宇航电子产品等离子清洗技术研究

宇航电子产品、厚膜混合集成电路由于尺寸小、电路密集、焊盘间距小、装配密度高等特点,在装联过程中引入的微小污染物和氧化物,会对键合性能、电性能等造成恶劣影响,从而影响了长期可靠性。等离子清洗有别于传统的超声、机械清洗,具有无损伤、无振动的特点。本文主要针对星载厚膜模块的等离子清洗工艺进行说明,并且对清洗效果进行评价和分析。     

三氟化氮与等离子体工艺

介绍了用NF_2代替传统使用的NH_3制备掺氟低氢等离子增强化学汽相淀积(PECVD)Six Ny:F膜、用NF_3代替CF_4等离子刻蚀超厚氮化硅薄膜的工艺试验条件和结果,对有关实际问题进行了讨论。     

超声汽相清洗工艺和设备简介

超声汽相清洗机是一种新颖的清洗工艺设备。它采用了目前清洗效果较理想,使用广泛的氟里昂F113有机溶剂及其共沸物作为清洗液。这种清洗工艺设备,既具有汽相清洗特性,又有超声清洗优点,是目前世界上较流行而又普遍使用的清洗新工艺。随着科学技术的迅速发展,用高净洁度的清洗,来提高高产品的可靠性和使用寿命问题,越来越受到人们的关注。超声汽相清洗机,在这方面可提供无比卓越的清洗功能,它具有快捷和清除人工或机械难以去除掉污垢的能力。因此,为这种工艺而设计的超声汽相清洗机的出现,日益得到广泛使用,成为电子元器件、精密机械、光学…     

金刚石厚膜的制备及应用研究

用电子增强热灯丝ＣＶＤ（化学汽相沉积）方法制备出膜厚为０．１－２ｍｍ的金刚石厚膜，研究了金刚石厚膜的耐磨性和热导特性，用它制作了金刚石膜焊接刀具和半导体激光器用金刚石膜热沉。     

浅谈钢铁磷化前处理对磷化膜性能的影响

该文介绍了采用高温锰系磷化,通过有机溶剂清洗、超声波表面活性剂清洗、超声波表面活性剂清洗加表面调整处理等3种前处理方式获得的磷化膜的膜重、膜厚、耐蚀性等膜层性能参数。分析了各种磷化前处理对磷化膜性能的影响,并讨论了这种影响的原因机理。实验结果表明:采用超声波表面活性剂清洗加表面调整处理后的磷化工艺,磷化膜层的结晶细致,在膜厚较小的情况下可获得较高的膜重,并且膜层的各种耐蚀性都得到了极大的提高。     

卷式反渗透膜的气液两相流清洗特性

建立新型膜清洗装置,将压缩空气和化学清洗液形成气液两相混合流体对2.5英寸(1英寸=25.4 mm)卷式反渗透膜进行清洗研究.系统地探讨了气液两相流清洗过程中清洗液流量、气体流速、气液比、清洗时间对膜截留率和通量恢复率的影响.结果表明清洗液在0.12 L/rain时,即可获得较好的膜通量恢复率.不同过滤面积的反渗透膜,清洗液的临界流量不同,超过该流量对膜通量恢复率无明显影响.膜通量恢复率随气体流速的增加而增加,聚酰胺材质反渗透膜气速上限是18 m/s,更高的气速将降低膜截留率.气液比在2000∶ 1～3000∶1范围内能有效提高膜通量恢复率.两相流清洗时间一般不超过15 min就能获得理想清洗效果.     

厚膜电阻材料的物化特性对钌系厚膜电阻应变系数的影响

通过对厚膜电阻导电相、玻璃相的粒径控制、粒径比搭配以及在导电相、玻璃相中掺杂,研制成一种厚膜力敏电阻浆料,其应变系数GF可达15～17、工作温度可达150℃.介绍了厚膜力敏应变系数的测量方法,研究了厚膜电阻材料的物化特性对钌系厚膜电阻应变系数的影响,探讨了提高应变系数的技术途径,同时,对其导电机理作了简要的阐述.     

