度灵活性的FINEPLACER激光条（laser bar）封装平台，相对于标准管芯或倒装芯片的邦定（bonding）工艺，半导体激光条的封装工艺对封装设备的精度和工艺控制能力的要求更加严格。     

FINETECH发布灵活的FINEPLACER激光条封装平台

返修和微组装设备供应商FINETECH 日前宣布推出具有高度灵活性的 FINEPLACER激光条(laser bar)封装平台, 相对于标准管芯或倒装芯片的邦定 (bonding)工艺,半导体激光条的封装工艺对封装设备的精度和工艺控制能力的要求更加严格。其中最为关键的挑战是激光条和散热片的高精确度对准,激光条(典型尺     

FINETECH为微组装和返修提供创新设备解决方案

全自动的FINEPLACER FEMTO系统 该系统是为了满足最高端的半导体及光电器件贴片应用要求而专门开发的。这款独一无二的系统具备了亚微米的贴片精度、150mm（6英寸）的工作区域（12英寸晶元可选）以及突出的工艺灵活性,同时适用于各种不同的封装技术。     

FINETECH为微组装和SMD返修提供创新设备解决方案

全自动的FINEPLACERFEMTO系统该系统是为了满足最高端的半导体及光电器件贴片应用要求而专门开发的。这款独一无二的系统具备了亚微米的贴片精度、150mm（6英寸）的工作区域（12英寸晶元可选）以及突出的工艺灵活性,同时适用于各种不同的封装技术。     

电磁控制的亚微米微位移机构

<正>亚微米微位移机构是现代精密机械与精密仪器的共同基础。近年来随着科学技术的发展,尤其是微电子技术的飞跃进步,将精密机械与精密仪器的精度提高了一个数量级,即由微米级的精度提高到亚微米级,因此作为精度补偿及微调机构的亚微米微位移技术,得到了迅速的发展和广泛地应用。目前亚微米微位移技术日趋成熟,实现亚微米微位移的方法很多,本文着重讨论电磁驱动原理,位移机构设计中的问题以及利用该原理设计研制的亚微米微位移机构的实验结果。 电磁驱动原理     

微组装关键工艺设备技术平台研究

介绍了微组装设备技术发展现状,重点论述了微组装关键设备工程化技术、先进微组装工艺技术和微组装工艺设备标准规范等微组装设备技术平台研究。通过该技术平台的研究,提升了微组装关键设备的先进性、稳定性和工艺系统集成能力。     

CdS纳米晶自组装形成的亚微米中空球微结构研究

Ⅱ-Ⅵ族半导体量子点（如GdS、CdSe等）,因其具有明显的量子尺寸将就和表面将就，近来成为人们研究的热点。以这些量子点为基元，可组装成许多有趣的结构，其中最具代表性的是被人们称为光子点的亚微米-微米尺度的中空球微腔结构。这种中空球微腔结构具有量子点和光子点耦合效应，可实现自发辐射的抑制和单模加强的量子点发光，称之为光子点对量子点发光的调制。     

光纤激光精密位移调整技术实验研究

为了将激光弯曲成形技术应用于精密位移调整领域实现亚微米精度的位移调整,自行设计和搭建了激光微位移调整与测量平台,将光纤激光通过线性透镜和扫描振镜聚焦在不锈钢薄板上作匀速扫描运动,实时监测加工过程样件自由端的输出位移。建立了样件激光微位移调整模型,在此基础上研究改变激光功率、扫描速度、光束照射位置以及离焦量等参数对调整位移的影响。结果表明,样件通过该平台实现了亚微米级重复精度的精密位移调整,改变激光照射位置是精确改变调整位移的首选;通过优化工艺参数,降低了激光加工过程中样件表面的损伤。     

宽离子束刻蚀微透镜阵列研究

本文对宽束离子束刻蚀技术进行了研究，并运用宽离子束对微透镜阵列进行了刻蚀，表明宽离子束可进行微米、亚微米刻蚀。     

准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺(polyimide,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案。     

扫描电镜在微细加工技术中的应用

微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术,它所涉及的是微米（μｍ）级的加工,现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成为大规模集成电路和微细图案形成必不可少的加工手段。例加在微米、亚微米大规模集成电路（ＶＬＳＩ）中,芯片...     

微流体系统驱动技术的研究进展

微流体驱动大致可以分为两类:一类是从宏观流体驱动移植过来的驱动方式;另一类是根据微尺度下流体特性设计的驱动方式。对两类不同的驱动方式进行了介绍与比较,前者原理成熟,基本都符合经典流体理论,在亚微米以上级微流体流道尺寸中的应用较广;相比之下,后者设计原理新颖,常用于微米甚至纳米级的微流体系统中,具有更好的发展前景。     

微微秒技术

锁模激光器很快成为近代光谱学的重要工具。各种脉冲和连续激光器可以通过锁模在红外3微米和近紫外300毫微米之间产生多个波长的微微秒脉冲。为了研究物质的光学性质，用锁模激光器得到的亚微微秒脉冲,巳达到了迄今为止的最髙时间分辨率。     

技术

美国国家纳米计划（NNI）推出新的战略计划;澳大利亚纳米技术战略投资面临消减;伯克利科学家首次把气相MRI运用到微流体催化反应中;采用亚微米切削加工法制造芯片微色层谱仪;激光束细胞分选技术。     

亚微微秒锁模光脉冲用于光导纤维的研究

亚微微秒锁模光脉冲和非线性相关测量相结合,开辟了一个精密测量的新技术。将它用于光导纤维的研究,得到15微米空间分辨率的后向散射及2.5微微秒/米的光色散。     

业界动态

科利登将在2006年度SEMICON China展会上展出Sapphire D-10系统;飞思卡尔半导体的i．MX31应用处理器被电子巨头Vestel选定应用子其便携式媒体播放器;FINETECH发布灵活的FINEPLACER激光条封装平台;FSI发布全新的用于无灰化、湿法光刻胶去除VIPR^TM工艺技术 该技术应用在ZETA G3喷雾清洗平台上。[编者按]     

MEMS将成为21世纪新技术增长点

微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微型化革命,以加工微米/纳米结构和系统为目的的微米/纳米技术(Micro/Nano Technology)在此背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来,形成具有一定功能的微米/纳米结构;另一方面人们利用精细加工手段加工出微米/纳米级结构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生,后者则在小型机械制造领域开始了一场新的革命,导致了微机电系统(MEMS)的诞生。