薄膜电容真空计电源的研究

介绍了利用交流电桥和相敏检波（PSD）原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能，对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究，在8h内测量，电容差值的漂移可小至10－3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计，可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明，这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa，覆盖五个数量级的真空度测量。     

JG159—2008《双活塞式压力真空计》检定规程实施要点

一、引言 在众多类型的活塞式压力计中．双活塞式压力真空计是一种能测量以大气压为零点的正压和负压的仪器。在国内．双活塞式压力真空计已有几十年生产历史，但所生产双活塞式压力真空计的准确度等级为0．05级（原二等）。目前，随着国内机械加工能力的提高，有厂商已经能生产0．02级的双活塞式压力真空计,且扩大了量程。     

DL—4型真空计

ＤＬ－４型真空计是用压敏电阻作为传感器的低真空计，测量范围为１０２～１０５Ｐａ，该计性能好，价格便宜。本文介绍该真空计的原理结构与特性。     

电离真空计的误差分析

本从影响电离真空计示值误差的7个方面，推导出电离真空计“误差 函数”y=f(x)和其表达式，并着重强调了误差函数的“与门”特性，进一步讨论了电离真空计误差函数f(x)中，自变量因子影响函数的方式和计算思路。     

低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型DL-4型真空计。该计测量范围为102～105Pa，性能好，价格便宜。介绍了该真空计的原理、结构与特性。     

热传导真空计解说(一)

本文主要讲过热传导真空计的工作原理、测量范围、主要型式、工作模式、环境温度的影响及其补偿方法、测量下限的开拓、测量上限的开拓、老化效应等问题。重点放在电阻真空计，热偶真空计亦适当兼顾。     

热阴极电离真空计的单片机控制电路

利用单片机控制热阴极电离真空计，可使真空计具有一系列的新功能，且成本低廉，因此它是真空测量的更新产品。本文简述了它的结构和原理。     

基于PLC和虚拟仪器技术的真空计电参数检定系统的软件设计

真空计电参数是电离真空计的栅极电压、阴极电压、发射电流和离子流,热偶真空计的加热电流和热电势的统称。真空计电参数检定装置用于真空计电参数的计量检定。文章阐述了所编制的基于PLC技术的真空计电参数系统的梯形图控制程序设计,触摸屏控制程序设计及基于LabVIEW实现PLC控制和系统控制的自动化计量软件。系统可实现通过触摸屏和上位机控制真空计电参数检定系统,实现检定数据的自动处理,报告自动生成。     

标准静态膨胀法真空装置研制

本装置检定范围(10^-3～10^5)Pa，最佳校准能力0．012％～2．2％．可以检定薄膜真空计。热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^-3Pa高真空计量的需求，而且还可以用来校准标准漏孔，拓宽了检测领域。     

压差式漏率测试仪的实验研究

将薄膜电真空计的测量室接于被测密闭容器，静态真空室接于一个比较容器，即组成一台压差式漏率测试仪，首先使两容器压力平衡，真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时，真空计薄膜两侧形成压差，真空计指示读数，继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时，检测的最小可测漏率达１０＾－４－１０＾－５Ｐａ．Ｌｓ；而在充压测试时，因受气体温度变化的影响。灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定     

压差式漏率测试仪的实验研究

将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器，静态真空室接于一个比较容器，即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡，真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时，真空计薄膜两侧形成压差，真空计指示读数，继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时，检测的最小可测漏率达10－4～10-5Pa·L／s；而在充压测试时，因受气体温度变化的影响，灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。     

数字真空计控制电路结构的分析研究

介绍了我国真空计经历了从电子管式、晶体管式到集成电路式的发展道路，其电路技术经历了模拟电路、数字电路以及到如今的微机化电路的发展过程。并且对我国数字真空计控制电路的结构形式、特点进行了分析研究。     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型ＤＬ－４型真空计。该计测量范围为１０＾２－１０＾５Ｐａ，性能好，价格便宜，介绍了该真空计的原理，结构与特性。     

真空计线路检测与自动化测量

前言 真空技术应用的普及与发展,对真空计量器具要求逐步严格起来。我们日常检定大量使用的电离真空计,热偶真空计在真空系统上对规管常数校准时,经常由于真空计线路电参数不合格,甚至不能正常工作,而白白浪费了很长时间开动真空系统获得所需要的真空。就是真空计线路能工作,但由于参数偏离规管要求的电参数数值,而使规管所测得的常数数值不能与同类型真空计线路通用。由此看来真空计线路电参数检测是保证真空计测量压强准确一致不可缺少的计量项目之一。为此我们研制了真空计线路检定台,现介绍如下,由于业务水平所限,、又缺少实际工作经验,…     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技