直流磁控溅射膜厚分布实测与数值模拟研究

基于直流磁控溅射的基本原理,通过对小圆形磁控溅射平面靶的特点分析,建立了磁控溅射系统的几何模型,推导出了膜厚分布的数学理论模型.借助MATLAB数学软件,计算了不同靶基距下膜厚分布的理论数据,分析了靶基距变化时膜厚分布的特点.实测了两种不同靶基距下膜厚的分布,通过与理论数据的对比,验证了模型的可靠性.理论模型与实测数据...     

Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究

对Si片上Au膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的研究.采用离子束溅射,选择不同的镀膜参数,在经不同前期清洗方法处理过的Si片上,镀制了各种厚度的Au膜.利用科大国家同步辐射实验室的反射率计,对Au膜在真空紫外较宽波长范围内的反射率进行了连续测量.测试结果表明Si片上Au膜厚度和辅助离子源的使用方式对Au膜反射率有重大影响,而镀前基片表面清洗工艺等对反射率影响不显著.采用辅助离子沉积或镀前离子清洗,可提高Au膜反射率;但离子清洗和辅助离子沉积同时使用会给反射率带来显著的不利影响.膜厚在30 nm左右,55°入射角时反射率最高,可高达40%.     

ISG工艺合成γ-Al2O3多孔膜

采用ISG(Inorganic Sol-gel)工艺的浸渍涂覆技术制备γ-Al2O3多孔膜,探讨了薄膜的制备条件及影响因素,重点研究了浸渍提拉技术中提拉速度、浸渍时间、涂覆次数与成膜速度的关系,同时通过微波超声清洗考察了薄膜的附着力;用XRD图谱鉴定了薄膜的物质相并通过BET测试对薄膜的孔分布进行了分析表征,利用SEM对煅烧后的γ-Al2O3多孔晶化膜进行了微观结构观察.实验结果表明,溶胶呈现非牛顿流体特征;薄膜制备过程中提拉速度、浸渍时间、涂覆次数对膜厚的影响呈现明显的规律性;通过超声清洗前后的称重表明薄膜的附着力很好;XRD图谱表征了制备的Al2O3薄膜为γ相;SEM观察和BET测试都表明薄膜为具有60nm以下的微孔膜.     

TiNi合金表面轧制氧化膜激光清洗工艺研究

目的针对焊前去除TiNi合金表面致密氧化膜过程中,传统方法会造成环境污染的问题,运用激光清洗这一绿色清洗方法去除TiNi形状记忆合金表面轧制氧化膜,并对其清洗工艺进行研究。方法运用OM和XRD等分析测试手段对激光清洗后TiNi合金表面进行测试,研究激光清洗工艺对TiNi合金表面氧化膜及其组织的影响。结果激光清洗参数对激光清洗效率影响较大,扫描次数对TiNi合金激光清洗效率具有饱和性;激光清洗过后的TiNi合金表面仍存在一定含量的TiO,TiO_2,Ti_3O_5等氧化物。结论激光清洗可得到表面明亮且均匀的TiNi合金,但不能完全清除TiNi合金表面氧化膜。     

纳米Al2O3掺杂对厚膜应变电阻性能的影响

采用粒子尺寸为８ｎｍ的纳米Ａｌ２Ｏ３作掺杂改性剂，通过选择合适粒径和配比的导电相、玻璃及烧结工艺，得到一种ＧＦ为１３、电阻温度系数小、稳定性良好的在厚膜应变电阻，并从厚膜电阻导电机理和纳米材料特性出发。     

BaPbO3/Ag复合体系大功率厚膜电阻浆料的研究

提出以BaPbO3/Ag复合体系作为功能相制备低成本大功率厚膜电阻浆料的思想,研究Ag含量、峰值烧结温度对厚膜电阻电性能和热稳定性的影响,并从导电机理方面对实验结果进行了分析讨论.     

