一种下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏装置北大核心CSCD

为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。     

一种下限为10~(-10)Pa·m~3/s的正压漏孔校准装置

为了解决漏率小于10~(-8)Pa·m~3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10~(-10)Pa·m~3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气体引入累积室经过一段时间的累积来提高浓度,采用膨胀衰减压力和分子流进样将混合气体引入质谱分析室,提出对质谱分析室中示漏气体进行累积模式的测量方法,通过四极质谱计作为比较器分别测量漏孔泄漏形成的混合气及配置的标准混合气体在累积模式下离子流的变化率得到漏孔漏率,解决了无法测量微小示漏气体离子流信号的技术瓶颈;采用全金属密封结构和特殊的工艺处理解决了累积室中延伸下限由于本底示漏气体的影响因素,采用体积小于1 mL的取样室通过直接取样和膨胀衰减压力取样获得与漏孔累积后形成同等数量的标准混合气体,解决了微小漏率正压漏孔校准所用标准混合气体获得。为此基于累积比较法的正压漏孔校准方法实现了10~(-8)～10~(-10)Pa·m~3/s的校准范围,合成标准不确定度不超过7. 5%。     

一种(10~(-1)～10~(-10))Pa·m~3/s标准气体流量计的设计

为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10~(-1)～10~(-10))Pa·m~3/s的标准气体流量计。装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量。采用容积约为5和0.1 L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10~(-10) m~3/s流导元件。设计的装置外形尺寸不超过500 mm×400 mm×500 mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10~(-1)～10~(-10)) Pa·m~3/s,具有成本低、操作方便、便携等优点。     

一种(10-5-10-16)Pa·m3/s标准气体流量计的设计

本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10-10 m3/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在...     

一种10~5～10~(-7) Pa现场真空计校准装置的设计

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为10~5～10~(-7) Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10~(-8 )Pa量级;采用流导法和定容法设计出10~(-2)～10~(-10) Pa·m~3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为10~5～10~(-7) Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。     

获得2.9×10~(-10)Pa的三极溅射离子泵

我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控极高真空测量），并成功地应用到为航天工业部某单位研制的ＪＷＺ－１００型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到５．５×１０－８Ｐａ。     

一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计

针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,...     

一台快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组

本文叙述了快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组的关键措施,描述了该机组的结构设计特点,新颖的表面处理工艺技术,以及独特的排气规范。该机组从大气开始抽气,经烘烤去气,总共历经20小时便可达到(4～7)×10~(-9)Pa的真空度。     

一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计北大核心CSCD

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。     

武钢 3×10~4m~3/h 空分手动变负荷生产的探索与实践

对武钢引进的两台３×１０４ｍ３／ｈ空分设备，为改变其自动变负荷生产调节范围小、时间长的问题，采用了人工手动变负荷的操作方法。实践表明：扩大了增减产范围，缩短了调节时间，有十分明显的综合经济效益，可供大型空分变负荷生产借鉴参考。     

测压范围10~5到10~(-3)帕简易的氮化钽薄膜规

因为氮化钽薄膜具有适合于提高灵敏度的、宽的热传导区、电阻值合适以及电阻温度系数大等优点,通过实验研究,证实了用氮化钽薄膜测量定范围的压力,已经取得较好的结果。这些试验引出一个新的薄膜系统结构,该系统是通过反应性等离子体溅射,在小型的、7059康宁玻璃基片上淀积氮化钽薄膜而成的。用它可以测量105到10-3帕范围的压力变化。本文给出了氮化钽薄膜规性能的详细说明和校准曲线。 一、引言 皮拉尼真空计测量压力的原理,是基于加热体和周围气体间的热交换速率与压力的依赖关系。这种真空规能相当迅速地记录真空系统的压力变化,其优点在…     

(BH)max为15×10~6高·奥的Pt-Co永磁合金

日本最近的研究已把加工性良好的Pt-Co永磁的(BH)_(max)从过去的9×10~6高·奥左右提高到大约15×10~6高·奥。(BH)_(max)15级的Pt-Co永磁合金的性能如下表所列。     

