几种热阴极电离真空计电参数校准及分析

通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的ZJ-27,ZJ-12,ZJ-10,ZJ-2等四种热阴极电离真空计进行电参数校准。通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法校准热阴极电离真空计电参数的可行性。     

热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析

针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术, 本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型, 并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100 MΩ~100 GΩ负载条件, 负载为1 GΩ时输出电流相对变化率为0.3×10^-6。解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题, 达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果, 为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考。     

热阴极电离真空计问答

热阴极电离真空计问答王逊（北京大学无线电电子学系）ＡｎｓｗｅｒｓａｎｄＱｕｅｓｔｉｏｎｓｏｎＨｏｔ－ｃａｔｈｏｄｅＶａｃｕｕｍＩｏｎｉｚａｔｉｏｎＧａｕｇｅ￥ＷａｎｇＸｕｎ（Ｄｅｐ．ｏｆＲａｄｉｏａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＢｅｉｊｉｎｇＵｎｉｖｅ...     

热阴极电离真空计的误差

电离真空计规管及其控制单元。都有各自的各项误差。本文讨论作为电离计整体的误差与各项误差的关系。 电离计的压强读数可用下述公式表达;式中:i+──为收集极离子流; i──为发射电流; k──为规管系数. 白误差传递公式(1)可得到压强的示值 (相对)误差Ep的表达式: E2=E2H+E2I+E2i-(2)式中Ek、Ei+和Ei-分别为规管系数,离子流和发射电流的相对误差。下面分别讨论这三项误差。 1.规管系数的误差 规管测量的对象往往含有氧气、水蒸汽或其它污染性气体,电极及玻壳往往受到氧化或污染。这样规管系数在寿命过程中会逐渐变化。使用后的规管比…     

热阴极电离真空计检漏的灵敏度

文中扼要的评述了热阴极电离真空计检漏的灵敏度,并进行了实验测定。其结果与已有的理论表示式是一致的。由此得到两种常用电离真空计的最高检漏灵敏度分别为10~(-8)和10~(-11)(托·升/秒)。最后分析了影响灵敏度的因素。     

热阴极电离真空计的单片机控制电路

利用单片机控制热阴极电离真空计，可使真空计具有一系列的新功能，且成本低廉，因此它是真空测量的更新产品。本文简述了它的结构和原理。     

放射性电离真空计的校准方法

主要介绍了放射性电离真空计结构、工作原理及放射性电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理。放射性电离真空计修正因子采用阿伦方差进行不确定度评定,可以提高校准的准确度,确保卫星、火箭发射的安全。     

冷阴极电离真空计校准方法研究

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.     

用磁悬浮真空计校准电离真空计的研究

通过对国际上新颁布的两项ISO标准以及我国检定规程的剖析,利用我院比较法真空标准装置,对磁悬浮真空计校准电离真空计的方法进行了研究,并对不确定度进行了分析.     

电离真空计校准中的数据处理

本文介绍了一种在电离真空计校准中进行数据处理的新方法,可明显减小示值相对误差,提高电离真空计示值的准确性,使得实际工作中测量结果更接近真实值.     

热阴极电离规的校准稳定性

本文提供了一些热阴极电离规校准稳定性的数据，这些规是用于０．０００２—０．２ Ｐａ范围的普通三极管型规和用于 ０．０００２—０．０２ Ｐａ范围的ＢＡ规。为得到压力读数的最高精确度，给出了必须对规的读数加以修正的数值。还给出了这些规对氩、氮、氖和氦的相对灵敏度。     

便携式真空计校准装置

为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准.为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法.实验结果证实该装置的校准范围可达1×105～4× 10-6 Pa,合成标准不确定度为1.3％ ～4.7％.装置的外形尺寸为450 mm× 400 mm×750 mm,总重量小于40kg.总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点.     

热阴极电离真空计相对灵敏度数值计算与实验研究

电离真空计广泛应用于超高真空测量,是目前唯一实际可行的超高真空测量仪器。针对不同气体环境,真空规管的电离截面不同且对测量灵敏度产生显著影响,本文基于BEB电子碰撞电离截面模型和数值仿真算法,精确计算了真空规管电离区域内不同气体的电离截面,并实测了真空规管灵敏度变化特征。结果表明,在10^-8-10^-5 Pa压力范围内,Kr、Ar、CH₄、CO₂、He气体在真空规管中的相对灵敏度分布偏差最大仅为4.78%,不同气体的实测相对灵敏度分别为2.01、1.46、1.66、1.45、0.198。数值计算结果与实验结果具有良好一致性。     

复合型便携式真空计校准装置

在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置。将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围。实验结果表明,装置的校准范围为105Pa～10-5Pa,合成标准不确定度为1.3%～2.5%。装置的外形尺寸为450 mm×400 mm×750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准。     

用电桥校准电离真空计的离子流放大器

采用电桥线路校准电离真空计的离子流放大器，不必考虑离子流放大器的输入电阻，即可解决１０－１２～１０－４Ａ的小电流测量问题．     

真空计电参数检定装置的测控系统

为了提高检测精度，使日常检定工作方便可靠，在真空计线路检定工作中，采用ＩＥＥＥ－４８８接口组成自动化测试系统，完成了近距离高速并行数据通讯。在ＵＣＤＯＳ汉字系统下使用ＦＯＸＰＲＯ、Ｃ语言等开发工具进行混合编程，研制出测控软件     

自制高真空电离真空计电路校准仪

三极管式热阴极电离真空计是应用较广泛的真空测量仪器。它的原理、结构等特点决定了它的测量范围在10-4托～10-7托,在各电子管厂中被广泛地使用着。电离真空计的好坏及测量准确与否直接关系到电子管生产质量的优劣,为此,必须对电离真空计进行校准,包括对电离真空计的DL—2型规     

真空计现场校准装置的研制

研制了一台便携式真空计现场校准装置,采用分体式设计,结构紧凑,装置小型化,便于现场移动。集成MKS薄膜真空计和370电离真空计作为标准器,利用静态比较法和动态平衡法,极限真空度可达10-6 Pa量级,在(1×10-3～1×105)Pa的测量范围内,相对扩展不确定度Urel=(5～0.5)%(k=2),解决了真空计及真空系统现场校准的难题,综合技术指标达到国内先进水平。     

热阴极电离真空计的晶体管开关式发射电流稳流器的研制

目前我国各种热电离真空计的阴极电子发射稳流器，包括质谱计的热阴极离子源的电子发射稳流器，均采用连续式稳流线路。这种电路的供电效率十分低，通常为３０～４０％；本文介绍的二种开关式稳流器实例，效率均可达５０～８０％，並与供电电压高低无关。这不仅缩小了真空计的体积、重量、耗电，而且提高了整机的热稳定性；同时还增强了电路对不同规格阴极的适应能力。