影响BOPP膜在线厚度测量的因素

以Ｐｍ １４７测厚仪为例， 分析了影响双向拉伸聚丙烯膜在线厚度测量的主要因素， 如测厚仪自身的精度、测量头及放射源的传动皮带、薄膜的展平效果、环境条件等， 并提出了相应的控制方法。     

钝化膜应力对锑化铟器件性能的影响

随着InSb红外探测器关键尺寸的不断缩小,钝化膜应力的大小对器件I-V性能的影响越发明显。为了降低探测器芯片的应力,研究了一种由SiO₂ 和SiON组成的复合钝化膜体系。通过改变气体的射频时间,在InSb晶片上淀积厚度分别为300 nm、500 nm、700 nm和900 nm的钝化膜,测量并计算了不同厚度钝化膜的应力。当厚度为700 nm时,钝化膜的应力最小值为－1.78 MPa。研究了具有不同应力钝化膜的器件的I-V特性,发现厚度为700 nm时InSb芯片具有更加优异的I-V特性。通过调整复合钝化膜的厚度,降低了钝化膜的应力,有效地提升了InSb探测器的性能。     

PSG膜钝化技术的最佳设计

半导体表面钝化方法很多,但使用最广泛的是PSG膜.本文将着重讨论PSG膜钝化机理、膜的厚度及其磷含量的设计和控制.     

S辊速度调节在带钢延伸率控制中的应用

平整实质上是一种小变形量的轧制,是冷轧工艺上具有极为重要意义的一道生产工序.延伸率是平整中最基本的工艺参数,由于平整道次压下量很小,只有微米级,用测厚仪几乎测不出平整机出口侧与入口侧的带钢厚度偏差,因此就用测量带钢延伸率的方法作为测量其厚度变化的等效值.延伸率调节是工艺质量控制的重要内容,延伸率是平整轧制的唯一变形指标,在保证带钢力学性能、满足用户要求等方面起着至关重要的作用.     

玻璃涂层在线监测系统的研究

玻璃涂层在线检测系统是为湿膜厚度在线测量而设计的测量系统,系统在线实时测量多种规格的物体表面喷涂的玻璃涂层的湿膜厚度,为产品烘干后,干膜厚度控制提供依据。针对以往玻璃涂层在线检测系统的优缺点、科技的进步和新工作环境的需要,设计了一套新的玻璃涂层在线检测系统,其特点主要是:对喷涂的物体形状要求不高;在线实时测量,数据反馈及时;多种参数同时检测,有利于提供产品的喷涂质量。     

基于阈值和小波去噪的激光在线测厚技术

采用激光三角位移法实现传感器对锂电池在线涂层厚度的测量.针对激光测厚所产生的静态和动态误差,静态误差通过系统标定滤除,动态误差采用阈值判断和多尺度小波算法实现高频去噪,保留低频有效膜厚.实验结果表明:该技术相比于单一的多尺度小波去噪,更适合于非连续性的涂层膜厚测量.     

近红外光学膜厚监控系统的研制

在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控.     

基于容抗法的瞬时液膜厚度测量系统设计

设计了一种采用容抗法测量气液两相流瞬时液膜厚度的测量系统,通过测量气液两相流瞬时液膜厚度,来反映气液两相流截面持液率大小。对容抗法测量瞬时液膜厚度的原理进行了详细分析,建立了探针电容传感器的数学模型,完成了检测电路设计。根据此数学模型,确立了瞬时液膜厚度与输出电压的线性关系。在虚拟电子工作平台上,对该测量系统做了仿真实验分析,仿真数据表明该测量系统是切实可行的。     

正业科技推出PCB表面OSP膜无损检测等RoHS检测产品

2008年9月19日由正业科技和牛津仪器联合举办的“线路板表面OSP膜无损检测暨RoHS检测高峰论坛”在东莞市高步镇中汇文华大酒店成功举办。会上推出了由牛津仪器最新研发的产品X-Strata980,该仪器运用X荧光原理实现痕量元素分析及镀层厚度测量,其成功推出标志着牛津仪器已经成为全球唯一的能提供包括便携式、台式（微聚焦、块状分析）XRF（荧光镀层厚度）分析仪器的供应商,能够为客户提供针对RoHS筛选的完整解决方案。而“OSPrey800测厚仪”是迄今为止世界上第一台科学测量OSP膜厚的仪器,它能够适时无损害检测并运用光学原理精确测量OSP膜厚度。     

VLSI用低介电常数含氟碳膜研究

用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了不同工艺条件下的含氟碳膜。测量了薄膜的厚度和介电常数,并用傅立叶红外光谱分析了薄膜化学结构,发现薄膜成分和介电性与沉积工艺密切相关,对薄膜的SEM分析表明所得薄膜均匀致密。控制适当的工艺条件,可沉积理想的超大规模集成电路(VLSI)用钝化膜。     