厚膜浆料的物化特性与厚膜电阻力敏特性的关系

厚膜压力传感器具有优良的性能和广阔的应用前景。厚膜浆料的研究在传感器研制中超着非常重要的作用。本文主要讨论表征浆料物化特性、工艺配方的几个重要参数(导电相的浓度和颗粒度,玻璃粉的粒度与化学组成)对厚膜电阻 R、GF 和 TCR 的影响。同时,借助于 SEM 和 XRD 等分析手段,对厚膜电阻的导电机理、力敏特性与浆料物化特性之间的关系也进行了一些探讨。     

ZnO-Bi2O3混合氧化物厚膜的结构和气敏性能

采用金属蒸气氧化的方法制备了针状ZnO和椭球形Bi2O3纳米颗粒作为气敏厚膜的原材料，其中得到的Bi2O3为δ相和β相的混合物．通过XRD和SEM分析了ZnO、Bi2O3以及ZnO-Bi2O3混合物厚膜的物相和表面形貌，并测试了厚膜的电导和气敏性能．结果发现纯Bi2O3对乙醇和丙酮蒸气有一定的气敏性能，表现为P型导电；与纯ZnO相比，ZnO-Bi2O3混合物厚膜对苯、甲苯和二甲苯的敏感度降低，这与厚膜晶粒尺寸增大、其晶界势垒高度增大有关，然而Bi2O3可能作为一种弱的催化剂提高了厚膜对乙醇和丙酮的敏感性能．     

ECR等离子体处理技术

超大规模集成电路已经进入了运用亚微细粒加工技术的阶段,今后微细化还会有进一步发展。以存储器为代表的元件使用电压虽然同过去一样保持5伏不变,但微细化的进展使加工技术上的各种制约条件更加严格了。例如蚀刻的栅绝缘膜厚发展到100埃左右,若进行更厚的多晶硅栅电极加工,对选择幅度及低损伤加工的要求将会愈加严格。而化学汽相沉积技术成膜时则要求低温化,低损伤化以及平坦化沉积(良好的台阶高差复盏性能)等。可以预     

宝钢1900连铸机涂漆膜厚的技术分析及处理

1 引言 1900连铸机是宝钢二期工程的重点设备之一,由中日合作生产,质量要求达到日本同类产品的标准,对产品表面膜进行技术分析及处理是不可缺少的一环。 为了保证1900连铸机的涂装质量,作者根据日方的检查要领对膜厚进行了技术分析及理论计算,确保了产品所需要的实际膜厚。     

设备仪器采购指南

本公司是一家集高新技术、高起点、高素质员工为一体的股份制企业,专业制造、销售“声达”牌超声波清洗设备,目前拥有专业技术员二十多名。公司以优良的产品质量、新颖完美的设计和良好的服务,使产品在全国各行业占有一席之地。 公司产品主要有SG、SGM标准系列及SGQ、SGX、SGZ汽相系统、全自动等系列非标的清洗设备。 竭诚欢迎各新老客户光临本公司,公司本着“您的需要就是我们的追求”这一宗旨,将更好的服务提供给每位朋友。     

阴极电弧离子镀膜技术的进步

阴极电弧离子镀膜技术是国内外沉积工模具硬质膜层的主要技术。在高新技术产品和高端制造业需求的推动下,阴极电弧离子镀膜技术得到了长足的进步。本文介绍了阴极电弧离子镀膜技术的原理和特点,重点分析了阴极电弧源、硬质膜层性能和工件清洗技术等方面的进展,并对未来的发展进行了展望。     

复用血液透析器（人工肾）膜表面粘附蛋白的实验研究

以Fresenius F6聚砜膜复用透析器为研究对象,对其膜表面粘附的蛋白进行定量分析研究.用4种不同的化学清洗剂及超声波的方法,对膜表面粘附的蛋白进行清洗,以获得最佳清洗方法;对透析器不同部位膜上的蛋白进行测定,获得不同部位膜上蛋白含量的差异性;用双向电泳的方法检测膜上粘附的蛋白含量及其性质,获得不同种类蛋白与聚砜膜结合的特异性关系.结果显示:使用5次后每克纤维膜表面粘附的蛋白量至少为0.1 mg,且在透析器各部位分布不同;超声波是一种用来清洗膜上残留物质的有效方法;膜表面粘附的蛋白主要是中性或偏酸性的蛋白,中、大分子量的蛋白容易造成膜孔堵塞且不易去除,而小分子量的蛋白较易去除.