10米~3/时(折合纯氧)分子筛制氧装置介绍

本文介绍了折合成纯氧计的10米~3/时分子筛制氧装置的技术指标、主要设备、工艺流程、钢材用量与投资、以及生产情况和应用效果。图1,表2     

量程为760～10~(-3)托的对流式电阻真空计

在科研和工业生产中,高压强的连续测量是十分需要的。我所研制并生产的RZ-1型对流式电阻真空计,可测量760～10-3托,它具有反应快、精度高、结构简单、坚固耐用、抗氧化等特点,并可予置真空度以及0～10毫伏输出,可供外电路控制打字、记录等使用;可代替汞U型计,避免水银中毒。它与中真空电离真空计(1～10-6托)、热偶电离复合计(10-1～10-8托)、B-A计(10-3～10-11托)、宽量程 B—A计 (10-1～10-11托)、冷阴极磁控式极高真空计(10-5～10-13托)组成测量范围互相覆盖并衔接的测量仪表系列。 物体热传导过程通常有三种形式:对流(气体热传导)、辐…     

一种新型的由超高真空至10~(-1)托宽量程B-A规

对于传统的Ｂ－Ａ规来说，当压强高于１０－３托时，随着压强的升高，离子收集极电流便显示出明显的非线性。人们认为，这是因流向灯丝的离子流变得与灯丝发出的电子流相差不多而引起的。在本文所述的新型规管中，灯丝附近设置了一个辅助电极，其电位保持低于灯丝电位，用以消除这种不希望有的离子流。经这样一改，其线性区域便延展至１０－１托（对于Ｎ２），但并不牺牲其灵敏度。对电极结构和电位等电极设计参数所进行的最佳化研究表明，设有接地半圆筒状电极的规管将具有最佳的性能，这种新型Ｂ－Ａ规能在 １０－１０至２× １０－１托压强范围内具有线性的“离子流－压强”特性。     

杭氧液空与上海石化签订一套18000m~3/h(O_2)空分装置合同

<正>杭氧液空有限公司出售给上海石化股份有限公司一套18000m~3/h(O_2)空分装置合同,于1999年10月13日正式签字生效。这是上海石化。杭氧液空和杭氧集团共同努力的结果。     

4×10Gbit/s光时分复用(OTDM)系统中基于电吸收调制器(EAM)的光分插复用器

提出了一种光时分复用 (OTDM )系统中完全基于电吸收调制器的光分插复用器(O ADM ) ,该复用器具有简单的结构和灵活上下话路的能力。然后对实现这种O ADM所需要的关键技术进行了分析和讨论。     

两种添加剂对溶胶-凝胶法制备LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2的影响

由溶胶-凝胶法制备了LiNi1/3Co1/3Mn1/3O2粉体,对比研究了聚乙二醇和柠檬酸2种添加剂对其界面和结晶度的影响,利用扫描电子显微镜、x射线衍射仪和热分析仪器分析了其形貌和物相等。结果表明,900℃煅烧15h时粉末粒度为1μm左右,并发生软团聚,从单个颗粒来看,样品表面光滑,界面清晰,分散较为均匀;添加聚乙二醇时粒度为1μm左右,粒子呈类球状;添加柠檬酸时粒子粒度为1~2μm左右,粉末结晶度较好。     

Corrosion of Y, Fe and Fe-15Y in H_2-H_2S Mixture under 10~(-3) Pa S_2 at 600～800℃

The corrosion of an Fe-based alloy containing 15 wt pct Y in H2-H2S mixtures under 10-3 Pa S2 was studied at 600~800℃ in an attempt to find materials with improved sulphidation resistance with respect to pure Fe. The presence of Y has been shown to be beneflcial, but not sufficient to the level expected. In fact, the alloy is able to form at all tested temperatures an external FeS layer, beneath which a zone containing a mixture of the two sulphides is also present. Thus,Fe can still diffuse through this region to form the outer FeS layer with non-negligible rate. The corrosion rate of Fe is considerably reduced by the Y addition. but the alloy corrodes still much more rapidly than Y. The sulphidation kinetics is generally rather irregular for both the pure metals, while the corrosion rate of the alloy decreases with time and tends to become parabolic after an initial period of 12~17 h. The sulphidation behaviour of the alloys is discussed by taking into account the presence of an intermetallic compound Fe17Y2 and the limited solubility of Y in Fe