基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究

红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一,为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点,采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统,系统将光源的光分成测量路和参考路两路,并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理,讨论了系统对朗伯定律的适用性,最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明,该方法精度高、鲁棒性好,且能够有效避免光源不稳定带来的影响。     

Frequency-adaptive cancellation of harmonic disturbances at non-measurable positions of steel strips

The active rejection of harmonic disturbances is of great importance in many industrial applications. For instance, transverse vibrations of steel strips in hot-dip galvanizing lines entail an inhomogeneous zinc coating of the final product. Controlling the vibrations of these steel strips is particularly complicated because their direct measurement at the relevant location is not available. More specifically, the disturbance input, the displacement measurement, the electromagnetic actuator which acts as control input, and the system output to be controlled are all located at different positions along the steel strip. The control scheme proposed in this work minimizes the harmonic steady-state response of the system output to be controlled. In contrast to a state–space approach, the method does not utilize a high-dimensional state observer, and requires only modest computational resources during online operation. Furthermore, negative effects in the closed-loop system due to observation or control spillover are effectively avoided. The developed harmonic disturbance rejection scheme is validated by experiments conducted on a test rig that mimics the conditions from an industrial hot-dip galvanizing line.     

红外测量技术在MOCVD中的应用

简要说明了红外辐射测量技术的工作原理与理论基础以及红外测量的特点.MOCVD硅片外延生长过程中反射率是实时变化的,但传统红外测量方法无法实现反射率的实时测量,因此造成较大的测量误差,无法准确反应外延片的表面温度,同时无法实现对生长速率的在位测量.德国AIXTRON公司的MOCVD测量系统中加入了由脉冲信号控制的LED红外发光器件,实现了温度与反射率、生长速率与膜厚的在位实时测量,从而达到对温度和膜厚的精确控制,取得良好的实验效果.     

硅基高精度镍铬薄膜电阻的制备和性能表征

集成无源元件（IPD）技术可以将分立的无源元件集成在衬底内部,提高系统的集成度。为了获得高精度的薄膜电阻,采用多层薄膜电路工艺在硅晶圆上制备了不同线宽的镍铬薄膜电阻,利用显微镜和半导体参数测试仪对薄膜电阻的图形线宽及电学特性进行了表征及测试。结果表明,制备出的镍铬薄膜电阻线宽精度在±5%以内,电阻精度在±0.5%以内,具有稳定的电学特性。基于镍铬的高精度硅基无源集成电阻器在系统集成中有广泛的应用价值。     

Laser Measuring Products Available from Bestech

Novelis Inc. has started-up of a new laser-cutting center for aluminum automotive sheet at its rolling mill in Sierre, Switzerland, with the announcement that the center＇s first order will be for Daimler Chrysler＇s Mercedes-Benz C-Class sedan.     

激光在线测厚振动分析与精度优化

激光测厚具有安全可靠、测量精度高、测量范围大等优点,广泛应用于纸张、电池极片等薄膜类材料厚度的在线测量。带材宽幅方向扫描测厚时由于扫描架往复运动会产生机械振动,影响在线测厚精度。针对该问题,以锂离子电池极片厚度测量为例,使用双激光差动式测厚平台对电池极片和铜箔分别进行厚度测量,然后对测厚数据进行频谱分析,探究其振动规律的相似性,并基于频谱分析结果采用滑动带阻滤波方式对测厚数据进行处理,滤波后极片和铜箔的厚度极差分别降低了33.4%和73.8%,有效过滤了机械振动导致的测量误差,可满足极片和铜箔厚度测量的精度要求。     

紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分SiO2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。     

多波段防护镜光学薄膜的研制

紫外、蓝光、近红外等波段的光对人眼有一定程度的危害,这些波段的光存在于各种光电系统中,使用者需要佩戴防护镜进行防护.为了能够同时实现对上述三个波段的防护,通过膜系设计软件设计了防护膜系和增透膜系,采用电子束蒸发的方式进行了镀制,以电阻蒸发的方式在镜片两侧加镀了防水膜,并对镜片的光谱性能和防水性能进行了测试.结果 表明,...     

基于光纤法布里-珀罗滤波器的便携式近红外光谱仪

介绍一种以光纤法布里-珀罗(FFP)滤波器为核心的便携式近红外光谱仪的设计方法。为克服FFP控制电压和扫描波长之间的迟滞和非线性效应, 实现光谱仪扫描波长的准确定位, 采用一组光纤光栅（FBG）的中心波长为参考, 利用粒子群优化（PSO）算法对每个FBG中心波长进行准确定位。在此基础上, 采用多项式拟合技术, 实现了在每一个FFP扫描周期内, 在线建立FFP扫描波长与其控制电压间的关系模型, 从而构建了一种准确度高、小型便携的近红外光谱仪。实验证明该光谱仪扫描波长范围为1490～1590 nm, 波长测量误差低于0.15 nm, 波长分辨率小于0.4 nm。